문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 원반형의 몸체는 일정한 경사도를 갖는 오목한 하부면갖는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 오목한 하부면의 경사도는 0.5도내지7도인것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항4]
제 2 항에 있어서,상기 오목한하부면의경사도5도인것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항5]
제 2 항에 있어서,상기 가스이동통로들은 상기 원반형 몸체의 상기 오목한 하부면과 동일한경사도갖는것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항6]
제 1 항에 있어서,상기 가스분사구들은 상기 원반형의 몸체 중심부 방향으로 0.5도내지7도배치된것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항7]
제 1 항에 있어서,상기 가스분사구들은 상기 원반형의 몸체 중심부 방향으로 약5도배치된것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항8]
제 1 항에 있어서,상기 가스분사구들은 상기 원반형의 몸체 하부에 전체적으로 균일한분포배치된것을특징으로 하는샤워헤드.
[청구항9]
챔버;
상기 챔버 내부의 하부에 설치되어 기판을 지지하는 서셉터; 및
상기 챔버 내부의 상부에 상기 서셉터와 대향되게 설치되며, 상기 서셉터의 중심부 방향으로 경사지게 배치된 가스분사구들을 갖는 샤워헤드를 포함하는 원자층 증착설비
[청구항10]
제 9 항에 있어서,상기 샤워헤드는 소정의 두께를 갖는 원반형의 몸체;상기 몸체 상부 중앙에 배치된 가스공급구;상기 원반형의 몸체 내부에 상기 가스공급구로 유입된 가스를 상기 원반형의 몸체 전체에 골고루 분포시키기 위해 배치된 가스이동통로들; 및상기 가스이동통로들로 이동된 가스를 상기 몸체 하부로 분사시키기 위해 상기 가스이동통로들로부터 그 하부로 상기 몸체를 관통하여 배치된상기가스분사구들포함하는것을특징으로 하는원자층 증착설비.
[청구항11]
제 10 항에 있어서,상기 원반형의 몸체는 일정한 경사도를 갖는 오목한 하부면갖는것을특징으로 하는원자층 증착설비.
[청구항12]
제 11 항에 있어서,상기 오목한 하부면의 경사도는 0.5도내지7도인것을특징으로 하는원자층 증착설비.
[청구항13]
제 10 항에 있어서,셉터의 중앙부와 상기 샤워헤드 중앙부 사이의 거리는 상기 서셉터의 에지부와 상기 샹워헤드 에지부 사이의 거리보다 긴 것특징으로 하는원자층 증착설비.
[청구항14]
제 9 항에 있어서,상기 가스분사구들은 상기 서셉터의 중심부 방향으로 0.5도내지7도배치된것을특징으로 하는원자층 증착설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
원자층 증착설비 내 샤워헤드는 어떠한 구성 요소들로 이루어져 있으며, 가스가 공급되어 분사되기까지의 내부 구조적 흐름은 어떻게 되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation원자층 증착설비의 샤워헤드 구성 요소와 가스 흐름의 구조적 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10항에서 샤워헤드의 구성 요소인 원반형의 몸체, 가스공급구, 가스이동통로들, 가스분사구를 추출한다.
- 원반형의 몸체
- 가스공급구
- 가스이동통로들
- 가스분사구들
-
3근거 선택
evidence_selection가스의 이동 경로와 관련된 각 구성 요소의 기능적 설명을 선택한다.
- 상기 몸체 상부 중앙에 배치된 가스공급구
- 상기 원반형의 몸체 내부에 상기 가스공급구로 유입된 가스를 상기 원반형의 몸체 전체에 골고루 분포시키기 위해 배치된 가스이동통로들
- 상기 가스이동통로들로 이동된 가스를 상기 몸체 하부로 분사시키기 위해 상기 가스이동통로들로부터 그 하부로 상기 몸체를 관통하여 배치된상기가스분사구들
-
4논리 통합
logical_integration가스공급구(유입) -> 가스이동통로(분포) -> 가스분사구(하부 분사)로 이어지는 흐름을 연결한다.
- 가스공급구로 유입된 가스를
- 가스이동통로들로 이동된 가스를
- 가스분사구들
-
5결론 도출
conclusion_formulation샤워헤드는 몸체, 공급구, 이동통로, 분사구로 구성되며 가스는 공급구에서 유입되어 이동통로를 통해 분포된 후 분사구를 통해 하부로 분사된다는 결론을 도출한다.
- 상기 샤워헤드는 소정의 두께를 갖는 원반형의 몸체;상기 몸체 상부 중앙에 배치된 가스공급구;상기 원반형의 몸체 내부에 상기 가스공급구로 유입된 가스를 상기 원반형의 몸체 전체에 골고루 분포시키기 위해 배치된 가스이동통로들; 및상기 가스이동통로들로 이동된 가스를 상기 몸체 하부로 분사시키기 위해 상기 가스이동통로들로부터 그 하부로 상기 몸체를 관통하여 배치된상기가스분사구들포함하는것을특징으로 하는원자층 증착설비
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 완성된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 원반형의 몸체
- 가스공급구
- 가스이동통로들
- 가스분사구들
- 상기 몸체 상부 중앙에 배치된 가스공급구
- 상기 원반형의 몸체 내부에 상기 가스공급구로 유입된 가스를 상기 원반형의 몸체 전체에 골고루 분포시키기 위해 배치된 가스이동통로들
- 상기 가스이동통로들로 이동된 가스를 상기 몸체 하부로 분사시키기 위해 상기 가스이동통로들로부터 그 하부로 상기 몸체를 관통하여 배치된상기가스분사구들
- 가스공급구로 유입된 가스를
- 가스이동통로들로 이동된 가스를
- 상기 샤워헤드는 소정의 두께를 갖는 원반형의 몸체;상기 몸체 상부 중앙에 배치된 가스공급구;상기 원반형의 몸체 내부에 상기 가스공급구로 유입된 가스를 상기 원반형의 몸체 전체에 골고루 분포시키기 위해 배치된 가스이동통로들; 및상기 가스이동통로들로 이동된 가스를 상기 몸체 하부로 분사시키기 위해 상기 가스이동통로들로부터 그 하부로 상기 몸체를 관통하여 배치된상기가스분사구들포함하는것을특징으로 하는원자층 증착설비
최종 답변 (final_answer)
원자층 증착설비의 샤워헤드는 소정의 두께를 갖는 원반형의 몸체, 몸체 상부 중앙에 배치된 가스공급구, 원반형 몸체 내부에 배치되어 가스를 골고루 분포시키는 가스이동통로들, 그리고 가스이동통로들로부터 몸체를 관통하여 하부로 가스를 분사하는 가스분사구들로 구성된다. 가스의 흐름은 가스공급구로 유입되어 가스이동통로들을 통해 몸체 전체에 분포된 후, 가스분사구를 통해 몸체 하부로 분사되는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
샤워헤드는 몸체, 가스공급구, 가스이동통로, 가스분사구로 구성되며, 가스는 공급구 유입 -> 이동통로 분포 -> 분사구 하부 분사의 경로를 따른다.