박막증착장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 이동경로는 한 쌍의 직선경로와 상기 한 쌍의 직선경로를 연결하는 한쌍의곡선경로포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제1항에 있어서,상기 이동경로는 한 쌍의 직선경로와 상기 한 쌍의 직선경로를 연결하는 한쌍의곡선경로포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 가열부는 상기 이동경로를 따라 상기 기판의 아래쪽에 구비되는복수개의가열플레이트포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제1항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판을 지지하는 서셉터, 상기 기판이동부를 따라 이동하는 하부지지부 및 상기 서셉터와 하부지지부를 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 가열부는 상기 서셉터와하부지지부사이의공간구비되는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항4] 제3항상기 가열플레이트는 개별적으로 온도 조절이 가능한둘이상의가열구역구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제2항에 있어서,상기 가열부는 상기 이동경로를 따라 상기 기판의 아래쪽에 구비되는 복수개의 가열플레이트를 포함하고, 상기 가열플레이트는 개별적으로 온도 조절이 가능한둘이상의가열구역구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 가열플레이트는 상기 기판의 이동방향과 평행하게 배치되는제1가열구역및제2가열구역포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제4항에 있어서,상기 가열플레이트는 상기 기판의 이동방향과 평행하게 배치되는제1가열구역및제2가열구역포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 가열플레이트는 중앙부에제3가열구역더포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제5항에 있어서,상기 가열플레이트는 중앙부에제3가열구역더포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항7] 제4항에 있어서,상기 가열플레이트는 상기 기판의 이동방향과 수직하게 배치되는제4가열구역및제5가열구역포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제4항에 있어서,상기 가열플레이트는 상기 기판의 이동방향과 수직하게 배치되는제4가열구역및제5가열구역포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항8] 제7항에 있어서,상기 가열플레이트는 중앙부에제6가열구역더포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제7항에 있어서,상기 가열플레이트는 중앙부에제6가열구역더포함하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항9] 제4항에 있어서,상기 이동경로에 따라상기가열구역의온도달리하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제4항에 있어서,상기 이동경로에 따라상기가열구역의온도달리하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항10] 제9항에 있어서,상기 곡선경로를 따라 상기 기판이 이동하는 중에 상기 곡선경로의 안쪽에 비하여 외곽의 온도가 더 높도록상기가열구역제어하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제9항에 있어서,상기 곡선경로를 따라 상기 기판이 이동하는 중에 상기 곡선경로의 안쪽에 비하여 외곽의 온도가 더 높도록상기가열구역제어하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항11] 제1항에 있어서,상기 기판이동부는상기 기판을 지지하는 기판지지부가 연결되어 연동하는 동력전달부재;상기 동력전달부재를 상기 직선경로 및 곡선경로를 따라 이동시키는 구동부; 및상기 기판지지부가 이동 가능하게 지지하는가이드부구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제1항에 있어서,상기 기판이동부는상기 기판을 지지하는 기판지지부가 연결되어 연동하는 동력전달부재;상기 벨트를 상기 직선경로 및 곡선경로를 따라 이동시키는 구동부; 및상기 기판지지부가 이동 가능하게 지지하는가이드부구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항12] 제11항에 있어서,상기 이동경로를 따라 이동하는 상기 기판지지부에 상기 기판을 가열하는가열부구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제11항에 있어서,상기 이동경로를 따라 이동하는 상기 기판지지부에 상기 기판을 가열하는가열부구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판을 지지하는 서셉터, 상기 가이드부를 따라 이동하는 하부지지부 및 상기 서셉터와 하부지지부를 연결하며 상기 동력전달부재에 착탈 가능하게 연결되는 연결부를 구비하고, 상기 서셉터에 상기 기판을 가열하는가열부구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. 제12항에 있어서,상기 기판지지부는 상기 기판을 지지하는 서셉터, 상기 가이드부를 따라 이동하는 하부지지부 및 상기 서셉터와 하부지지부를 연결하며 상기 동력전달부재에 착탈 가능하게 연결되는 연결부를 구비하고, 상기 서셉터에 상기 기판을 가열하는가열부구비하는것을특징으로 하는박막증착장치. [청구항14] 제13항에 있어서,상기 가열부는 무선으로전력공급받는것을특징으로 하는박막증착장치. 제13항에 있어서,상기 가열부는 무선으로전력공급받는것을특징으로 하는박막증착장치.