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밸브 및 이를 구비하는 기판 처리 장치

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출원번호
1020070115282
출원연도
2007
IPC
F16K
분류
기계(F섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 제1 구동부는,전기적으로 구동되는모터인것을특징으로 하는밸브. 제 1 항에 있어서,상기 제1 구동부는,전기적으로 구동되는모터인것을특징으로 하는밸브. [청구항3] 제 2 항에 있어서,상기 밸브는,상기 지점을 기준으로 상기 통로 내 처리액에 흡입력을 가하여, 일정량의 처리액을 흡입시키는 흡입부재를 더 포함하되,상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함하는것을특징으로 하는밸브. 제 2 항에 있어서,상기 밸브는,상기 통로 내 처리액에 흡입력을 가하여, 일정량의 처리액을 흡입시키는 흡입부재를 더 포함하되,상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함하는것을특징으로 하는밸브. [청구항4] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 밸브는,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부를 냉각하는냉각부재더포함하는것을특징으로 하는밸브. 제 3 항에 있어서,상기 밸브는,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부를 냉각하는냉각부재더포함하는것을특징으로 하는밸브. [청구항6] 제 5 항에 있어서,상기 제1 구동부는,전기적으로 구동되는모터인것을특징으로 하는밸브. 제 5 항에 있어서,상기 제1 구동부는,전기적으로 구동되는모터인것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항7] 제 6 항에 있어서,상기 밸브는,상기 지점을 기준으로 상기 제2 통로 내 처리액에 흡입력을 가하여, 일정량의 처리액을 흡입시키는 흡입부재를 더 포함하되,상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제 6 항에 있어서,상기 밸브는,상기 제2 통로 내 처리액에 흡입력을 가하여, 일정량의 처리액을 흡입시키는 흡입부재를 더 포함하되,상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항8] 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 밸브는,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부를 냉각하는냉각부재더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제 7 항에 있어서,상기 밸브는,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부를 냉각하는냉각부재더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항9] 제 7 항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,상기 제1 구동부 및 상기 제2 구동부의 동작 상태를 판단하는 제어부와,상기 제어부가 판단한 결과를 표시하는표시부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 처리 장치는,상기 제1 구동모터 및 상기 제2 구동모터의 동작 상태를 판단하는 제어부와,상기 제어부가 판단한 결과를 표시하는표시부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
밸브에 포함되는 흡입부재는 어떠한 구성요소로 이루어져 있으며, 각 구성요소는 무엇을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    밸브 내 흡입부재의 구성요소와 그 기능을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 흡입부재의 구성과 기능을 추출한다.

    • 상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함하는것을특징으로 하는밸브
  3. 3근거 선택evidence_selection

    흡입부재의 구성인 다이아프램과 제2구동부, 그리고 각각의 동작 설명을 선택한다.

    • 상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함
  4. 4논리 통합logical_integration

    다이아프램은 흡입구에 설치되는 구성이며, 제2구동부는 다이아프램을 이동시키는 역할을 수행함을 연결한다.

    • 흡입구에 설치되는 다이아프램
    • 상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    흡입부재는 다이아프램과 제2구동부로 구성되며, 제2구동부가 다이아프램을 이동시킨다는 결론을 도출한다.

    • 상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합하도록 구성요소와 역할을 정리하여 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함하는것을특징으로 하는밸브
  • 상기 흡입부재는,상기 통로에 제공되는 흡입구에 설치되는 다이아프램과,상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부포함
  • 흡입구에 설치되는 다이아프램
  • 상기 흡입구를 따라 상기 다이아프램을 이동시키는제2구동부
최종 답변 (final_answer)
밸브의 흡입부재는 다음과 같은 구성요소로 이루어져 있다. 1. 다이아프램: 통로에 제공되는 흡입구에 설치된다. 2. 제2구동부: 흡입구를 따라 다이아프램을 이동시키는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
흡입부재는 흡입구에 설치된 다이아프램과 이를 이동시키는 제2구동부로 구성된다.