문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 비접촉 열전달 수단은, 상기 서셉터와 상기 히터의 대향면 사이에 형성된 유동홈과, 상기 유동홈 내를 유동하는 연전달 매질과, 상기 유동홈에 연전달 매질을 공급하는매질공급수단포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 연전달 매질nan은헬륨인것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 열전달 매질nan은헬륨인것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항4]
제2항에 있어서,상기 매질공급수단은 매질 저장탱크와, 일단이 상기 매질 저장탱크와 연결되고 타단이 상기 히터를 관통하여 상기 유동홈과 연결된매질공급관포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,상기 매질공급수단은 매질 저장탱크와, 일단이 상기 매질 저장탱크와 연결되고 타단이 상기 히터를 관통하여 상기 유동홈과 연결된매질공급관포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항5]
제4항에 있어서,상기 매질공급수단은 상기 연전달 매질을 상기 유동홈에 공급하기 전에 가열하는가열수단더구비하는것을특징으로 하는박막 증착장치.
[청구항6]
제1항에 있어서,셉터에는 상기 유동홈과 연통하고 외부로 관통된배출통로형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
제1항에 있어서,셉터에는 상기 유동홈과 연통하고 외부로 관통된배출통로형성된것을특징으로 하는박막 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박막 증착장치에서 비접촉 열전달 수단을 구성하는 요소들은 무엇이며, 매질공급수단은 어떠한 구조로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation비접촉 열전달 수단과 매질공급수단의 구성 요소를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 비접촉 열전달 수단의 구성 요소를 추출하고, 청구항 4에서 매질공급수단의 구성을 추출한다.
- 상기 비접촉 열전달 수단은, 상기 서셉터와 상기 히터의 대향면 사이에 형성된 유동홈과, 상기 유동홈 내를 유동하는 연전달 매질과, 상기 유동홈에 연전달 매질을 공급하는매질공급수단포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치
- 상기 매질공급수단은 매질 저장탱크와, 일단이 상기 매질 저장탱크와 연결되고 타단이 상기 히터를 관통하여 상기 유동홈과 연결된매질공급관포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치
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3근거 선택
evidence_selection비접촉 열전달 수단은 유동홈, 연전달 매질, 매질공급수단으로 구성되며, 매질공급수단은 매질 저장탱크와 매질공급관으로 구성됨을 확인한다.
- 유동홈과, 상기 유동홈 내를 유동하는 연전달 매질과, 상기 유동홈에 연전달 매질을 공급하는매질공급수단
- 매질 저장탱크와, 일단이 상기 매질 저장탱크와 연결되고 타단이 상기 히터를 관통하여 상기 유동홈과 연결된매질공급관
-
4논리 통합
logical_integration두 구성 요소 간의 포함 관계를 정리하여 답변 구조를 설계한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation비접촉 열전달 수단의 3가지 요소와 매질공급수단의 2가지 요소를 결합하여 결론을 도출한다.
- 유동홈
- 연전달 매질
- 매질공급수단
- 매질 저장탱크
- 매질공급관
-
6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 구조화된 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 비접촉 열전달 수단은, 상기 서셉터와 상기 히터의 대향면 사이에 형성된 유동홈과, 상기 유동홈 내를 유동하는 연전달 매질과, 상기 유동홈에 연전달 매질을 공급하는매질공급수단포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치
- 상기 매질공급수단은 매질 저장탱크와, 일단이 상기 매질 저장탱크와 연결되고 타단이 상기 히터를 관통하여 상기 유동홈과 연결된매질공급관포함하는것을특징으로 하는박막 증착장치
- 유동홈과, 상기 유동홈 내를 유동하는 연전달 매질과, 상기 유동홈에 연전달 매질을 공급하는매질공급수단
- 매질 저장탱크와, 일단이 상기 매질 저장탱크와 연결되고 타단이 상기 히터를 관통하여 상기 유동홈과 연결된매질공급관
- 유동홈
- 연전달 매질
- 매질공급수단
- 매질 저장탱크
- 매질공급관
최종 답변 (final_answer)
비접촉 열전달 수단은 유동홈, 연전달 매질, 그리고 매질공급수단으로 구성된다. 이 중 매질공급수단은 매질 저장탱크와 매질공급관을 포함하며, 매질공급관의 일단은 매질 저장탱크와 연결되고 타단은 히터를 관통하여 유동홈과 연결되는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
비접촉 열전달 수단은 유동홈, 연전달 매질, 매질공급수단으로 이루어지며, 매질공급수단은 매질 저장탱크와 히터를 관통하여 유동홈에 연결되는 매질공급관으로 구성된다.