성막장치 및 성막방법

[청구항2] 제1항에 있어서,원료공급수단 및 알콜공급수단이 기화상태의 금속산화막원료와 기화상태의 알콜을 혼합시켜 혼합물로 한후상기혼합물을상기처리용기공급하는것을특징으로 하는성막장치. 제 1 항에 있어서,원료공급수단 및 알콜공급수단이 기화상태의 금속산화막원료와 기화상태의 알콜을 혼합시켜 혼합물로 한후상기혼합물을상기처리용기공급하는것을특징으로 하는성막장치. [청구항3] 제 1 항에 있어서,원료공급수단 및 알콜공급수단이 기화상태의 금속산화막원료 및 기화상태의 알콜을 각각따로따로처리용기내공급하는것을특징으로 하는성막장치. 제1항에 있어서,원료공급수단 및 알콜공급수단이 기화상태의 금속산화막원료 및 기화상태의 알콜을 각각따로따로처리용기내공급하는것을특징으로 하는성막장치. [청구항4] 제 1 항에 있어서,금속산화막원료가금속알콕시드인것을특징으로 하는성막장치. 제1항에 있어서,금속산화막원료가금속알콕시드인것을특징으로 하는성막장치. [청구항5] 제1항에 있어서,금속산화막이 산화탄탈, 산화티탄, 산화지르코늄, 산화바륨 및 산화스트론튬으로 이루어지는 군으로부터 선택되는하나인것을특징으로 하는성막장치. 제 1 항에 있어서,금속산화막이 산화탄탈, 산화티탄, 산화지르코늄, 산화바륨 및 산화스트론튬으로 이루어지는 군으로부터 선택되는하나인것을특징으로 하는성막장치. [청구항6] 제1항에 있어서,알콜의 분해를 촉진하기 위한알콜분해촉매를처리용기내설치한것을특징으로 하는성막장치. 제 1 항에 있어서,알콜분해촉매가 재치대의 윗쪽배치되어있는것을특징으로 하는성막장치. [청구항7] 제 1 항에 있어서,알콜분해촉매가금속산화물로이루어지는것을특징으로 하는성막장치. 제6항에 있어서,알콜분해촉매가 재치대의 윗쪽배치되어있는것을특징으로 하는성막장치. [청구항8] 제6항에 있어서,알콜분해촉매가금속산화물로이루어지는것을특징으로 하는성막장치. [청구항9] 제1항에 있어서,또한 금속산화막이 표면에 성막된 피처리체에 대해서 상기 금속산화막의 개질을 실시하는개질처리부구비하는것을특징으로 하는성막장치. 제 8 항에 있어서,개질처리부가 다른 처리용기와, 상기 다른 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 다른 처리용기내에 산소, 오존 또는 n2o가스의 적어도 어느 하나를 함유하는 처리가스를 공급하는 처리가스공급수단과, 상기 다른 처리용기내에서 상기 처리가스로부터 활성산소원자를 생기게 하는 활성산소발생수단과, 상기 다른 처리용기내를 진공당김하는진공배기계구비하는것을특징으로 하는성막장치. [청구항10] 제9항에 있어서,개질처리부가 다른 처리용기와, 상기 다른 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 다른 처리용기내에 산소, 오존 또는 n2o가스의 적어도 어느 하나를 함유하는 처리가스를 공급하는 처리가스공급수단과, 상기 다른 처리용기내에서 상기 처리가스로부터 활성산소원자를 생기게 하는 활성산소발생수단과, 상기 다른 처리용기내를 진공당김하는진공배기계구비하는것을특징으로 하는성막장치. 제 9 항에 있어서,활성산소발생수단이 자외선조사수단,플라즈마생성수단또는피처리체가열수단인것을특징으로 하는성막장치. [청구항11] 제 9 항에 있어서,피처리체상에 금속산화막을 성막하는 처리용기 및 금속산화막을 개질하는 개질처리부가 구비하는 다른 처리용기의 사이를 공통으로 연통하는 공통이동재치실을추가구비하는것을특징으로 하는성막장치. 제10항에 있어서,활성산소발생수단이 자외선조사수단,플라즈마생성수단또는피처리체가열수단인것을특징으로 하는성막장치. [청구항12] 제11항에 있어서,또한 피처리체상에 금속산화막을 성막하는 처리용기 및 금속산화막을 개질하는 개질처리부가 구비하는 다른 처리용기의 사이를 공통으로 연통하는 공통이동재치실구비하는것을특징으로 하는성막장치. [청구항13] 제 12 항에 있어서,공통이동재치실내에 피처리체를 지지하면서 반송하기 위해 선회 및 굴절신장 자유롭게 이루어진 이동재치용아암기구구비하는것을특징으로 하는성막장치. [청구항14] 제 12 항에 있어서,복수의 피처리체를 수용가능한 카세트를 수용하여 진공당김 가능하게 이루어짐과 동시에 공통이동재치실에 연결된카세트수용실을추가구비하는것을특징으로 하는성막장치. 제13항에 있어서,재치대를 가열하기 위한 재치대가열수단갖는것을특징으로 하는개질장치. [청구항15] 제 12 항에 있어서,성막처리부가 처리용기와, 상기 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 처리용기내에 기화상태의 금속산화막원료를 공급하는 원료공급수단과, 상기 처리용기내에 기화상태의 알콜을 공급하는 알콜공급수단과, 상기 처리용기내를 진공당김하는진공배기계구비하는것을특징으로 하는성막장치. 제13항에 있어서,활성산소발생수단이 처리용기내의 분위기속에 자외선을 조사하여 활성산소원자를 생기게 하는자외선조사수단인것을특징으로 하는개질장치. [청구항16] 제15항에 있어서,자외선조사수단이 수은을 봉입한 수은봉입램프와, 이 수은봉입램프에 마이크로파를 인가하여 자외선을 발생시키기 위한 마이크로파발생수단과, 발생한 자외선을 상기 피처리체를 향하여 집광시켜서 균등하게 조사하는반사경구비하는것을특징으로 하는개질장치. 제 15 항에 있어서,알콜의 분해를 촉진하기 위한알콜분해촉매를성막처리부의처리용기내설치한것을특징으로 하는성막장치. [청구항17] 제15항에 있어서,자외선조사수단이 재치대의 표면에 대향하도록 서로 실질적으로 평행하게 배열된복수의자외선램프구성되어있는것을특징으로 하는개질장치. 제 16 항에 있어서,알콜분해촉매가 재치대의 윗쪽배치되어있는것을특징으로 하는성막장치. [청구항18] 제15항에 있어서,처리가스공급수단이 자외선조사수단과 재치대의 사이에 배치된 샤워헤드를 갖고, 이 샤워헤드는 분사구멍을 갖는복수의가스분사관조함하여이루어지는것을특징으로 하는개질장치. 제 17 항에 있어서,알콜분해촉매가금속산화물로이루어지는것을특징으로 하는성막장치. [청구항19] 제18항에 있어서,복수의 가스분사관nan은격자상조합되어있는것을특징으로 하는개질장치. 제 12 항에 있어서,개질처리부가 처리용기와, 상기 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 처리용기내에 산소, 오존 또는 n2o가스의 적어도 어느 하나를 함유하는 처리가스를 공급하는 처리가스공급수단과, 상기 처리용기내에서 상기 처리가스로부터 활상산소원자를 생기게 하는 활성산소발생수단과, 상기 처리용기내를 진공당김하는진공배기계구비하는것을특징으로 하는성막장치. [청구항20] 제18항에 있어서,복수의 가스분사관의 재치대상에 대한 투영면적이 피처리체의 표면의 면적의 20%보다도 작은 것특징으로 하는개질장치. 제 19 항에 있어서,활성산소발생수단이 자외선조사수단,플라즈마생성수단또는피처리체가열수단인것을특징으로 하는성막장치. [청구항21] 제13항에 있어서,활성산소발생수단이 처리용기내의 분위기속에 마이크로파 또는 고주파전계를 인가하여 플라즈마를 생기게 함으로써 상기 처리가스로부터 활성산소원자를 생기게 하는플라즈마생성수단인것을특징으로 하는개질장치. [청구항22] 제21항에 있어서,처리가스공급수단이 플라즈마생성수단과 재치대의 사이에 배치된 샤워페드를 갖고, 이 샤워헤드는 분사구멍을 갖는 복소의 가스분사관을 조합기켜이루어지는것을특징으로 하는개질장치. [청구항23] 제22항에 있어서,복수의 가스분사관nan은격자상조함되어있는것을특징으로 하는개질장치. [청구항24] 제22항에 있어서,복수의 가스분사관의 재치대상에 대한 투영면적이 피처리체의 표면의 면적의 20%보다도 작은 것특징으로 하는개질장치 [청구항25] 제13항에 있어서,처리가스공급수단은 재치대의 상면을 덮을 수 있도록 하는 하단부가 개방된 용기상의 덮개를 갖고, 다른측에는 배출구를 갖는 배출헤더부가 형성되며, 상기 덮개내에 수평방향으로 흐르는 가스류를 형성하도록있는것을특징으로 하는개질장치. [청구항26] 제25항에 있어서,덮개 및 재치대는 상대적으로 상항방향으로 접근 및 이간 가능하게 이루어져있는것을특징으로 하는개질장치. [청구항27] 제13항에 있어서,활성산소발생수단이 피처리체를 가열하기 위한 가열수단이며 상기 가열수단이 상기 피처리체를 400℃~850℃의범위내가열하는것을특징으로 하는개질장치. [청구항28] 제27항에 있어서,가열수단이 재치대의 아래쪽에 설치한복수가열램프로이루어지는것을특징으로 하는개질장치. [청구항29] 제27항에 또는 제 28 항에 있어서,처리용기의 측벽에 해당 측벽을 오존의 열분해온도보다도 낮은 온도로 냉각하는냉각자켓설치되어있는것을특징으로 하는개질장치. [청구항30] 제13항에 있어서,또한 피처리체의 표면에 금속산화막을 구성하는성막처리부구비하는것을특징으로 하는개질장치. [청구항31] 제30항에 있어서,성막처리부가 다른 처리용기와, 상기 다른 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 다른 처리용기내에 기화상태의 금속산화막원료를 공급하는 원료공급수단과, 상기 다른 처리용기내에 기화상태의 알콜을 공급하는 알콜공급수단과, 상기 다른 처리용기내를 진공당김하는진공배기계구비하는것을특징으로 하는개질장치. [청구항32] 제31항에 있어서,또한 피처리처상에 금속산화막을 성막하는 처리용기 및 금속산화막을 개질하는 개질처리부가 구비하는 다른 처리용기의 사이를 공통으로 연통하는 공통이동재치실구비하는것을특징으로 하는개질장치. [청구항34] 제33항에 있어서,공통이동재치실내에 피처리체를 지지하면서 반송하기 위해 선회 및 굴절신장 자유롭게 이루어진 이동재치용아암기구구비하는것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항35] 제33항에 있어서,복수의 피처리체를 수용가능한 카세트를 수용하여 진공당김 가능하게 이루어짐과 동시에 공통이동재치실에 연결된카세트수용실구비하는것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항36] 제33항에 있어서,성막처리부가 처리용기와, 상기 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 처리용기내에 기화상태의 금속산화막원료를 공급하는 원료공급수단과, 상기 처리용기내에 기화상태의 알콜을 공급하는 알콜공급수단과, 상기 처리용기내를 진공당김하는진공배기계구비하는것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항37] 제36항에 있어서,알콜의 분해를 촉진하기 위한알콜분해촉매를성막처리부의처리용기내설치한것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항38] 제37항에 있어서,알콜분해촉매가 재치대의 윗쪽배치되어있는것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항39] 제38항에 있어서,알콜분해촉매가금속산화물로이루어지는것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항40] 제33항에 있어서,개질처리부가 처리용기와, 상기 처리용기내에 수용된 피처리체가 그 표면상에 재치되는 재치대와, 상기 처리용기내에 산소, 오존 또는 n2o가스의 적어도 어느 하나를 함유하는 처리가스를 공급하는 처리가스공급수단과, 상기 처리용기내에서 상기 처리가스로부터 활상산소원자를 생기게 하는 활성산소발생수단과, 상기 처리용기내를 진공당김하는 진공배기계구비하는개질ㆍ성막장치. [청구항41] 제40항에 있어서,활성산소발생수단이 자외선조사수단,플라즈마생성수단또는피처리체가열수단인것을특징으로 하는성막ㆍ개질장치. [청구항56] 제50항에 있어서,금속산화막이 산화탄탈, 산화티탄, 산화지르코늄, 산화바륨 및 산화스트론튬으로 이루어지는 군으로부터 선택되는적어도하나인것을특징으로 하는개질방법.