문맥 (context)
[청구항1]
일정한 반응 공간을 형성하는 챔버와
상기 챔버의 내부에 위치하며, 기판을 안치하고 내부히터를 구비하는 하나 이상의 서셉터와
상기 서셉터의 상부에 2종 이상의 가스를 독립적으로 분사하는 가스분사수단과
챔버 벽에 하나 이상 형성되는 광 투과창과
상기 광 투과창을 사이에 두고 상기 챔버의 외부에 하나 이상 설치되는 광원
을 포함하는 원자층 증착장치
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 가스분사수단은, 내부에 다수의 가스통로를 가지는 회전축과, 상기 회전축을 둘러싸며, 외측으로는 각 가스의 가스저장부와 연결되고 내측으로는 상기 회전축의 가스통로와 각 연결되는 다수의 가스유입구가 측부에 형성되는 하우징을 구비하며, 챔버의 상면에 결합하는 가스밸브어셈블리와; 상기 회전축의 말단에 각 연결되어, 상기 회전축과 함께 회전하는 다수의 수평인젝터포함하는원자층 증착장치
[청구항3]
제1항 또는 제2항에 있어서,셉터는챔버중심을기준회전하는것을특징으로 하는원자층 증착장치
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 광원nan은하나이상의서셉터대응하여구비되는원자층 증착장치
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 광투과창은 상기 서셉터와 일대일 대응하여 상기 서셉터의 상부에 형성되며, 상기 광원은 상기 광투과창과 일대일 대응하여 상기 광투과창의 상부설치되는원자층 증착장치
[청구항6]
제4항 또는 제5항에 있어서,상기 광원은 자외선램프인것을특징으로 하는원자층 증착장치
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 자외선 램프는 uv램프또는수은램프중선택되는하나인원자층 증착장치
[청구항8]
제4항 또는 제5항에 있어서,상기 광원은 적외선램프인것을특징으로 하는원자층 증착장치
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 적외선램프는할로겐램프인원자층 증착장치
[청구항10]
제1항에 있어서,상기 광투과창은 쿼츠재질인원자층 증착장치
[청구항11]
제1항 또는 제10항에 있어서,상기 광투과창에는 퍼지용 가스공급수단부설되는원자층 증착장치
[청구항12]
제1항 또는 제10항에 있어서,상기 광투과창에는 가스증착을 방지하기 위한 차단부재설치되는원자층 증착장치
[청구항13]
제1 가스를 서셉터 상부로 분사하는 단계와
퍼지가스를 분사하여 상기 서셉터 상부를 퍼지하는 단계와
제2 가스를 서셉터 상부로 분사하는 단계와
퍼지가스를 분사하여 상기 서셉터 상부를 퍼지하는 단계를 포함하는 원자층 증착방법에 있어서,
상기 단계 중 어느 한 단계는 광원을 이용하여 광을 조사(照射)하는 과정을 포함하는 원자층 증착방법
[청구항14]
제13항에 있어서,적어도 2종 이상의 가스가 챔버 내부에동시분사되는것을특징으로 하는원자층 증착방법
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
원자층 증착장치에서 가스분사수단은 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 각 구성요소의 연결 관계와 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스분사수단의 구성요소와 그들 사이의 관계 및 특징을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 가스분사수단의 구체적인 구성인 가스밸브어셈블리와 수평인젝터에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스분사수단은, 내부에 다수의 가스통로를 가지는 회전축과, 상기 회전축을 둘러싸며, 외측으로는 각 가스의 가스저장부와 연결되고 내측으로는 상기 회전축의 가스통로와 각 연결되는 다수의 가스유입구가 측부에 형성되는 하우징을 구비하며, 챔버의 상면에 결합하는 가스밸브어셈블리와; 상기 회전축의 말단에 각 연결되어, 상기 회전축과 함께 회전하는 다수의 수평인젝터포함하는
-
3근거 선택
evidence_selection가스밸브어셈블리의 구성(회전축, 하우징)과 수평인젝터의 연결 관계를 핵심 근거로 선택한다.
- 회전축과, 상기 회전축을 둘러싸며, 외측으로는 각 가스의 가스저장부와 연결되고 내측으로는 상기 회전축의 가스통로와 각 연결되는 다수의 가스유입구가 측부에 형성되는 하우징을 구비하며, 챔버의 상면에 결합하는 가스밸브어셈블리
- 상기 회전축의 말단에 각 연결되어, 상기 회전축과 함께 회전하는 다수의 수평인젝터
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4논리 통합
logical_integration가스분사수단은 가스밸브어셈블리와 수평인젝터로 구성되며, 가스밸브어셈블리는 회전축과 하우징을 포함하고, 수평인젝터는 회전축 말단에 연결되어 함께 회전하는 구조임을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation가스분사수단의 구조적 특징을 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 구조화된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 가스분사수단은, 내부에 다수의 가스통로를 가지는 회전축과, 상기 회전축을 둘러싸며, 외측으로는 각 가스의 가스저장부와 연결되고 내측으로는 상기 회전축의 가스통로와 각 연결되는 다수의 가스유입구가 측부에 형성되는 하우징을 구비하며, 챔버의 상면에 결합하는 가스밸브어셈블리와; 상기 회전축의 말단에 각 연결되어, 상기 회전축과 함께 회전하는 다수의 수평인젝터포함하는
- 회전축과, 상기 회전축을 둘러싸며, 외측으로는 각 가스의 가스저장부와 연결되고 내측으로는 상기 회전축의 가스통로와 각 연결되는 다수의 가스유입구가 측부에 형성되는 하우징을 구비하며, 챔버의 상면에 결합하는 가스밸브어셈블리
- 상기 회전축의 말단에 각 연결되어, 상기 회전축과 함께 회전하는 다수의 수평인젝터
최종 답변 (final_answer)
가스분사수단은 가스밸브어셈블리와 다수의 수평인젝터로 구성된다. 가스밸브어셈블리는 챔버 상면에 결합하며, 내부에 다수의 가스통로를 가진 회전축과 해당 회전축을 둘러싸는 하우징을 포함한다. 하우징의 외측은 각 가스의 가스저장부와 연결되고, 내측의 가스유입구는 회전축의 가스통로와 연결된다. 다수의 수평인젝터는 회전축의 말단에 각각 연결되어 회전축과 함께 회전하는 특징을 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
가스분사수단은 회전축과 하우징을 포함하는 가스밸브어셈블리와, 회전축 말단에 연결되어 함께 회전하는 수평인젝터로 이루어진다.