문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 승강 부재는, 상기 서셉터의 상면 중앙영역에 대응되게 배치되는 승강 몸체부; 및 상기 승강 몸체부의 둘레에 기판들의 각 일부분을 감싸도록 각각 절개되어 형성되며, 절개된 안쪽 면에 각 기판의 변부를 받치는 단턱을 갖는기판 지지부들포함하는것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 승강 부재는 석영, 그라파이트(graphite), 및 탄화규소(sic) 중 선택된 어느하나이상의재질형성된것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,기판들을 각각 얹어서 지지하는 기판 카트들을 더 포함하며; 상기 승강 부재는 상기 기판 카트들의 각 변부를 일부 지지하도록형성된것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 기판 카트들은 중앙이 각각 개구되고, 개구된 안쪽 둘레 면에 기판의 변부를 받치는지지턱형성된것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 승강 구동유닛은, 승강 액추에이터, 및 상기 승강 액추에이터의 동력을 제공받아서 상기 승강 부재로 전달하는 동력 전달부를포함하는것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항 7]
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,셉터 상에 안착된 기판들을 각각 회전시키는새틀라이트포함하는것을특징으로 하는박막 증착 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,각각의 기판을 얹어서 지지하는 기판 카트를 더 포함하며; 상기 증착 챔버 외부에서 상기 반송 로봇에 의해 상기 기판 카트에 기판을 교환하는교환부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 기판 카트는 중앙이 개구되고, 개구된 안쪽 둘레 면에 기판의 변부를 받치는 지지 턱이 형성되며; 상기 교환부는, 상기 기판 카트가 수용될 수 있는 공간을 갖고 상기 반송 로봇의 아암 단부가 출입될 수 있는 출입부가 형성된 교환 챔버와, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트의 중앙 개구에 대응되도록 배치되며 승강 구동하는 복수의 제1 수직 핀들과, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트를 지지할 수 있게 배치되며 승강 구동하는 복수의 제2 수직 핀들, 및 상기 제1 수직 핀과 상기 제2 수직 핀을 서로 독립되게 승강시키는핀승강구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 11]
제9항상기 기판 카트는 중앙이 개구되고, 개구된 안쪽 둘레 면에 기판의 변부를 받치는 지지 턱이 형성되며; 상기 교환부는, 상기 기판 카트가 수용될 수 있는 공간을 갖고 상기 반송 로봇의 아암 단부가 출입될 수 있는 출입부가 형성된 교환 챔버와, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트의 중앙 개구에 대응되도록 배치된 복수의 제1 수직 핀들, 및상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트를 지지할 수 있게 배치되며 상기 제1 수직 핀들보다 낮은 높이에 배치된 복수의 제2 수직 핀들을 포함하며; 상기 반송 로봇은 기판을 지지한 상태에서 승강 이동시키도록구동하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템.
[청구항 12]
제8항에 있어서,상기 승강 부재는, 상기 서셉터의 상면 중앙영역에 대응되게 배치되는 승강 몸체부; 및 상기 승강 몸체부의 둘레에 기판들의 각 일부분을 감싸도록 각각 절개되어 형성되며, 절개된 안쪽 면에 각 기판의 변부를 받치는 단턱을 갖는기판 지지부들포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 처리 시스템에서 교환부의 구성 요소 중, 기판 카트의 중앙 개구에 대응하여 배치되며 승강 구동되는 제1 수직 핀들과 기판 카트를 지지할 수 있게 배치되는 제2 수직 핀들을 독립적으로 승강시키는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 처리 시스템의 교환부 구성 요소 중, 제1 수직 핀들과 제2 수직 핀들을 독립적으로 승강시키는 구성이 무엇인지 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 교환부의 구성 요소인 제1 수직 핀들, 제2 수직 핀들, 그리고 이들을 독립적으로 승강시키는 구성에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 교환부는, 상기 기판 카트가 수용될 수 있는 공간을 갖고 상기 반송 로봇의 아암 단부가 출입될 수 있는 출입부가 형성된 교환 챔버와, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트의 중앙 개구에 대응되도록 배치되며 승강 구동하는 복수의 제1 수직 핀들과, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트를 지지할 수 있게 배치되며 승강 구동하는 복수의 제2 수직 핀들, 및 상기 제1 수직 핀과 상기 제2 수직 핀을 서로 독립되게 승강시키는핀승강구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '제1 수직 핀들과 제2 수직 핀들을 독립적으로 승강시키는 구성'에 직접 대응하는 구절을 선택한다.
- 상기 제1 수직 핀과 상기 제2 수직 핀을 서로 독립되게 승강시키는핀승강구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템
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4논리 통합
logical_integration교환부 내에서 제1 수직 핀과 제2 수직 핀의 역할을 정의하고, 이 둘을 독립적으로 제어하는 주체가 '핀승강구동부'임을 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '핀승강구동부'를 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어를 사용하여 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 교환부는, 상기 기판 카트가 수용될 수 있는 공간을 갖고 상기 반송 로봇의 아암 단부가 출입될 수 있는 출입부가 형성된 교환 챔버와, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트의 중앙 개구에 대응되도록 배치되며 승강 구동하는 복수의 제1 수직 핀들과, 상기 교환 챔버의 내부에서 상기 기판 카트를 지지할 수 있게 배치되며 승강 구동하는 복수의 제2 수직 핀들, 및 상기 제1 수직 핀과 상기 제2 수직 핀을 서로 독립되게 승강시키는핀승강구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템
- 상기 제1 수직 핀과 상기 제2 수직 핀을 서로 독립되게 승강시키는핀승강구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템
최종 답변 (final_answer)
핀승강구동부는 기판 카트의 중앙 개구에 대응하여 배치되며 승강 구동되는 제1 수직 핀들과 기판 카트를 지지할 수 있게 배치되는 제2 수직 핀들을 독립적으로 승강시키는 구조를 갖고 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 처리 시스템의 교환부에서 제1 수직 핀과 제2 수직 핀을 각각 독립적으로 승강 제어함으로써 기판 카트의 안정적인 교환을 지원하는 핀승강구동부의 구성을 나타낸다.