대면적 화학기상증착기용 유도가열장치

[청구항2] 청구항 1에 있어서,상기 유도코일(400)은 동심원상으로 형성된 스파이럴 형태의 복수 개의 유도코일(400a,400b)이 베이스 플레이트(500) 바깥쪽에서 연결도선(410)으로 직렬 연결되고, 상기 유도코일(400a,400b) 사이는 지지관(370) 및 자전용 회전축(380)이 간섭을 받지 않고 회전할 수 있는간극갖는것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. [청구항3] 청구항 1에 있어서,상기 자전용 구동기어(310)는 공전용 구동기어(320)보다 직경이 크고, 상기 자전용 휠 기어(340)는 공전용 휠 기어(350)보다 직경이 작게 제작되어 구동모터(330)의 회전시 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)가 회전수의 차이로 인해 자전용 휠 기어(340)가공전용휠기어회전하도록된것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. 청구항 1에 있어서,상기 자전용 구동기어(310)는 공전용 구동기어(320)보다 직경이 크고, 상기 자전용 휠 기어(340)는 공전용 휠 기어(350)보다 직경이 작게 제작되어 구동모터(330)의 회전시 자전용 휠 기어(340)와 공전용 휠 기어(350)가 회전수의 차이로 인해 자전용 휠 기어(340)가공전용휠기어회전하도록된것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. [청구항4] 청구항 1에 있어서,상기 링 형 하우징(510) 내에는 공전용 휠 기어(350)가 하부에 설치되고, 이 공전용 휠 기어(350) 상부에 자전용 휠 기어(340)가 설치되며, 공전용 휠 기어(350)는 그 외측에 기어 이(352)가 형성되고 내부에는 자전용 서셉터(110)를 자전시키기 위한 자전용 회전축(380)이 회전가능하게 고정되는 고정리브(354)가 방사상으로 복수 개 형성되며, 상기 자전용 휠 기어(340)는 그 외측에 기어 이(342)가 형성되고 내측에는 상기 자전용 종동기어(390)와 맞물리는내부기어이형성된것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. 청구항 1에 있어서,상기 링 형 하우징(510) 내에는 공전용 휠 기어(350)가 하부에 설치되고, 이 공전용 휠 기어(350) 상부에 자전용 휠 기어(340)가 설치되며, 공전용 휠 기어(350)는 그 외측에 기어 이(352)가 형성되고 내부에는 자전용 서셉터(110)를 자전시키기 위한 자전용 회전축(380)이 회전가능하게 고정되는 고정리브(354)가 방사상으로 복수 개 형성되며, 상기 자전용 휠 기어(340)는 그 외측에 기어 이(342)가 형성되고 내측에는 상기 자전용 종동기어(390)와 맞물리는내부기어이형성된것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. [청구항5] 청구항 1에 있어서,상기 구동모터(330)의 축은 베어링(360)에 의해 링 형 하우징(510)에 지지되고, 상기 자전용 및 공전용 휠 기어(340,350) 사이에는 베어링(520)이 설치되어 각각각 독립적으로회전가능하도록된것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. 청구항 1에 있어서,상기 구동모터(330)의 축은 베어링(360)에 의해 링 형 하우징(510)에 지지되고, 상기 자전용 및 공전용 휠 기어(340,350) 사이에는 베어링(520)이 설치되어 각각각 독립적으로회전가능하도록된것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. [청구항6] 청구항 5에 있어서,상기 베어링(360,520)은 세라믹 볼(ball)을 사용하는트러스트베어링인것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치. 청구항 5에 있어서,상기 베어링(360,520)은 세라믹 볼(ball)을 사용하는트러스트베어링인것을특징으로 하는대면적 화학기상증착기용 유도가열장치.