진공처리장치

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 챔버본체 승강부는, 상기 챔버본체의 저면에 설치되는복수개의벨로우즈형실린더인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 수평 구동부는, 상기 상부커버에 설치되며 일측이 상기 상부커버 이동프레임에 밀착되어 구동하는수평구동수단더구비하는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 상부커버 이동프레임은, 상기 게이트 밸브가 설치된 챔버 본체 양측에 각각 위치하며 그 길이가 긴 상면에 기어가 형성된 제1 수평프레임;과 상기 제1 수평프레임을 지지하도록 수직으로 설치되는 제1 수직프레임으로 이루어지고, 상기 구동수단은 상기 기어에 치합되도록 구동축에 구동기어가 구비되고, 상기 상부커버에 설치되는구동모터인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 게이트 밸브가 형성된 수직한 위치의 상기 챔버본체의 일측에는 상기 챔버본체 상부로부터 수평이동한 상기 상부커버가 위치하도록 지지프레임구비되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 지지프레임은, 상기 제1 수평 프레임과 동일한 높이에 위치하여 상기 상부커버가 이동하여 위치하는 제2 수평 프레임;상기 제2 수평프레임에 수직상태로 결합되어 상기 제2 수평 프레임을 지지하기 위한제2수직프레임으로이루어지는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 제1 수평프레임과 상기 제2 수평프레임의 사이에는 상기 제1 수평프레임과 제2 수평프레임 사이의 간격을 메워 상기 지지프레임 상으로 이동하는 상기 상부커버를 안내하기 위한 간격 메움수단구비되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 간극메움수단은, 상기 제2 수직프레임에 설치되어 상기 제1 수평프레임과 상기 제2 수평프레임의 사이에서 승하강 가능한 상태로 위치하는중간프레임인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 지지프레임에는, 상기 지지프레임을 챔버 본체 측으로 이동시키기 위한바퀴부더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 제2 수평 프레임에 마련되며, 상기 제2 수평 프레임 상으로 이동해온 상부커버와 결합하여 회전시키는회전부더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 챔버 본체 승강부는, 상기 챔버 본체를 바닥면으로부터 일정 간격 이격시켜 지지하는 챔버 지지프레임과 상기 챔버 본체 사이에 개재되어 배치되며, 상기 챔버 본체를 상하 방향으로 승강시키는 승강 구동기구; 및상기 챔버 본체와 결합하여 상기 챔버 본체의 승강 구동시 상하 운동 방향을 안내하는 가이드 부재;를 포함하여구성되는것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 가이드 부재는, 상기 챔버 본체의 측방에 배치되며, 상기 챔버 본체의 측벽과 결합되어 상기 챔버 본체의 상하 운동 방향을 안내하는가이드칼럼인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 가이드 부재는, 그 하단이 상기 챔버 지지프레임의 상면에 결합되고, 그 상단은 상기 챔버 본체의 하면에 형성되는 안내홈에 삽입되어 마련되는가이드블럭인것을특징으로 하는진공처리장치. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 벨로우즈형 실린더의 상단에는 반구형 형상을 가지는 편심 보정부가 더 마련되고, 상기 하부 챔버 하면 중 벨로우즈형 실린더의 중심에 대응되는 영역에는 반구형으로 음각되어 형성되는편심보정부삽입홈더마련되는것을특징으로 하는진공처리장치.