진공챔버용 셔터장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 셔터프레임의 통공부를 차단하기 위해 회전되는 방향을 일방향이라 하고, 개방하기 위해 회전되는 방향을 타방향이라 하며,상기 다수의 셔터편은 완전 전개 시, 상기 통공부의 통공된 방향에서 보았을 때, 원형판 형상을 이루는 것으로,상기 셔터프레임의 상면과 인접한 가장 내측에 위치된 셔터편은 타방향의 측단이 상기 원형판의 타측 일부를 이루고, 상기 구동부에 고정되는 가장 외측에 위치된 셔터편은 일방향의 측단이 상기 원형판의 일측 일부를 이루며,상기 두 개의 셔터편 사이에 위치된 하나 이상의 다른 셔터편은 상기 내측 셔터편의 측단과 외측 셔터편의 측단을 연결하여 원형판을 이루도록 일정 호를 갖고상호일부연결되는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치. [청구항3] 제2항에 있어서,셔터편은,양 측단 중 어느 하나 이상이 일방향으로 절곡 형성되고, 인접한 두 개의 셔터편의 겹치는 각 측단은 상호 대응되는형상형성되는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치. [청구항4] 제2항에 있어서,상기 회전조절부는,일정 호를 갖는 장공형태로, 상기 셔터프레임과 각 셔터편 중 어느 하나 이상에 선택적으로 형성되는 가이드공;상기 각 가이드공에 삽입되어 이동 가능하도록 상기 셔터프레임과 각 셔터편 중 어느 하나 이상에 형성되는 가이드돌기를 포함하여 이루어지며,해당 가이드돌기가 해당 가이드공에 삽입된 상태에서,상기 구동부에 의해 상기 가장 외측에 위치된 셔터편을 회전시킬 경우, 해당 가이드공에서 가이드돌기가 이동 가능한 만큼 상기 외측 셔터편이 회전되어 전개 또는 접히고,상기 외측 셔터편이 해당 가이드공의 길이보다 더 회전될 경우, 외측 셔터편의 내측으로 인접한 다른 셔터편을 회전시켜 순차적으로 전개 또는 접히게 되며,이를 계속하여, 상기 가장 내측에 위치된 셔터편까지전개접히는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 가이드공은 상기 각 셔터편에 형성되고, 상기 가이드돌기는 해당 가이드공의 내측에서 외측으로 삽입되도록 해당 가이드공이 형성된 어느 한 셔터편의 내측으로 위치된 다른셔터편과상기셔터프레임의상면형성되는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치. [청구항6] 제4항에 있어서,상기 가이드돌기는 상기 각 셔터편의 하면에 형성되고, 상기 가이드공은 해당 가이드돌기가 외측에서 내측으로 삽입되도록 상기 가장 외측에 위치된 셔터편을 제외한 다른셔터편과상기셔터프레임각각형성되는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치. [청구항7] 제4항에 있어서,셔터편의 사이 및 상기 셔터편과 셔터프레임 사이에 간격편이 각각 더 구비되고, 상기 간격편에는 상기 가이드돌기가 관통되기 위한 관통공이 형성되며,상기 가이드돌기는 해당 간격편의 관통공을 관통 후, 해당 가이드공에 삽입되도록형성되는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치. [청구항8] 제1항에 있어서,상기 구동부는,완전 전개된 다수의 셔터편을 전개방향으로 더 회전시켜 상기 셔터프레임의 통공부 전방을 완전 차단시키고,완전히 접힌 다수의 셔터편을 접히는 방향으로 더 회전시켜상기셔터프레임의통공부전방을완전개방시키는것을특징으로 하는진공챔버용 셔터장치.