투영 광학계, 노광 장치 및 노광 방법

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은, 상기 투영 광학계의 광축에 관해 1 회 회전 대칭인형상갖는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 출사면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선은 거의 일치하며, 상기 출사면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 4] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향에 관해 거의 대칭으로 또한 다른쪽의 축선 방향에 관해 비대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 출사면의 중심 축선은 상기 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 5] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 출사면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 6] 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기출사면의상기중심축선거의일치하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은, 상기 투영 광학계의 광축에 관해 2 회 회전 대칭인형상갖는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 8] 제1항 또는 제7항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지고, 상기 출사면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는원의중심축선과상기광축거의일치하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 유효 투영 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라 상기 출사면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 10] 제1항 및 제4항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자는, 상기 제1면측이 상기 기체에 접하고 상기 제2면측이 상기 액체에 접하는경계렌즈인것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 11] 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자는, 상기 제1면측이 상기 기체에 접하고 상기 제2면측이 상기 액체에 접하는 경계 렌즈와 상기 제2면 사이의 광로 중에 배치된 거의무굴절력의광학부재인것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 12] 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1면의 축소상을 상기 액체를 통해상기제2면투영하는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 13] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2면 상의 유효 투영 영역의 중심nan은상기투영 광학계의광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 14] 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 투영 광학계는, 적어도 하나의 오목면 반사경과 복수의 굴절 광학 소자를 구비하고, 상기 제1면 상의 유효 시야 영역 및 상기 제2면 상의 상기 유효 투영 영역은상기광축포함하지않는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 제1면으로부터의 광에 기초하여 제1 중간상을 형성하기 위한 굴절형의 제1 결상 광학계와, 상기 적어도 하나의 오목면 반사경을 포함하고, 상기 제1 중간상으로부터의 광에 기초하여 제2 중간상을 형성하기 위한 제2 결상 광학계와, 상기 제2 중간상으로부터의 광에 기초하여 상기 상을 상기 제2면 상에 형성하기 위한굴절형의제3결상 광학계더구비하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 제1 결상 광학계와 상기 제2 결상 광학계 사이의 광로 중에 배치된 제1 편향 거울과, 상기 제2 결상 광학계와 상기 제3 결상 광학계 사이의 광로 중에 배치된제2편향거울더포함하는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 17] 제1항 내지 제6항, 제10항 내지 제 16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 투영 광학계는, 상기 상(像)과 상기 제2면 상에 배치되는 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서 패턴을 투영하는 노광 장치에 이용되고, 상기 굴절 광학 소자의 상기 출사면의 중심 축선은 상기 광축으로부터상기주사방향편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 제2면 상의 유효 투영 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라 상기 출사면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 25] 제21항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2면 상의 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기출사면의중심축선거의일치하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 27] 제26항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 입사면은 상기 2개의 축선 방향에 관해 서로 거의 동일한길이형성되어있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 28] 제26항 또는 제27항에 있어서,상기 투영 광학계는, 상기 상(像)과 상기 제2면 상에 배치되는 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서 패턴을 투영하는 노광 장치에 이용되고, 상기 한쪽의 축선 방향에 대한 상기 출사면의 길이는, 상기 다른쪽의 축선 방향에 대한 상기 출사면의 길이보다도 짧게 설정되며, 상기 한쪽의 축선 방향은상기주사방향일치하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 29] 제26항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 출사면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선은 거의 일치하며, 상기 출사면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 30] 제26항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 출사면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는원의중심축선과상기광축거의일치하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 31] 제30항에 있어서,상기 유효 투영 영역의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라 상기 출사면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 32] 제26항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향에 관해 거의 대칭으로 또한 다른쪽의 축선 방향에 관해 비대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 입사면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 출사면의 중심 축선은 상기 한쪽의 축선을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 33] 제26항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은 상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 출사면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 출사면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 34] 제29항, 제32항 또는 제33항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기출사면의상기중심축선일치하고있는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 35] 제26항 내지 제34항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1면의 축소상을 상기 액체를 통해상기제2면투영하는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 36] 제26항 내지 제35항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향을 설정할 때, 한쪽의 축선 방향에 대한 상기 상(像)이 형성되는 영역의 길이와, 다른쪽의 축선 방향에 대한 상기 상(像)이 형성되는 영역의 길이는 서로 상이한길이인것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 37] 제1항 내지 제36항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 출사면은평면갖는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 38] 제1항 내지 제36항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 입사면nan은평면갖는것을특징으로 하는투영 광학계. [청구항 40] 제39항에 있어서,상기 패턴의 상과 상기 감광성 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서패턴투영하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 41] 제39항 또는 제40항에 있어서,상기 액체의 급배액을 행하는급배기구더포함하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 47] 제46항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은, 상기 액침 대물 광학계의 광축에 관해 1 회 회전 대칭인형상포함하는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 48] 제46항 또는 제47항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향에 관해 거의 대칭으로 또한 다른쪽의 축선 방향에 관해 비대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 49] 제46항 또는 제47항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 50] 제47항 내지 제49항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기한쪽의광학면의중심축선거의일치하고있는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 51] 제46항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은, 상기 액침 대물 광학계의 광축에 관해 2 회 회전 대칭인형상포함하는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 52] 제46항 또는 제51항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는원의중심축선과상기광축거의일치하고있는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 53] 제52항에 있어서,상기 유효 투영 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기한쪽의광학면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 55] 제54항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면은, 상기 2개의 축선 방향에 관해 서로 거의 동일한길이형성되어있는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 56] 제46항 내지 제55항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1면측이 기체에 접하고 상기 제2면측이 상기 액체에 접하는 경계 렌즈와 상기 제2면 사이의 광로 중에 배치된 거의무굴절력의광학부재인것을특징으로 하는기재의 굴절 광학 소자. [청구항 57] 제46항 내지 제56항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면은,평면갖는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 58] 제46항 내지 제55항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자는, 상기 제1면측이 기체에 접하고 상기 제2면측이 상기 액체에 접하는경계렌즈인것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 59] 제46항 내지 제58항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 한쪽의 광학면은,평면갖는것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 60] 제46항 내지 제59항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2면 상의 유효 투영 영역은, 상기 제2면 상에서서 직교하는 2개의 축선 방향을 설정할 때, 한쪽의 축선 방향에 대한 상기 유효 투영 영역의 길이와, 다른쪽의 축선 방향에 대한 상기 유효 투영 영역의 길이는 서로 상이한길이인것을특징으로 하는굴절 광학 소자. [청구항 63] 제62항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은, 상기 액침 대물 광학계의 광축에 관해 1 회 회전 대칭인형상갖는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 64] 제62항 또는 제63항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 65] 제62항 또는 제63항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향에 관해 거의 대칭으로 또한 다른쪽의 축선 방향에 관해 비대칭인 형태를 가지고, 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 66] 제62항 또는 제63항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 67] 제63항 내지 제66항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유효 시야 영역 또는 상기 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기한쪽의광학면의상기중심축선거의일치하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 68] 제62항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은, 상기 액침 대물 광학계의 광축에 관해 2 회 회전 대칭인형상갖는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 69] 제62항 또는 제68항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지고, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는원의중심축선과상기광축거의일치하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 70] 제69항에 있어서,상기 유효 시야 영역 또는 상기 유효 투영 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기한쪽의광학면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 71] 제62항 내지 제70항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자는, 상기 제1면측이 기체에 접하고 상기 제2면측이 액체에 접하는 경계 렌즈와 상기 액체 사이의 광로 중에 배치된 거의무굴절력의광학부재인것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 72] 제62항 내지 제71항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면은,평면포함하는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 73] 제62항 및 제65항 내지 제70항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자는, 상기 제1면측이 기체에 접하고 상기 제2면측이 상기 액체에 접하는경계렌즈인것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 74] 제62항 내지 제73항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1면의 축소상을 상기 액체를 통해제2면투영하는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 75] 제62항 내지 제74항 중 어느 한 항에 있어서,상기 유효 시야 영역 또는 상기 유효 투영 영역의 중심은,상기액침대물광학계의광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 76] 제62항 내지 제75항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 대물 광학계는, 적어도 하나의 오목면 반사경과 복수의 굴절 광학 소자를 구비하고, 상기 제1면 상의 유효 시야 영역 및 상기 제2면 상의 상기 유효 투영 영역은상기광축포함하지않는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 77] 제76항에 있어서,상기 액침 대물 광학계는, 상기 제1면으로부터의 광에 기초하여 제1 중간상을 형성하기 위한 굴절형의 제1 결상 광학계와, 상기 적어도 하나의 오목면 반사경을 포함하고, 상기 제1중간상으로부터의 광에 기초하여 제2 중간상을 형성하기 위한 제2 결상 광학계와, 상기 제2 중간상으로부터의 광에 기초하여 상기 상을 상기 제2면 상에 형성하기 위한굴절형의제3결상 광학계더구비하는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 78] 제77항에 있어서,상기 액침 대물 광학계는, 상기 제1 결상 광학계와 상기 제2 결상 광학계 사이의 광로 중에 배치된 제1 편향 거울과, 상기 제2 결상 광학계와 상기 제3 결상 광학계 사이의 광로 중에 배치된제2편향거울더포함하는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 79] 제62항 내지 제67항 또는 제71항 내지 제78항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 대물 광학계는, 상기 상과 상기 제2면 상에 배치되는 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서 패턴을 투영하는 노광 장치에 이용되고, 상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은, 상기 광축으로부터상기주사방향편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 82] 제80항 또는 제81항에 있어서,상기 액침 대물 광학계의 유효 시야 영역 또는 유효 투영 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기한쪽의광학면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로하는액침 대물 광학계. [청구항 87] 제83항 내지 86항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 대물 광학계의 유효 시야 영역 또는 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기한쪽의광학면의상기중심축선거의일치하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 89] 제88항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면은, 상기 2개의 축선 방향에 관해 서로 거의 동일한길이형성되어있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 90] 제88항 또는 제89항에 있어서,상기 액침 대물 광학계는, 상기 상과 상기 제2면 상에 배치되는 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서 패턴을 투영하는 노광 장치에 이용되고, 상기 한쪽의 축선 방향에 대한 상기 한쪽의 광학면의 길이는, 상기 다른쪽의 축선 방향에 대한 상기 한쪽의 광학면의 길이보다도 짧게 설정되며, 상기 한쪽의 축선 방향은상기주사방향일치하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 91] 제90항에 있어서,상기 액침 대물 광학계의 유효 투영 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기한쪽의광학면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 92] 제88항 내지 제91항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 93] 제88항 내지 제91항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선과 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는원의중심축선과상기광축거의일치하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 94] 제88항 내지 제90항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향에 관해 거의 대칭으로 또한 다른쪽의 축선 방향으로 관해 비대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 한쪽의 축선을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 95] 제88항 내지 제90항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면은 상기 제2면 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 96] 제89항, 제94항 또는 제95항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 대물 광학계의 유효 투영 영역의 중심 축선nan은상기한쪽의광학면의상기중심축선일치하고있는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 97] 제88항 내지 제96항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1면의 축소상을 상기 액체를 통해제2면투영하는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 98] 제88항 내지 제97항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2면 상에 있어서 직교하는 2개의 축선 방향을 설정할 때, 한쪽의 축선 방향에 대한 상기 축소상이 형성되는 영역의 길이와, 다른쪽의 축선 방향에 대한 상기 상이 형성되는 영역의 길이는 서로 상이한길이인것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 99] 제61항 내지 제98항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 상기 한쪽의 광학면nan은평면갖는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 100] 제61항 내지 제98항 중 어느 한 항에 있어서,상기 굴절 광학 소자의 다른쪽의광학면은평면갖는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 102] 제101항에 있어서,상기 반사면은 오목면반사면인것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 103] 제101항 또는 제102항에 있어서,상기 왕복 광학 소자는,비정질재료형성되는것을특징으로 하는액침 대물 광학계. [청구항 105] 제104항에 있어서,상기 패턴의 상과 상기 감광성 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서패턴투영하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 106] 제104항 또는 제105항에 있어서,상기 액체의 급배액을 행하는급배액기구더포함하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 112] 제111항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은, 상기 광학계의 광축에 관해 1 회 회전 대칭인형상갖는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 113] 제111항 또는 제112항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은 상기 기판 상에서 직교하는 2개의 광축 방향 중 한쪽의 축선 방향에 관해 거의 대칭으로 또한 다른쪽의 축선 방향에 관해 비대칭인 형상을 가지며, 상기 광학 부재의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 114] 제111항 또는 제112항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은 상기 기판 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지며, 상기 광학 부재의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는 원의 중심 축선과 상기 광축은 거의 일치하며, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선은 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기광축편심하고있는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 115] 제112항 내지 제114항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴 형성 영역의 중심 축선nan은상기한쪽의광학면의상기중심축선거의일치하고있는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 116] 제111항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은, 상기 광학계의 광축에 관해 2 회 회전 대칭인형상갖는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 117] 제111항 또는 제116항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은 상기 기판 상에서 직교하는 2개의 축선 방향에 관해 거의 대칭인 형상을 가지고, 상기 한쪽의 광학면의 중심 축선과 상기 광학 부재의 다른쪽의 광학면의 외주에 대응하는원의중심축선과상기광축거의일치하고있는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 118] 제117항에 있어서,상기 패턴 형성 영역의 중심 축선은, 상기 2개의 축선 방향 중 한쪽의 축선 방향을 따라상기한쪽의광학면의상기중심축선편심하고있는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 120] 제119항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은, 상기 2개의 축선 방향에 관해 서로 거의 동일한길이형성되어있는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 121] 제111항 내지 제120항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 부재는, 다른쪽의 광학면측이 기체에 접하고 상기 한쪽의 광학면측이 상기 액체에 접하는 경계 렌즈와 상기 기판 사이의 광로 중에 배치된 거의무굴절력의광학부재인것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 122] 제111항 내지 제121항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은,평면갖는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 123] 제111항 내지 제120항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 부재는, 다른쪽의 광학면측이 기체에 접하고 상기 한쪽의 광학면측이 상기 액체에 접하는경계렌즈인것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 124] 제123항에 있어서,상기 광학 부재의 한쪽의 광학면은,평면갖는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 125] 제111항 내지 제124항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 상에서 패턴이 형성되는 영역인 기판 상의 패턴 형성 영역은, 상기 기판 상에서 직교하는 2개의 축선 방향을 설정할 때, 한쪽의 축선 방향에 대한 상기 패턴 형성 영역의 길이와, 다른쪽의 축선 방향에 대한 상기 패턴 형성 영역의 길이는 서로 상이한길이인것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 126] 제111항 내지 제125항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패턴과 상기 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서상기기판노광하는것을특징으로 하는노광 광학계. [청구항 132] 제131항에 있어서,상기 노광광과 상기 기판의 주사 방향에서의 위치 관계를 변경하면서상기기판노광하는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 133] 제132항에 있어서,상기 수단은, 상기 주사 방향에 있어서의상기액침영역좁히는것을특징으로 하는노광 장치. [청구항 134] 제131항 내지 제133항 중 어느 한 항에 있어서,상기 수단은, 상기 광학 부재의 출사면에 설치되고, 상기 출사면은 상기 액체에접촉가능한것을특징으로 하는노광 장치.