최종산출물 d6803bd1-b219-502b-a47b-3076aeba39f4

uuid: d6803bd1-b219-502b-a47b-3076aeba39f4
출원번호: 1020020033375
출원연도: 2002
IPC: C23C 16/513
분류: 화학(C섹션)

문맥 (context)

[청구항 1] 하부에 가스배출구가 마련되는 진공챔버와 상기 진공챔버 내에 수평하게 마련되는 서셉터 지지대와 상기 서셉터 지지대 상에 각각 설치되며, 웨이퍼가 각각 안착되게 되는 하나 이상의 서셉터와 상기 진공챔버 상부 외벽에 설치되는 코일 안테나와 상기 코일 안테나에 rf 전력을 인가하는 rf 발전기와 상기 진공챔버의 상부외벽에 수직 결합되며, 내벽 둘레를 따라 복수개의 환형홈이 형성되고, 상기 환형홈 각각은 측벽을 관통하도록 형성된 복수개의 가스주입공과 각각 연결되는 실린더와 상기 실린더 내벽에 밀착되어 회전운동 가능하도록 상기 실린더에 삽입되어 상기 진공챔버 내부로 수직하게 내삽되며, 내부에는 길이방향과 나란하게 복수개의 가스공급관이 마련되고, 상기 가스공급관 각각의 일단은 상기 환형홈에 각각 연통되는 회전축과 상기 회전축의 삽입끝단에서 상기 가스공급관과 각각 연결되어 수평하게 방사형으로 분기되는 분기관을 가지며, 상기 분기관 각각에는 복수개의 분사공이 마련되고, 상기 회전축의 회전운동에 의해 수평회전하는 회전형 가스분사기와 상기 서셉터에 안착되는 웨이퍼를 가열하기 위한 가열수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 hdp-cvd 장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 가열수단nan은상기서셉터자체설치되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 진공챔버는 상부가 세라믹돔으로 이루어지며, 상기 세라믹돔 외측에는 상기 세라믹돔을 덮는 벨자가 더 설치되며, 상기 가열수단이 상기 서셉터와상기벨자설치되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 4] 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가열수단은 그발열체저항선인것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 5] 제 3항에 있어서,상기 가열수단은 그 발열체가적외선램프인것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 분사공이, 상기 분기관의 아랫방향과상기회전형가스분사기의회전방향사이의방향마련되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,상기 실린더 벽 내부에는수냉관더설치되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,셉터 지지대가 수평회전 가능하도록설치되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,셉터 지지대가 상하운동 가능하도록설치되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치. [청구항 10] 제 1항에 있어서,셉터 지지대 내부에는웨이퍼가열수단더설치되는것을특징으로 하는hdp-cvd 장치.

지시문 (instruction)

주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.

질문 (question)

HDP-CVD 장치에서 회전형 가스분사기의 가스 공급 경로와 분사공의 배치 구조는 무엇인가?

추론 과정 (compact_reasoning)

1과제 해석task_interpretation

HDP-CVD 장치 내 회전형 가스분사기의 가스 공급 경로와 분사공의 배치 구조를 파악해야 한다.
2정보 추출information_extraction

가스 공급은 실린더의 환형홈에서 시작하여 회전축, 가스공급관, 분기관을 거쳐 분사공으로 이어진다.
- 상기 환형홈 각각은 측벽을 관통하도록 형성된 복수개의 가스주입공과 각각 연결되는 실린더와 상기 실린더 내벽에 밀착되어 회전운동 가능하도록 상기 실린더에 삽입되어 상기 진공챔버 내부로 수직하게 내삽되며, 내부에는 길이방향과 나란하게 복수개의 가스공급관이 마련되고, 상기 가스공급관 각각의 일단은 상기 환형홈에 각각 연통되는 회전축과 상기 회전축의 삽입끝단에서 상기 가스공급관과 각각 연결되어 수평하게 방사형으로 분기되는 분기관을 가지며, 상기 분기관 각각에는 복수개의 분사공이 마련
3근거 선택evidence_selection

가스 공급 경로(환형홈→회전축→가스공급관→분기관→분사공)와 분사공의 배치(분기관에 마련됨, 회전방향과 아랫방향 사이)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 환형홈 각각은 측벽을 관통하도록 형성된 복수개의 가스주입공과 각각 연결되는 실린더와 상기 실린더 내벽에 밀착되어 회전운동 가능하도록 상기 실린더에 삽입되어 상기 진공챔버 내부로 수직하게 내삽되며, 내부에는 길이방향과 나란하게 복수개의 가스공급관이 마련되고, 상기 가스공급관 각각의 일단은 상기 환형홈에 각각 연통되는 회전축과 상기 회전축의 삽입끝단에서 상기 가스공급관과 각각 연결되어 수평하게 방사형으로 분기되는 분기관을 가지며, 상기 분기관 각각에는 복수개의 분사공이 마련
4논리 통합logical_integration

가스는 실린더의 환형홈에 있는 가스주입공을 통해 회전축으로 유입되며, 회전축에 연결된 가스공급관을 따라 수평 방사형으로 분기되는 분기관으로 전달된다. 분사공은 이 분기관에 위치하며, 분기관의 하방과 회전 방향 사이의 방향을 향한다.
5결론 도출conclusion_formulation

가스 공급 경로는 환형홈의 가스주입공 → 회전축 → 가스공급관 → 분기관 순이며, 분사공은 분기관에 마련되어 분기관의 아랫방향과 회전방향 사이를 향하도록 배치된다.
6답변 생성answer_generation

추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 완성된 답변을 작성한다.

근거 (evidence)

상기 환형홈 각각은 측벽을 관통하도록 형성된 복수개의 가스주입공과 각각 연결되는 실린더와 상기 실린더 내벽에 밀착되어 회전운동 가능하도록 상기 실린더에 삽입되어 상기 진공챔버 내부로 수직하게 내삽되며, 내부에는 길이방향과 나란하게 복수개의 가스공급관이 마련되고, 상기 가스공급관 각각의 일단은 상기 환형홈에 각각 연통되는 회전축과 상기 회전축의 삽입끝단에서 상기 가스공급관과 각각 연결되어 수평하게 방사형으로 분기되는 분기관을 가지며, 상기 분기관 각각에는 복수개의 분사공이 마련

최종 답변 (final_answer)

HDP-CVD 장치의 회전형 가스분사기에서 가스는 실린더 내벽의 환형홈에 형성된 가스주입공을 통해 회전축으로 공급된다. 이후 가스공급관을 따라 수평하게 방사형으로 분기되는 분기관으로 전달되며, 분사공은 해당 분기관에 마련되어 분기관의 아랫방향과 회전형 가스분사기의 회전방향 사이의 방향을 향하도록 배치되어 있다.

핵심 해석 (core_interpretation)

실린더의 환형홈과 회전축, 방사형 분기관을 이용한 가스 공급 구조를 통해 가스를 효율적으로 분사하며, 분사공의 각도를 조절하여 분사 방향을 제어하는 기술이다.