증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치

[청구항1] 상기 도펀트 증발원은 포인트 소스인 것을 특징으로 하는 증착 소스 도펀트 증발원; 상기 도펀트 증발원 일 측에 배치되는 제1증발원 유닛과 상기 도펀트 증발원 타 측에 배치되는 제2증발원 유닛을 포함하는 제1호스트 증발원; 및 상기 도펀트 증발원의 일 측에서 상기 제1증발원과 나란히 배치되는 제3증발원 유닛과 상기 도펀트 증발원의 타 측에서 상기 제2증발원과 나란히 배치되는 제4증발원 유닛을 포함하는 제2 호스트 증발원 을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 소스 [청구항2] 제1항에 있어서,상기 도펀트 증발원은 선형증발원인것을특징으로 하는증착 소스. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 선형 증발원의 노즐의 배열 방향은 상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛이 배열된방향서로교차하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항4] 제3항에 있어서,상기 선형 증발원의 노즐의 배열 방향은 상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛이 배열된방향서로수직인것을특징으로 하는증착 소스. [청구항5] 제1항에 있어서,상기 도펀트 증발원은 포인트소스인것을특징으로 하는증착 소스. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 도펀트 증발원은,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛 사이에 배치되는 제1포인트 소스; 및상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛 사이에 배치되는제2포인트소스이루어지는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항7] 제1항에 있어서,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛은 상기 도펀트 증발원을 중심으로서로대칭적배치되는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항8] 제1항에 있어서,상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛은 상기 도펀트 증발원을 중심으로서로대칭적배치되는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항9] 제1항에 있어서,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛 각각은 선형증발원인것을특징으로 하는증착 소스. [청구항10] 제9항에 있어서,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛 각각은 상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛이 배열된 방향과 동일한 방향으로 형성된노즐구비하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항11] 제1항에 있어서,상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛 각각은 상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛이 배열된 방향과 동일한 방향으로 형성된노즐구비하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항12] 제1항에 있어서,상기 제1증발원과 상기 제2증발원이 배열된 방향과 상기 제3증발원과 상기 제4증발원이 배열된방향서로평행한것을특징으로 하는증착 소스. [청구항13] 제1항에 있어서,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛nan은서로크기와형상동일한것을특징으로 하는증착 소스. [청구항14] 제1항에 있어서,상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛nan은서로크기와형상동일한것을특징으로 하는증착 소스. [청구항15] 제1항에 있어서,제1호스트 증발원은 상기 제1증발원 유닛의 제1도가니와 상기 제2증발원 유닛의 제2도가니에 열을 가하도록 상기 제1도가니와 상기 제2도가니를 감싸면서 배치된제1가열부구비하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항16] 제15항에 있어서,제2호스트 증발원은 상기 제3증발원 유닛의 제3도가니와 상기 제4증발원 유닛의 제4도가니에 열을 가하도록 상기 제3도가니와 상기 제4도가니를 감싸면서 배치된제2가열부구비하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항17] 제1항에 있어서,제1호스트 증발원은 상기 제1증발원 유닛의 제1도가니에 열을 가하도록 상기 제1도가니를 감싸면서 배치된 제1가열부와, 상기 제2증발원 유닛의 제2도가니에 열을 가하도록 상기 제2도가니를 감싸면서 배치된제2가열부구비하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항18] 제17항에 있어서,제2호스트 증발원은 상기 제3증발원 유닛의 제3도가니에 열을 가하도록 상기 제3도가니를 감싸면서 배치된 제3가열부와, 상기 제4증발원 유닛의 제4도가니에 열을 가하도록 상기 제4도가니를 감싸면서 배치된제4가열부구비하는것을특징으로 하는증착 소스. [청구항19] 챔버와, 챔버 내에 이송되는 피증착체에 증착재를 증착시키는 증착 소스를 포함하는 증착장치로서, 상기 증착 소스는, 도펀트 증발원; 상기 도펀트 증발원 일 측에 배치되는 제1증발원 유닛과 상기 도펀트 증발원 타 측에 배치되는 제2증발원 유닛을 포함하는 제1호스트 증발원; 및 상기 도펀트 증발원의 일 측에서 상기 제1증발원과 나란히 배치되는 제3증발원 유닛과 상기 도펀트 증발원의 타 측에서 상기 제2증발원과 나란히 배치되는 제4증발원 유닛을 포함하는 제2 호스트 증발원 을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치 [청구항20] 제19항에 있어서,상기 도펀트 증발원은 선형증발원인것을특징으로 하는증착 장치. [청구항21] 제19항에 있어서,상기 도펀트 증발원은,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛 사이에 배치되는 제1포인트 소스; 및상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛 사이에 배치되는제2포인트소스이루어지는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항22] 제19항에 있어서,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛은 상기 도펀트 증발원을 중심으로 서로 대칭적으로 배치되며, 상기 제3증발원 유닛과 상기 제4증발원 유닛은 상기 도펀트 증발원을 중심으로서로대칭적배치되는것을특징으로 하는증착 장치. [청구항23] 제19항에 있어서,상기 제1증발원 유닛과 상기 제2증발원 유닛 각각은 선형증발원인것을특징으로 하는증착 장치.