처리장치

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 복수의 열적처리유니트는, 상기 각 열적처리에 대응하는 것 별로 집약된 복수의 열적처리유니트 섹션을 구성하고,각 열적처리유니트 섹션에 대응하여, 그 중의 복수의 열적처리유니트와의 사이에서 피처리기판의 반송을 행하는복수의반송장치구비하는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 3] 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 기판보지·이동부재는, 그 상면에 피처리기판을 지지하는 베이스부재와,상기 베이스부재에 대해서 탈착이 자유롭게 설치되고, 그 상측의 공간을 덮는커버부재가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 커버부재의 개폐는,상기 기판보지·이동부재에 대한 피처리기판의 수취/반출위치에 설치된 개폐기구에 의해실행되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 복수의 열적처리유니트는,상기 각 열적처리에 대응하는 것 별로 집약된 복수의 열적 처리유니트 섹션을 구성하고, 각 열적처리 유니트섹션에 대응하여, 상기 중의 복수의 열적처리유니트와의 사이에서 피처리기판의 반송을 행하는복수의반송장치구비하는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 복수의 열적처리유니트 섹션은 각각의 반송장치에 인접하게 설치된, 복수의 열적처리유니트가 수직방향으로 적층하여 구성된열적처리유니트블록가지는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 8] 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입출부는, 상기 처리유니트와의 사이에서 피처리기판의 인수·인도를 실행하는 기판반송기구를 갖추고,상기 처리부는, 상기 공간부의 상기 기판반송기구에 인접한 부분에, 상기 기판반송기구와 상기 기판보지·이동부재와의 사이의 피처리기판의 인수·인도를 실행하는 기판 인수·인도기구를 갖추고,상기 기판 인수·인도기구는, 피처리기판의 방향을 변경하는기판회전기구갖추는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 기판 인수·인도기구는, 승강가능한 기판지지부를 갖추고,상기 기판보지·이동부재는, 상기 기판지지부가 관통하는 구멍이 형성된 피처리기판을 지지하는 베이스부재를 갖추고,상기 기판 인수·인도기구의 기판지지부는, 상기 베이스부재의 하측에서 상기 구멍을 관통하여 그 상측으로 돌출한 상태로 피처리기판을 수취하고, 상기 기판회전기구에 의해 피처리기판을 회전시켜, 상기 지지부를 하강시키는 것에 의해, 상기 지지부에 지지되어 있던피처리기판을상기베이스부재상재치시키는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 10] 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판보지·이동부재는, 그 상면에 피처리기판을 지지하는 베이스부재와, 상기 베이스부재에 대해서 탈착이 자유롭게 설치되고, 그 상측의 공간을 덮는커버부재갖추는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 커버부재의 개폐는, 상기 기판보지·이동부재에 대한 피처리기판의 수취/인도위치에 설치된 개폐기구에 의해실행되는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 복수의 열적처리유니트는, 상기 세정처리유니트로부터 반출된 피처리기판에 대해서, 소정의 열적처리를 실행하는 복수의 열적처리유니트가 집약된 제 1 열적처리유니트 섹션과, 상기 레지스트처리유니트로부터 반출된 피처리기판에 대해서, 소정의 열적처리를 실행하는 복수의 열적처리유니트가 집약된 제 2 열적처리유니트 섹션과, 상기 현상처리유니트로부터 반출된 피처리기판에 대해서, 소정의 열적처리를 실행하는 복수의 열적처리유니트가 집약된 제 3 열적처리유니트 섹션을 구성하고, 또한, 상기 세정처리유니트로부터 반출된 피처리기판을 상기 제 1 열적처리유니트 섹션으로 반송하며, 상기 제 1 열적처리유니트 섹션으로부터 피처리기판을 상기 레지스트처리 유니트로 반송하는 제 1 반송장치와, 상기 레지스트처리유니트로부터 반출된 피처리기판을 상기 제 2 열적처리유니트 섹션으로 반송하며, 상기 제 2 열적처리유니트 섹션으로부터 피처리기판을 상기 인터페이스부로 반송하는 제 2 반송장치와, 상기 현상처리유니트로부터 반출된 피처리기판을 상기 제 3 열적처리유니트 섹션으로 반송하며, 상기 제 3 열적처리유니트 섹션으로부터 피처리기판을 상기 반입출부로 반송하는제3반송장치구비하는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 14] 청구항 13에 있어서,상기제 1, 제 2 및 제 3 의 열적처리 유니트섹션은, 각각 제 1, 제 2 및 제 3 반송장치에 인접하게 설치된 복수의 열적처리유니트가 수직방향으로 적층하여 구성된열적처리유니트블록갖추는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 15] 청구항 12 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,상기 반입출부는,상기 처리유니트와의 사이에서 피처리기판의 인수·인도를 실행하는 기판반송기구를 갖추고, 상기 처리부는, 상기 공간부의 상기 기판반송기구에 인접한 부분에, 상기 기판반송기구와 상기 기판보지·이동부재와의 사이의 피처리기판의 인수·인도를 실행하는 기판 인수·인도기구를 갖추고,상기 기판 인수·인도기구는, 피처리기판의 방향을 변경하는기판회전기구갖추는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 기판 인수·인도기구는, 승강가능한 기판지지부를 갖추고,상기 기판보지·이동부재는, 상기 기판지지부가 관통하는 구멍이 형성된 피처리기판을 지지하는 베이스부재를 갖추고,상기 기판 인수·인도기구의 기판지지부는, 상기 베이스부재의 하측에서 상기 구멍을 관통하여 그 상측으로 돌출한 상태에서 피처리기판을 수취하고,상기 기판회전기구에 의해 피처리기판을 회전시키고,상기 지지부를 하강시키는 것에 의해, 상기 지지부에 의해 지지되고 있던피처리기판을상기베이스부재상재치시키는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 17] 청구항 12 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판보지·이동부재는 그 상면에 피처리기판을 지지하는 베이스부재와,상기 베이스부재에 대해서 탈착이 자유롭게 설치되고, 그 상측의 공간을 덮는커버부재갖추는것을특징으로 하는처리장치. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 커버부재의 개폐는, 상기 기판보지·이동부재에 대한 피처리기판의 수취/반출위치에 설치된 개폐기구에 의해실행되는것을특징으로 하는처리장치.