기판이송장치

[청구항 9] 제8항에 있어서,단부 작동체는 로봇 이송 아암에 종속되므로, 단부 작동체가 로봇 이송 아암에 대해 손목부를 중심으로 회전할 때, 단부 작동체의 기판과 손목부는 실질적으로 동일 속도로구동섹션을중심회전하는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,로봇 이송 아암은 구동섹션의 구동샤프트에 장착되며, 단부 작동체는 로봇 이송 아암에 종속되므로 로봇 이송 아암이 구동샤프트에 대한 단부 작동체를 반경방향으로 병진 이동할 때 단부 작동체는 손목부를 중심으로자동적회전되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,단부 작동체는 손목부를 중심으로 기판을 회전하기 위해 손목부를 중심으로 회전하므로 기판이 손목부를 중심으로 회전할 때, 기판, 손목부 및 구동샤프트는일반적정렬되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 12] 제8항에 있어서,로봇 이송 아암은 상부 아암 링크와 하부 아암 링크를 포함하는 관절형 아암이고, 상부 아암 링크는 로봇 이송 아암의 쇼울더에서 로봇 이송 아암의 엘보우까지 연장하고, 하부 아암 링크는 엘보우에서 로봇 이송 아암의 손목까지 연장하며, 로봇 이송 아암은 쇼울더에서구동섹션의구동샤프트장착되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 13] 제12항에 있어서,상부 아암 링크는 구동샤프트와 함께 회전하기 위해 구동샤프트에 장착되며, 하부 아암 링크는 상부 아암 링크에 대해 회전하기 위해 상부 아암 링크에 회전가능하게장착되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 14] 제12항에 있어서,로봇 이송 아암은 손목부를 중심으로 단부 작동체를 자동적으로 회전하는 수단을 포함하며, 단부 작동체를 자동적으로 회전하는 수단은 손목부를 중심으로 단부 작동체의 회전에 종속하는 단부 작동체에 하부 아암 링크를, 엘보우를 중심으로 하부 아암 링크의 회전에 구동가능하게연결시키는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 15] 제12항에 있어서,상부 아암 링크와 하부 아암 링크는, 기판을 두 개의 기판홀딩영역에 대해 기판의 로봇 이송 아암을 동작하도록 서로에 대해독립적회전되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 16] 제8항에 있어서,로봇 이송 아암은 각각의 홀딩 영역에 대응하는 병진 축을 따라 각각의 두 개의 기판홀딩영역에 대해 실질적으로 직선형으로기판이송하는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 17] 제16항에 있어서,개의 기판홀딩영역의 병진 이동 축은 서로에 대해실질적평행한것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,로봇 이송 아암이 두 개의 기판홀딩영역에 대해 기판을 이송할 때 구동 섹션은 두개의기판홀딩영역의병진이송축사이위치되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,로봇 이송 아암이 두 개의 기판저장영역 각각으로 기판을 이동할 때, 로봇 이송 아암이 피봇운동하는 축은 두개의기판저장영역의병진 이동축사이위치되는것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 21] 제19항에 있어서,개의 기판저장영역의 두 개의 병진 이동 축은 실질적으로 서로에 대해평행한것을특징으로 하는기판이송장치. [청구항 22] 제19항에 있어서,로봇 이송 아암은 상부아암과 하부아암을 포함하는 관절형 아암이고, 상부아암은 로봇 이송 아암이 피봇운동하는 축을 중심으로 독립적으로 회전가능하고, 하부 아암은 상부 아암에 대해 독립적으로회전가능한것을특징으로 하는기판이송장치.