문맥 (context)
[청구항1]
서셉터 상에 회전 가능하도록 장착되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓; 및
상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버
를 포함하는 cvd 장치용 새틀라이트
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 커버는,상기 포켓과 결합하는 커버 몸체와,상기 커버 몸체로부터 연장되어 구비되어 피증착체의 테두리 부분을 지지하도록 마련되며, 내면에 상기 개구부가 마련되는지지부포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 커버는,상기 포켓과 결합하며, 내면에 상기 개구부가 마련되는 커버 몸체와,상기 커버 몸체로부터 내측으로 소정 돌출되어 구비되며 피증착체의 테두리 부분을 지지하도록 마련되는복수개의돌출지지부포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 포켓은,상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며, 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는지지스테이지포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 포켓은,상기 포켓의 내부 바닥면에 상기 피증착체의 테두리 부분과 대응되는 위치에 마련되는 그루브와,상기 그루브에 의해 마련되어 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 가지며 상기 피증착체의 하단을 지지하는지지스테이지포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항6]
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버는 상기 포켓에 착탈 가능하도록 결합하기 위한 결합부를 포함하고,상기 포켓은 상기 커버의 결합부와 결합하여 상기 커버가 상기 포켓 상에 고정되도록 하는피결합부포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항7]
제6항에 있어서,상기 결합부 및 상기 피결합부 중어느 하나는 결합돌기를 포함하고,상기 결합부 및 상기 피결합부 중 다른 하나는 상기 결합돌기가 삽입되어 결합되도록 하는결합홈포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항8]
제6항에 있어서,상기 결합부 및 상기 피결합부 중어느 하나는 나사결합부를 포함하고,상기 결합부 및 상기 피결합부 중 다른 하나는 상기 나사결합부와 나사결합하도록 마련되는피나사결합부포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항9]
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버 및 상기 포켓은 동일한 재질로써 만들어지거나 상기 커버와 상기 포켓이 각각 별개의 재질로써 만들어지도록 한 것특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항10]
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, sic, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느하나재질로이루어지는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항11]
제10항에 있어서,상기 커버 및 상기 포켓 중 적어도 하나는 흑연, sic, 티타늄, 몰리브덴 및 스테인리스 스틸 중 어느 하나로 코팅되어구비되는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트.
[청구항12]
피증착체에 대한 증착이 이루어지는 반응로를 구비하는 챔버
상기 반응로 내에 구비되어 적어도 하나의 수용홈을 구비하는 서셉터
상기 서셉터와 인접하여 구비되며 피증착체 를 가열하는 가열수단; 및
상기 서셉터의 수용홈에 회전 가능하도록 수용되며, 내부에 피증착체를 수용하는 포켓과, 상기 포켓의 상단을 덮으며 상기 포켓 내에 수용되는 피증착체의 테두리 부분을 지지하며 상기 피증착체의 증착이 이루어지는 부분이 외부로 노출되도록 개구부를 구비하는 커버를 포함하는 새틀라이트
를 포함하는 cdv 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
CVD 장치용 새틀라이트의 포켓 내부에서 피증착체의 하단을 지지하는 구성요소는 무엇이며, 해당 구성요소는 어떤 특징을 갖는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation포켓 내부에서 피증착체의 하단을 지지하는 구성요소의 명칭과 특징을 찾는 과업을 수행한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 포켓의 내부 구성 및 지지 기능을 수행하는 요소를 추출한다.
- 상기 포켓은,상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며, 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는지지스테이지포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트
-
3근거 선택
evidence_selection구성요소 명칭인 '지지스테이지'와 특징인 '상향 돌출', '피증착체 하단 지지', '피증착체 직경보다 작은 직경'을 선택한다.
- 지지스테이지
- 상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며
- 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는
-
4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 구성요소의 명칭과 그 물리적/기능적 특징을 연결한다.
- 지지스테이지
- 상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며
- 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는
-
5결론 도출
conclusion_formulation피증착체의 하단을 지지하는 것은 지지스테이지이며, 이는 포켓 내부 바닥면에 상향 돌출되어 있고 피증착체의 직경보다 작은 직경을 가진다는 결론을 도출한다.
- 지지스테이지
- 상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며
- 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 지지스테이지
- 상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며
- 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는
근거 (evidence)
- 상기 포켓은,상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며, 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는지지스테이지포함하는것을특징으로 하는cvd 장치용 새틀라이트
- 지지스테이지
- 상기 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며
- 상기 피증착체의 직경 크기 보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되는
최종 답변 (final_answer)
피증착체의 하단을 지지하는 구성요소는 지지스테이지이다. 이 지지스테이지는 포켓의 내부 바닥면에 상향 돌출되어 구비되어 피증착체의 하단을 지지하며, 피증착체의 직경 크기보다 실질적으로 더 작은 직경 크기를 갖도록 마련되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
CVD 장치용 새틀라이트의 포켓 내부에 위치하여 피증착체의 하단을 안정적으로 지지하기 위해 설계된 지지스테이지의 명칭과 구조적 특징을 정의함.