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반도체 장치의 제조를 위한 증착 장치

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da8e5d13-b0b8-59ff-a603-d5a3111cc97b
출원번호
1020010007070
출원연도
2001
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 헤드 커버의 각 외부면의 모서리에 부착되고, 상기 헤드 커버의 각 면을 분리 및 체결시키기 위한 체결 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,상기 체결 수단은 고리형으로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치. 제 1항에 있어서,상기 체결 수단은 고리형으로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치. [청구항4] 제 2항에 있어서,상기 고리형의 체결 수단은, 상기 헤드 커버의 각 모서리에 다수개를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치. 제 3항에 있어서,상기 고리형의 체결 수단은, 상기 헤드 커버의 각 모서리에 다수개를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 고리형의 체결 수단은, 상기 헤드 커버의 한 외부면의 모서리에 부착되고, 단부에 돌출부가 형성된 고리;상기 헤드 커버의 다른 외부면의 모서리에 상기 고리가 부착된 높이와 같도록 부착되고, 상기 고리에 형성된 돌출부와 결착하도록 단부가 절곡된 형태의 걸게;상기 걸게와 연결되고, 상기 헤드 커버의 외부면과 말착하여 상기 걸게를 고정시키는 고정부로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치. 제 4항에 있어서,상기 고리형의 체결 수단은, 상기 헤드 커버의 한 외부면의 모서리에 부착되고, 단부에 돌출부가 형성된 고리;상기 헤드 커버의 다른 외부면의 모서리에 상기 고리가 부착된 높이와 같도록 부착되고, 상기 고리에 형성된 돌출부와 결착하도록 단부가 절곡된 형태의 걸게;상기 걸게와 연결되고, 상기 헤드 커버의 외부면과 말착하여 상기 걸게를 고정시키는 고정부로 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 제조위한증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
고리형 체결 수단은 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 각 구성 요소는 헤드 커버 및 다른 구성 요소와 어떻게 결합되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    고리형 체결 수단의 구성 요소와 그들 간의 결합 방식 및 특징을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 5를 통해 고리, 걸게, 고정부라는 세 가지 구성 요소를 추출한다.

    • 고리
    • 상기 걸게
    • 상기 걸게를 고정시키는 고정부
  3. 3근거 선택evidence_selection

    각 구성 요소의 상세 특징(돌출부, 절곡 형태, 말착 등)과 부착 위치에 관한 문구를 선택한다.

    • 단부에 돌출부가 형성된 고리
    • 단부가 절곡된 형태의 걸게
    • 상기 걸게와 연결되고, 상기 헤드 커버의 외부면과 말착하여 상기 걸게를 고정시키는 고정부
  4. 4논리 통합logical_integration

    고리는 헤드 커버 한 면에, 걸게는 다른 면에 부착되어 돌출부를 통해 서로 결착되며, 고정부가 이를 헤드 커버에 밀착시켜 고정하는 구조임을 통합한다.

    • 상기 헤드 커버의 한 외부면의 모서리에 부착되고
    • 상기 헤드 커버의 다른 외부면의 모서리에
    • 상기 고리에 형성된 돌출부와 결착하도록
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    고리, 걸게, 고정부의 구성과 각각의 기능적 관계를 정리하여 답변을 구성한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 구조화된 답변을 생성한다.

근거 (evidence)
  • 고리
  • 상기 걸게
  • 상기 걸게를 고정시키는 고정부
  • 단부에 돌출부가 형성된 고리
  • 단부가 절곡된 형태의 걸게
  • 상기 걸게와 연결되고, 상기 헤드 커버의 외부면과 말착하여 상기 걸게를 고정시키는 고정부
  • 상기 헤드 커버의 한 외부면의 모서리에 부착되고
  • 상기 헤드 커버의 다른 외부면의 모서리에
  • 상기 고리에 형성된 돌출부와 결착하도록
최종 답변 (final_answer)
고리형 체결 수단은 고리, 걸게, 고정부로 구성된다. 상세 구성 및 결합 관계는 다음과 같다. 1. 고리: 헤드 커버의 한 외부면 모서리에 부착되며, 단부에 돌출부가 형성되어 있다. 2. 걸게: 헤드 커버의 다른 외부면 모서리에 부착되며, 단부가 절곡된 형태로서 고리의 돌출부와 결착된다. 3. 고정부: 걸게와 연결되며, 헤드 커버의 외부면과 말착하여 걸게를 고정시키는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
고리형 체결 수단은 돌출부가 있는 고리와 절곡된 형태의 걸게가 서로 결착되고, 고정부가 이를 헤드 커버에 밀착 고정하는 구조를 가진다.