문맥 (context)
[청구항 1]
레티클의 에지영역의 좌·우측 중앙에 형성되는 포커스 매칭 패턴
스테이지의 상부면의 좌측 중앙에 형성되어 상기 포커스 매칭 패턴 및 투영렌즈를 통과한 광을 검출하여 상기 검출된 광에 해당하는 파형을 생성하는 광검출센서
상기 광검출센서에서 생성되는 파형을 증폭시키는 신호증폭기
상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량에 따라 상기 투영렌즈의 광축에 대하여 상기 스테이지의 상부면이 수직 한 상태가 되도록 제어하는 제어부; 및
상기 제어부의 제어하에 상기 투영렌즈의 광축에 대하여 상기 스테이지의 상부면이 수직한 상태가 되도록 구동되 액츄에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치 초점 보정 시스템
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 포커스 매칭 패턴은 다수의 직사각형의 패턴이 일렬로 정렬되는 포커스 매칭 패턴 셀이 십자 모양으로 상기 포커스 매칭 패턴의 중심에서 동일한 간격으로 이격되어형성되는것을특징으로 하는노광 장치 초점 보정 시스템.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 신호증폭기에서 검출된 파형을 영상으로 출력하는모니터부더포함하는것을특징으로 하는노광 장치 초점 보정 시스템.
[청구항 6]
레티클의 에지영역의 좌·우측 중앙에 형성되는 포커스 매칭 패턴
스테이지의 상부면의 좌측 중앙에 형성되어 상기 포커스 매칭 패턴 및 투영렌즈를 통과한 광을 검출하여 상기 검출된 광에 해당하는 파형을 생성하는 광검출센서
상기 광검출센서에서 생성되는 파형을 증폭시키는 신호증폭기
를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치 초점 검출 장치
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 포커스 매칭 패턴은 다수의 직사각형의 패턴이 일렬로 정렬되는 포커스 매칭 패턴 셀이 십자 모양으로 상기 포커스 매칭 패턴의 중심에서 동일한 간격으로 이격되어형성되는것을특징으로 하는노광 장치 초점 검출 장치.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 신호증폭기에서 검출된 파형을 영상으로 출력하는모니터부더포함하는것을특징으로 하는노광 장치 초점 검출 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
노광 장치 초점 보정 시스템에서 스테이지의 상부면이 투영렌즈의 광축에 대하여 수직한 상태가 되도록 제어하기 위해 제어부가 참조하는 정보는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation노광 장치 초점 보정 시스템에서 스테이지 상부면을 광축에 수직하게 제어하기 위해 제어부가 참조하는 정보를 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제어부의 역할과 제어의 근거가 되는 정보를 추출한다.
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량에 따라 상기 투영렌즈의 광축에 대하여 상기 스테이지의 상부면이 수직 한 상태가 되도록 제어하는 제어부
-
3근거 선택
evidence_selection제어부가 참조하는 직접적인 정보인 '스테이지의 경사량'과 관련된 구절을 선택한다.
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량
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4논리 통합
logical_integration제어부는 스테이지의 경사량에 따라 수직 상태가 되도록 제어하며, 이 경사량은 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된다.
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량에 따라 상기 투영렌즈의 광축에 대하여 상기 스테이지의 상부면이 수직 한 상태가 되도록 제어하는 제어부
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5결론 도출
conclusion_formulation제어부가 참조하는 정보는 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량임을 도출한다.
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 추출된 정보를 제시한다.
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량
근거 (evidence)
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량에 따라 상기 투영렌즈의 광축에 대하여 상기 스테이지의 상부면이 수직 한 상태가 되도록 제어하는 제어부
- 상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량
최종 답변 (final_answer)
상기 신호증폭기에서 검출된 파형의 진폭을 기초로 산출된 스테이지의 경사량
핵심 해석 (core_interpretation)
광검출센서와 신호증폭기를 통해 얻은 파형의 진폭으로부터 스테이지의 경사량을 산출하고, 이를 바탕으로 스테이지를 투영렌즈 광축에 대해 수직하게 제어하는 기술이다.