웨이퍼의 가접착 방법 및 박형 웨이퍼의 제조 방법

[청구항5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실록산 함유 조성물층(c')이, 하기 일반식(1)으로 표시되는 반복 단위를 가지는, 중량 평균 분자량이 3,000∼500,000인 실록산 결합 함유 중합체 100 질량부에 대하여, 가교제로서 포르말린 또는 포르말린-알코올에 의해 변성된 아미노 축합물, 멜라민 수지, 요소 수지, 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 메틸올기 또는 알콕시메틸올기를 가지는 페놀 화합물, 및 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 에폭시기를 가지는 에폭시 화합물로부터 선택되는 어느 1종 이상을 0.1∼50 질량부 함유하는 조성물의 층인, 가접착 방법:[상기 일반식(1) 중에서, r1∼r4는 동일할 수도 있고 상이할 수도 있는 탄소 원자수 1∼8의 1가의 탄화수소기를 나타내고, 또한, m은 1∼100의 정수이며, b는 양수, a는 0 또는 양수이며, 단 a＋b=1이고, x는 하기 일반식(2)으로 표시되는 2가의 유기기임:(상기 일반식(2) 중에서, z는,중에서 선택되는 어느 하나의 2가의 유기기이며, n은 0 또는 1이고, 또한, r5, r6는 각각 탄소 원자수 1∼4의알킬기또는알콕시기서로동일할수상이할 수도 있고, k는 0, 1, 2 중 어느 하나임)]. [청구항6] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실록산 함유 조성물층(c')이, 하기 일반식(3)으로 표시되는 반복 단위를 가지는, 중량 평균 분자량이 3,000∼500,000인 실록산 결합 함유 중합체 100 질량부에 대하여, 가교제로서 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 페놀성 수산기를 가지는 페놀 화합물, 및 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 에폭시기를 가지는 에폭시 화합물로부터 선택되는 어느 1종 이상을 0.1∼50 질량부 함유하는 조성물의 층인, 가접착 방법:[상기 일반식(3) 중에서, r1∼r4는 동일할 수도 있고 상이할 수도 있는 탄소 원자수 1∼8의 1가의 탄화수소기를 나타내고, 또한, m은 1∼100의 정수이며, b는 양수, a는 0 또는 양수이며, 단, a＋b=1이고, 또한, y는 하기 일반식(4)으로 표시되는 2가의 유기기임:(상기 일반식(4) 중에서, v는,중에서 선택되는 어느 하나의 2가의 유기기이며, p는 0 또는 1이고. 또한, r7, r8은 각각 탄소 원자수 1∼4의알킬기또는알콕시기서로동일할수상이할 수도 있고, h는 0, 1, 2 중 어느 하나임)]. [청구항12] 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실록산 함유 조성물층(c')이, 하기 일반식(1)으로 표시되는 반복 단위를 가지는, 중량 평균 분자량이 3,000∼500,000인 실록산 결합 함유 중합체 100 질량부에 대하여, 가교제로서 포르말린 또는 포르말린-알코올에 의해 변성된 아미노 축합물, 멜라민 수지, 요소 수지, 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 메틸올기 또는 알콕시메틸올기를 가지는 페놀 화합물, 및 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 에폭시기를 가지는 에폭시 화합물로부터 선택되는 어느 1종 이상을 0.1∼50 질량부 함유하는 조성물의 층인, 박형 웨이퍼의 제조 방법:[상기 일반식(1) 중에서, r1∼r4는 동일할 수도 있고 상이할 수도 있는 탄소 원자수 1∼8의 1가의 탄화수소기를 나타내고, 또한, m은 1∼100의 정수이며, b는 양수, a는 0 또는 양수이며, 단 a＋b=1이고, x는 하기 일반식(2)으로 표시되는 2가의 유기기임:(상기 일반식(2) 중에서, z는,중에서 선택되는 어느 하나의 2가의 유기기이며, n은 0 또는 1이고, 또한, r5, r6는 각각 탄소 원자수 1∼4의알킬기또는알콕시기서로동일할수상이할 수도 있고, k는 0, 1, 2 중 어느 하나임)]. [청구항13] 제7항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실록산 함유 조성물층(c')이, 하기 일반식(3)으로 표시되는 반복 단위를 가지는, 중량 평균 분자량이 3,000∼500,000인 실록산 결합 함유 중합체 100 질량부에 대하여, 가교제로서 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 페놀성 수산기를 가지는 페놀 화합물, 및 1분자 중에 평균적으로 2개 이상의 에폭시기를 가지는 에폭시 화합물로부터 선택되는 어느 1종 이상을 0.1∼50 질량부 함유하는 조성물의 층인, 박형 웨이퍼의 제조 방법:[상기 일반식(3) 중에서, r1∼r4는 동일할 수도 있고 상이할 수도 있는 탄소 원자수 1∼8의 1가의 탄화수소기를 나타내고, 또한, m은 1∼100의 정수이며, b는 양수, a는 0 또는 양수이며, 단, a＋b=1이고, 또한, y는 하기 일반식(4)으로 표시되는 2가의 유기기임:(상기 일반식(4) 중에서, v는,중에서 선택되는 어느 하나의 2가의 유기기이며, p는 0 또는 1이고, 또한, r7, r8은 각각 탄소 원자수 1∼4의알킬기또는알콕시기서로동일할수상이할 수도 있고, h는 0, 1, 2 중 어느 하나임)].