문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 기판의 증착시 상기 기판을 상기 서셉터 상에 고정시키기 위한 클램프링과,냉각수가 공급되어 상기 클램프링을 냉각하기 위한 냉각기와,상기 기판과 타겟 사이의 방전영역에서 측벽을 이루는 쉴더와, 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능을 가지는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
제 1 항에 있어서,상기 기판의 증착시 상기 기판과 서셉터가 세워질 때의 경사각은 대략 75∼88°사이인 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 기판의 증착시 상기 기판과 서셉터가 세워질 때의 경사각은 대략 75∼88°사이인 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능을 가지는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
제 1 항에 있어서,상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 클램프링은 표면이 엠보싱된 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능을 가지는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
제 2 항에 있어서,상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능을 가지는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
[청구항5]
제 2 항에 있어서,상기 클램프링은 표면이 엠보싱된 것을 특징으로 하는 파티클 감소 기능을 가지는 파티클 감소 기능가지는대면적 마그네트론 스퍼터링장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
대면적 마그네트론 스퍼터링장치에서 쉴더를 가열하기 위해 사용되는 구성요소는 무엇이며, 해당 구성요소에 의해 제어되는 쉴더의 가열 온도 범위는 얼마인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation쉴더를 가열하는 구성요소와 그에 따른 쉴더의 온도 범위를 찾는 과업을 수행한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항에서 쉴더, 히터, 온도와 관련된 문구를 추출한다.
- 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터
- 상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것
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3근거 선택
evidence_selection가열 구성요소인 '히터'와 온도 범위인 '100∼300℃'를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터
- 상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것
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4논리 통합
logical_integration히터가 쉴더를 가열하는 역할을 하며, 그 결과로 쉴더의 온도가 100~300℃가 된다는 관계를 통합한다.
- 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터
- 상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것
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5결론 도출
conclusion_formulation구성요소는 히터이며, 온도 범위는 100~300℃임을 결론짓는다.
- 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터
- 상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터
- 상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것
근거 (evidence)
- 상기 쉴더를 가열하기 위한 히터
- 상기 히터는 상기 쉴더의 온도를 대략 100∼300℃로 가열하는 것
최종 답변 (final_answer)
쉴더를 가열하기 위해 사용되는 구성요소는 히터이며, 히터에 의해 가열되는 쉴더의 온도는 대략 100∼300℃이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
장치 내 쉴더의 온도를 제어하는 구성요소는 히터이며, 설정된 가열 온도 범위는 100~300℃이다.