유기금속화학증착 반응기

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 가스 가이드 부재는,상기 반응기 몸체의 측벽에 이웃하게 배치되고, 상기 측벽에 이웃하게 배치된 실린더부 및 상기 실린더부로부터 상기 반응기 몸체의 중앙부를 향해서 연장된 커버부를포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 가스 가이드 부재의 상기 실린더부는,동심원으로 배열된 다수의 실린더를 포함하고, 상기 다수의 실린더는 중심으로부터 외측 방향으로 상기 반응기 몸체의 상기 바닥벽으로부터의 높이가 증가하며,상기 커버부는 상기 다수의 실린더의 상단에서 각각 연장된 다수의 커버를 포함하여,상기 다수의 실린더 및 다수의 커버 사이의 공간으로상기가스가이드하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항4] 제3항에 있어서,링형상의 몸체로 형성된 분배기를 더 포함하고,상기 분배기는,상기 다수의 실린더의 하부가 삽입될 수 있도록, 동심원으로 형성된 다수의 그루브들; 및상기 다수의 실린더 사이의 공간으로 가스를 주입할 수 있도록, 동심원으로 형성된 상기 다수의 그루브들 사이에 형성된가스주입홀포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항5] 제3항에 있어서,상기 커버부의 상기 다수의 커버는 상기 다수의 실린더와 예각을 이루어, 분사되는가스를상기기판유도하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항6] 제 5항에 있어서,상기 예각의 크기는, 동심원상에서외측갈수록감소하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항7] 제3항에 있어서,상기 상기 탑커버는 중앙부로부터 측부로두께감소하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항8] 제3항에 있어서,상기 다수의 실린더 각각은 내부를 통해서 냉매가 흐르는냉매유로형성된것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항9] 제3항에 있어서,상기 다수의 실린더 중 적어도 일부를 상하부로 구동시킬 수 있는승강유닛더포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항11] 제10항에 있어서,링형상의 몸체로 형성된 분배기를 더 포함하고,상기 분배기는,상기 다수의 실린더의 하부가 삽입될 수 있도록, 동심원으로 형성된 다수의 그루브들; 및상기 다수의 실린더 사이의 공간으로 가스를 주입할 수 있도록, 동심원으로 형성된 상기 그루브들 사이에 형성된가스주입홀포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항12] 제10항에 있어서,상기 커버부의 상기 다수의 커버는 상기 다수의 실린더와 예각을 이루어, 분사되는가스를상기기판유도하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 예각의 크기는, 동심원상에서외측갈수록감소하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항14] 제10항에 있어서,상기 다수의 실린더 각각은 내부를 통해서 냉매가 흐르는냉매유로형성된것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기. [청구항15] 제10항에 있어서,상기 리드 어셈블리의 하부에 상기 서셉터와 대향하도록 배치되고, 중앙부로부터 측부방향으로 두께가 감소하는 탑 커버; 및상기 탑 커버를 상하로 움직이기 위한탑커버구동부더포함하는것을특징으로 하는유기금속화학증착 반응기.