기화장치 및 그 제어방법

[청구항1] 상부에 도입구가 형성되고, 상기 도입구와 대향하는 하부에 배출구가 형성되는 중공형의 용기와 상기 용기의 외주면에 상기 용기의 길이방향으로 이격되어 구비되는 복수의 히터와 상기 복수의 히터에 각각 대응하고 상기 용기 내부에 구비되는 복수의 내부 온도 센서와 상기 복수의 히터에 구비되는 복수의 외부 온도 센서와 상기 외부 온도 센서 및 내부 온도 센서에서 측정된 신호로부터 온도를 검출하는 온도 검출부; 및 상기 온도 검출부를 통해 검출된 용기 도입구와 배출구 간의 내부 온도 차이 값이 기 설정된 내부 온도 설정 범위를 벗어나면, 상기 복수의 히터를 선택적으로 온/오프하여 상기 용기 내부 온도 차이 값을 상기 기 설정된 내부 온도 설정 범위로 유지하도록 제어하는 제어부 를 포함하는 기화장치 [청구항2] 청구항 1에 있어서,상기 복수의 히터는 상기 용기의 상부 외주면에 구비되는 제1 히터와, 상기 상부 히터와 이격되어 상기 용기의 하부 외주면에 구비되는 제2 히터포함하는기화장치. [청구항3] 청구항 2에 있어서,상기 내부 온도 센서는 상기 제1 히터가 구비되는 상기 용기 내부의 도입구 측 온도를 측정하는 제1센서와, 상기 제2 히터가 구비되는 상기 용기 내부의 배출구 측 온도를 측정하는 제2센서를 포함하고,상기 외부 온도 센서는 상기 제1 히터에 구비되는 제3센서와, 상기 제2 히터에 구비되는 제4센서포함하는기화장치. [청구항4] 청구항 3에 있어서,상기 제어부는,상기 용기 내부의 도입구 측 온도와 상기 배출구 측 온도의 차이 값이 기 설정된 내부 온도 설정 범위를 벗어나는 경우,상기 제1 히터 또는 상기 제2 히터를 작동시켜 상기 차이 값이 상기 기 설정된내부 온도설점범위이내제어하는것을특징으로 하는기화장치. [청구항5] 청구항 3에 있어서,상기 제어부는, 상기 용기 내부의 도입구 측 온도와 상기 배출구 측 온도의 차이 값이 기 설정된 내부 온도 설정 범위를 벗어나고, 상기 제1 히터의 온도와 상기 제2 히터의 온도 간의 히터 온도 차이 값이 기 설정된 히터 온도 설정 범위 이내인 경우에는, 상기 도입구 측 온도와 상기 배출구 측 온도의 차이 값을 노이즈로 판단하여 상기 제1 히터와 상기 제2히터의 동작을 그대로 유지하도록제어하는것을특징으로 하는기화장치. [청구항6] 청구항 3에 있어서,상기 제어부는,상기 용기 내부의 도입구 측 온도와 상기 배출구 측 온도의 차이 값이 기 설정된 내부 온도 설정 범위를 벗어나고, 상기 제1 히터의 온도와 상기 제2 히터의 온도 간의 히터 온도 차이 값이 기 설정된 히터 온도 설정 범위를 벗어나는 경우에는, 상기 제1 히터 또는 상기 제2 히터를 작동시켜 상기 도입구 측 온도와 상기 배출구 측 온도의 차이가상기내부 온도설정 범위이내제어하는것을특징으로 하는기화장치.