문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 도포 유니트는,기판을 수평으로 보지하고, 수직축 주위에 회전 자유로운 기판 보지부와,상기 기판 보지부에 보지된 기판의 표면에 레지스트를 공급하는 레지스트 공급 노즐과,상기 기판 보지부에 보지된 기판의 표면에 세정액을 공급하고 상기 제1의 세정 수단을 구성하는세정액 노즐구비한것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기제1의 세정 수단은,기판이 반입출 할 수 있도록 구성된 밀폐 용기와,상기 밀폐 용기안에 설치되어 기판을 수평으로 재치하기 위한 기판 재치부와 상기 밀폐 용기내에 세정액을 공급하기 위한 세정액공급 수단과,상기 세정액을 배출하기 위한세정액배출수단구비한것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,레지스트가 도포된 기판의 표면을 가열하는 가열 유니트를 구비하고,상기 제1의 세정 수단은 상기 가열 유니트에인접설치되고있는것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 5]
청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,밀폐 용기내로부터 세정액이 배출된 후, 밀폐 용기내에 건조 가스를 통류시켜 기판을 건조시키는건조수단구비하는것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기제1의 세정 수단은,기판을 수평으로 유지하는 기판 보지부와.상기 기판 보지부에 보지된 기판의 표면에 세정액을 공급하기 위해서 기판의 폭방향으로 배열된 세정액 토출구 및 이 세정액 토출구의 전과 후에 인접하여 설치되거나, 또는 상기 세정액 토출구의 전 또는 후에 인접하여 설치되어 기판상의 세정액을 흡인하는 세정액 흡인구를 가지는 세정액노즐과,세정액노즐을 기판 보지부에 대해서 상대적으로 전후방향에 이동시키기 위한수단구비한것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 7]
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,상기제1의 세정 수단은 기판상의 세정액을 건조시키기 위한건조수단구비한것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 8]
청구항 1, 청구항 3 또는 청구항 6에 있어서,레지스트가 도포된 기판을 노광 장치로 수수하고, 또 노광된 기판을 수취하기 위한 인터페이스부를 구비하고,상기 제1의 세정 수단은인터페이스부설치되고있는것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 9]
청구항 1, 청구항 2, 청구항 3, 청구항 4 또는 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,노광된 기판의 표면을 현상전에 세정액에 의해 세정하기 위한 제2의세정수단더구비한것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기제1의 세정 수단은 상기 제2의세정수단공용하는것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
도포·현상 장치에서 제1의 세정 수단이 밀폐 용기를 포함하는 구성일 때, 해당 밀폐 용기 내에서 기판을 건조시키기 위해 구비되는 수단은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제1의 세정 수단이 밀폐 용기를 포함할 때, 해당 용기 내에서 기판을 건조시키는 수단이 무엇인지 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제1의 세정 수단이 밀폐 용기를 포함한다는 구성을 확인한다.
- 상기제1의 세정 수단은,기판이 반입출 할 수 있도록 구성된 밀폐 용기와
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3근거 선택
evidence_selection밀폐 용기 내의 건조 동작과 관련된 청구항 5의 내용을 선택한다.
- 밀폐 용기내에 건조 가스를 통류시켜 기판을 건조시키는건조수단구비하는것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
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4논리 통합
logical_integration청구항 3의 밀폐 용기 구성과 청구항 5의 건조 수단 구성을 결합하여 논리적 관계를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation밀폐 용기 내에서 기판을 건조시키기 위해 구비되는 수단은 건조수단임을 확인한다.
- 밀폐 용기내에 건조 가스를 통류시켜 기판을 건조시키는건조수단
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변인 '건조수단'을 추출하여 작성한다.
- 건조수단
근거 (evidence)
- 상기제1의 세정 수단은,기판이 반입출 할 수 있도록 구성된 밀폐 용기와
- 밀폐 용기내에 건조 가스를 통류시켜 기판을 건조시키는건조수단구비하는것을특징으로 하는도포, 현상 장치.
- 밀폐 용기내에 건조 가스를 통류시켜 기판을 건조시키는건조수단
- 건조수단
최종 답변 (final_answer)
건조수단
핵심 해석 (core_interpretation)
제1의 세정 수단이 밀폐 용기 구조를 가질 경우, 세정액 배출 후 밀폐 용기 내에 건조 가스를 통류시키는 건조수단을 통해 기판을 건조시키는 구성에 관한 것이다.