산-식각 저항성, 보호 코팅

[청구항 13] 제12항에 있어서,상기 기판은 열 산화물 기판, si 기판, sio2 기판, si3n4 기판, 실리콘 기판 상의 sio2, 실리콘 기판 상의 si3n4, 유리 기판, 석영 기판, 세라믹 기판, 반도체 기판, 및 금속 기판으로 이루어진군선택됨을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 사이클로올레핀 공중합체는 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 환형 올레핀의 중합으로부터 형성되고,여기서:각각의 r1 및 r2는 -h, 및 알킬기로 이루어진 군에서 개별적으로 선택되고; r3은 -h, 치환 및 비치환 아릴기, 알킬기, 사이클로알킬기, 아랄킬기, 에스테르기, 에테르기, 아세틸기, 알코올, 알데하이드기, 케톤, 니트릴, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서개별적선택됨을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 15] 제12항에 있어서,상기 반복 사이클로올레핀 단량체는 다음으로 이루어지는 군에서 선택되고:및 이들의 조합,여기서:각각의 r1 및 r2는 -h, 및 알킬기로 이루어진 군에서 개별적으로 선택되고,각각의 r3는 -h, 치환 및 비치환 아릴기, 알킬기, 사이클로알킬기, 아랄킬기, 에스테르기, 에테르기, 아세틸기, 알코올, 알데하이드기, 케톤, 니트릴, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서개별적선택됨을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 16] 제12항에 있어서,상기 보호 레이어는 광민감성특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 17] 제12항에 있어서,상기 제2면에산성식각제를추가포함함을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 산성 식각제는 hf, hf 증기, hf/h2o 증기, hf/알코올 증기, hcl, 인산, hcl/hno3, 완충된 산화물 식각제("boe"), hf/hno3/아세트산, 진한 h2so4, 진한 hno3, 및 이들의 혼합으로 이루어진군선택됨을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 19] 제12항에 있어서,상기 마이크로전자 구조물은 상기 기판 표면 상에프라이머레이어포함함을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 프라이머 레이어는 용매 시스템 중의 염기성 고분자를 포함하는조성물형성됨을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 염기성 고분자는 폴리비닐 피리딘, 폴리멜라민, 폴리에틸렌이민, 트리아진-함유 공중합체, 스타이렌 말레이미드 수지, 폴리(4-비닐 피리딘-코-스타이렌), 및 폴리(2-비닐 피리딘-코-스타이렌)으로 이루어진군선택됨을특징으로 하는마이크로전자 구조물. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 광민감성 가교제는 2,6-비스-(4-아지도벤질리덴)-4-메틸사이클로헥산온, 2,6-비스-(4'-아지도벤잘)사이클로헥산온, 2,6-비스-(4'-디아지도벤잘)-4-메틸사이클로헥산온, 4,4'-디아지도스틸베베, p-페닐렌비스아지드, 4,4'-디아지도벤조페논, 4,4'-디아지도디페닐메탄, 4,4'-디아지도칼콘, 4,4'-디아지도디페닐, 4,4'-디아지도-3,3'-디메틸디페닐, 및 2,7-디아지도플루오렌으로 이루어진군선택됨을특징으로 하는조성물. [청구항 24] 제22항에 있어서,상기 사이클로올레핀 공중합체는 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 환형 올레핀의 중합으로부터 형성되고,여기서:각각의 r1 및 r2는 -h, 및 알킬기로 이루어진 군에서 개별적으로 선택되고; 각각의 r3는 -h, 치환 및 비치환 아릴기, 알킬기, 사이클로알킬기, 아랄킬기, 에스테르기, 에테르기, 아세틸기, 알코올, 알데하이드기, 케톤, 니트릴, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서개별적선택됨을특징으로 하는조성물. [청구항 25] 제22항에 있어서,상기 반복 사이클로올레핀 단량체는 다음으로 이루어지는 군에서 선택되고:및 이들의 조합,여기서:각각의 r1 및 r2는 -h, 및 알킬기로 이루어진 군에서 개별적으로 선택되고,각각의 r3는 -h, 치환 및 비치환 아릴기, 알킬기, 사이클로알킬기, 아랄킬기, 에스테르기, 에테르기, 아세틸기, 알코올, 알데하이드기, 케톤, 니트릴, 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 개별적으로 선택특징으로 하는조성물. [청구항 30] 제27항에 있어서,상기 사이클로 올레핀 공중합체는 60℃ 내지 200℃의 유리 전이 온도(tg)를 가짐을 특징으로 하는 마이크로전자 구조물형성하는방법