문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 서브 편향 구동 유닛은 메인 편향 드로잉 영역을 메쉬로 분할하고, 각각의 메쉬에 대한 서브 편향 감도 교정 계수 및 서브 편향 비점수차 교정 계수를 저장하는 메모리구비하는대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,서브 편향 영역보다 더 작지않은대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 서브 편향 감도 교정 회로 및 서브 편향 비점수차 교정 회로는 메모리로부터 선택된 서브 편향 영역의 위치에 대응하는 서브 편향 감도 교정 계수 및 서브 편향 비점수차 교정 계수를 각각 판독하고, 판독된 교정 계수들을 기초로 하여 선택된 서브 편향 영역 내의 발사 위치에 대응하는 교정 작동수행하는대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 서브 편향 구동 유닛은 서브 편향 비점수차 지점이 n 번째 서브 편향 비점수차 교정값의 사용에 의해 교정되는 대전 입자 비임을 사용함으로써 2개의 수직 교차하는 방향으로 미리 설정된 마크를 스캐닝하여 대전 입자 비임의 서브 편향 비점수차 차이 및 미리 설정된 기울기 계수를 측정하고, 메모리에 저장된 서브 편향 비점수차 교정 계수를 유도하기 위해 서브 편향 비점수차 차이 및 측정된 미리 설정된 기울기 계수를 기초로 하여 어떠한 서브 편향 비점수차 차이가 발생하지 않는 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값을 연산하는 서브 편향 비점수차 교정값 연산 유닛과,n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때까지 비점수차 교정값 연산 유닛에 의해 제1 교정값으로부터 시작하는 연산 작동을 반복적으로 수행하고, 최종적으로 얻어진 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값의 사용에 의해 서브 편향 비점수차 교정량을 정의하는 관계식의 계수인 서브 편향 비점수차 교정 계수를 연산하는 서브 편향 비점수차 교정 계수 연산 유닛포함하는대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 서브 편향 감도 교정 회로 및 서브 편향 비점수차 교정 회로는 배관 시스템에서작동수행하도록구성된대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 서브 편향 감도 교정 회로 및 서브 편향 비점수차 교정 회로는 동시에 그리고 각각 편향 감도 교정 프로세스 및 편향 비점수차 교정 프로세스를 병렬식으로 수행하고,상기 가산기 회로는 서브 편향 감도 교정 회로 및 서브 편향 비점수차 교정 회로의 출력을, 조정된 타이밍가산하는대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 서브 편향기는 8개의 전극구비하는팔중극 편향기인 대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 서브 편향 비점수차 교정 계수를 연산하는 작동은 드로잉 영역의 복수의 위치수행되는대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 서브 편향 비점수차 교정값을 연산하고 상기 서브 편향 비점수차 교정 계수를 연산하는 작동은 상기 2개의 방향에 부가하여 상기 2개의 방향과 상이한 2개의 수직 교차하는 방향수행되는대전 비임 드로잉 장치.
[청구항 12]
제9항에 있어서,미리 설정된 기울기 계수는 2개의 수직 교차하는 방향의 서브 편향 비점수차 교정량이 변수로서 사용될 때 상기 서브 편향 비점수차 차이의 변동량의 기울기값인대전 비임 드로잉 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
대전 비임 드로잉 장치의 서브 편향 구동 유닛 내에서 서브 편향 비점수차 교정 계수를 연산하기 위해 서브 편향 비점수차 교정값 연산 유닛이 수행하는 반복 연산의 종료 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation서브 편향 비점수차 교정값 연산 유닛이 수행하는 반복 연산의 종료 조건을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 서브 편향 비점수차 교정값 연산 유닛의 반복 연산 동작에 관한 설명을 추출한다.
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때까지 비점수차 교정값 연산 유닛에 의해 제1 교정값으로부터 시작하는 연산 작동을 반복적으로 수행
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3근거 선택
evidence_selection반복 연산의 종료 조건을 명시한 구절을 선택한다.
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때
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4논리 통합
logical_integration연산 유닛은 n번째와 n+1번째 교정값 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작아질 때까지 반복하므로, 해당 조건이 충족되면 연산이 종료된다.
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때까지
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 종료 조건을 정리한다.
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때
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6답변 생성
answer_generation추출된 근거를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때
근거 (evidence)
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때까지 비점수차 교정값 연산 유닛에 의해 제1 교정값으로부터 시작하는 연산 작동을 반복적으로 수행
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때
- n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때까지
최종 답변 (final_answer)
n 번째 및 n+1 번째 서브 편향 비점수차 교정값 사이의 차이의 절대값이 미리 설정된 값보다 작게 될 때
핵심 해석 (core_interpretation)
서브 편향 비점수차 교정 계수를 정밀하게 연산하기 위해, 연속된 교정값 간의 차이가 임계치(미리 설정된 값) 미만으로 떨어질 때까지 반복 연산을 수행하여 수렴 조건을 만족시키는 기술이다.