문맥 (context)
[청구항23]
스퍼터 소스 재료 지지면을 갖는 타깃 기부 셸과,
열분사 기술에 의해 상기 지지면에 적용되는 스퍼터 소스 재료를 포함하는 스퍼터 증착 타깃
[청구항24]
제 23 항에 있어서,상기 셸은 컵형상인스퍼터 증착 타깃.
[청구항25]
제 23 항에 있어서,상기 셸은 적어도 약 0.3175cm(0.125in)의 두께갖는스퍼터 증착 타깃.
[청구항26]
제 23 항에 있어서,상기 스퍼터 소스 재료는 약 0.635cm(0.25in)의 두께갖는스퍼터 증착 타깃.
[청구항27]
제 23 항에 있어서,상기 스퍼터 소스 재료는 탄탈륨, 텅스텐, 구리, 니켈, 크롬, 알루미늄, 코발트, 몰리브덴, 은, 금, 백금, 루테늄, 로듐, 팔라듐, 바나듐, 그 산화물, 그 합금 및 그 규화물로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 재료포함하는스퍼터 증착 타깃.
[청구항28]
제 27 항에 있어서,상기 스퍼터 소스 재료는 약 99.99999%의 순도갖는스퍼터 증착 타깃.
[청구항29]
제 21 항에 있어서,상기 스퍼터 소스 재료는,지지면상으로 열분사되며 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층과, 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층포함하는스퍼터 증착 타깃.
[청구항30]
제 29 항에 있어서,상기 내부 부식층은 적어도 약 0.3175cm(0.125in)의 두께갖는스퍼터 증착 타깃.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스퍼터 증착 타깃의 내부층과 외부층은 각각 어떠한 특징을 가지며, 내부층의 구성은 어떻게 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스퍼터 증착 타깃의 내부층과 외부층의 특징 및 내부층의 세부 구조를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 29항에서 내부층과 외부층의 정의 및 구조적 관계를 추출한다.
- 상기 스퍼터 소스 재료는,지지면상으로 열분사되며 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층과, 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층포함하는스퍼터 증착 타깃
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3근거 선택
evidence_selection내부층의 면(내부면, 외부면)과 외부층의 위치 관계를 설명하는 문구를 선택한다.
- 지지면과 접촉하는 내부면
- 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층
- 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층
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4논리 통합
logical_integration내부층은 지지면과 접촉하는 면과 부식되는 면을 모두 포함하며, 외부층은 이 부식되는 면 위에 위치함을 통합한다.
- 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층
- 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층
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5결론 도출
conclusion_formulation내부층은 지지면과 접촉하는 내부면과 부식되는 외부면으로 구성되며, 외부층은 내부층의 외부면 위에 열분사되어 형성된다.
- 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층
- 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합하도록 내부층과 외부층의 특징을 정리하여 답변을 작성한다.
- 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층
- 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층
근거 (evidence)
- 상기 스퍼터 소스 재료는,지지면상으로 열분사되며 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층과, 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층포함하는스퍼터 증착 타깃
- 지지면과 접촉하는 내부면
- 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층
- 상기 내부층의 상기 부식되는 외부면상으로 열분사되는 외부층
- 지지면과 접촉하는 내부면 및 스퍼터링의 결과로서 부식되는 외부면을 갖는 내부층
최종 답변 (final_answer)
스퍼터 증착 타깃의 스퍼터 소스 재료는 내부층과 외부층으로 구성된다. 내부층은 지지면과 접촉하는 내부면과 스퍼터링의 결과로 부식되는 외부면을 모두 갖는 구조이다. 외부층은 내부층의 부식되는 외부면상으로 열분사되어 형성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스퍼터 증착 타깃의 소스 재료는 지지면 접촉면과 부식면을 가진 내부층, 그리고 그 부식면 위에 형성되는 외부층의 층상 구조를 가진다.