문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 열전달 저지부재는 세라믹(ceramic)재질제작되는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,셉터의 하면과 접촉되는 상기 열전달 저지부재의 상면에는 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈형성되어있는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항4]
제3항에 있어서,상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지인것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 접촉면적 감소용 홈은 상기 열전달 저지부재에일체형성되는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항6]
제4항에 있어서,상기 접촉면적 감소용 홈은 후가공에 의해상기열전달저지부재형성되는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기 열전달 저지부재의 면적은 상기 서셉터지지대의 머리부 상면에 비해상대적형성되는것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항8]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 열전달 저지부재의 두께는10내지인것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
[청구항9]
제1항에 있어서,상기 평면디스플레이는 lcd(liquid crystal display)용대형유리기판인것을특징으로 하는평면디스플레이용 화학 기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열전달 저지부재의 상면에 형성된 홈의 목적은 무엇이며, 해당 홈의 면적은 열전달 저지부재의 상면 총면적과 비교하여 어떠한 범위를 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation열전달 저지부재 상면의 홈의 목적과 면적 범위를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 홈의 목적을, 청구항 4에서 홈의 면적 조건을 추출한다.
- 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈
- 상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지
-
3근거 선택
evidence_selection홈의 목적에 관한 문구와 면적 비율에 관한 문구를 선택한다.
- 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈
- 상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지
-
4논리 통합
logical_integration홈은 서셉터와의 접촉면적을 줄이기 위해 형성되며, 그 면적은 전체 상면 대비 30 내지(비율)의 범위를 가진다.
- 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈
- 상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지
-
5결론 도출
conclusion_formulation홈의 목적은 서셉터와의 접촉면적 감소이며, 면적은 상면 총면적 대비 30 내지이다.
- 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈
- 상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈
- 상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지
근거 (evidence)
- 상기 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는접촉면적감소용홈
- 상기 접촉면적 감소용 홈의 면적nan은상기열전달저지부재의상면총면적대비30내지
최종 답변 (final_answer)
열전달 저지부재의 상면에 형성된 접촉면적 감소용 홈의 목적은 서셉터와의 접촉면적을 감소시키는 것이며, 해당 홈의 면적은 열전달 저지부재의 상면 총면적 대비 30 내지의 범위를 갖는다.
핵심 해석 (core_interpretation)
열전달 저지부재 상면의 홈은 서셉터와의 접촉면적을 줄이는 기능을 하며, 그 면적은 전체 상면 대비 30 내지의 비율을 가진다.