문맥 (context)
[청구항11]
기판을 수용하는 처리실과,
상기 처리실 내의 기판에 대하여 금속 원소 및 할로겐기를 포함하는 원료를 공급하는 원료 공급계와,
상기 처리실 내의 기판에 대하여 산화제를 공급하는 산화제 공급계와,
상기 처리실 내의 기판에 대하여 촉매를 공급하는 촉매 공급계와,
상기 처리실 내의 기판에 대하여 상기 원료를 공급하는 처리와, 상기 처리실 내의 상기 기판에 대하여 상기 산화제를 공급하는 처리를 비동시로 행하는 사이클을 소정 횟수 행함으로써, 상기 기판 상에, 상기 금속 원소를 포함하는 산화막을 형성하는 처리를 행하고, 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고, 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록, 상기 원료 공급계, 상기 산화제 공급계 및 상기 촉매 공급계를 제어하도록 구성되는 제어부,
를 포함하는 기판 처리 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 장치의 제어부가 수행하는 사이클에서, 원료를 공급하는 처리와 산화제를 공급하는 처리 시 각각 촉매가 어떻게 공급되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제어부가 수행하는 사이클 내 원료 공급 처리와 산화제 공급 처리 시의 촉매 공급 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction원료 공급 처리와 산화제 공급 처리에 대한 제어부의 동작 조건 정보를 추출한다.
- 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고
- 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록
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3근거 선택
evidence_selection각 처리 단계별 촉매 공급 여부를 명시한 문구를 선택한다.
- 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고
- 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록
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4논리 통합
logical_integration산화제 공급 시에는 촉매가 함께 공급되고, 원료 공급 시에는 촉매가 공급되지 않는다는 관계를 통합한다.
- 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고
- 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록
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5결론 도출
conclusion_formulation원료 공급 처리 시에는 촉매를 비공급하며, 산화제 공급 처리 시에는 산화제와 함께 촉매를 공급한다.
- 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록
- 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록
- 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고
근거 (evidence)
- 상기 산화제를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 산화제와 함께 상기 촉매를 공급하고
- 상기 원료를 공급하는 처리에서는, 상기 기판에 대하여 상기 촉매를 비공급으로 하도록
최종 답변 (final_answer)
원료를 공급하는 처리 시에는 기판에 대하여 촉매를 비공급하며, 산화제를 공급하는 처리 시에는 기판에 대하여 산화제와 함께 촉매를 공급한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제어부는 사이클 내 원료 공급 단계에서는 촉매를 공급하지 않고, 산화제 공급 단계에서는 산화제와 촉매를 동시에 공급하도록 제어한다.