문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 분사부재는,상기 서셉터의 상면 중앙부에 위치되며 상기 노즐이 설치되는 몸체를 더 포함하고,상기 안착홈은 상기 몸체를 감싸도록복수개배치된것을특징으로 하는기판처리장치.
제1항에 있어서,상기 노즐의 분사구는상기안착홈제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항3]
제1항에 있어서,상기 안착홈 및 상기 노즐은 n개(n은 3 이상의 자연수)로 제공되고,상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여 상기 측벽들 각각에상기노즐제공되는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 배기부재는 상기 서셉터를 둘러싸도록 배치되어 복수 개의 홀을 구비한링형상의배기링더포함하는것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항6]
제1항 내지 4항 중 어느 한항에 있어서,상기 몸체는회전가능한것을특징으로 하는기판처리장치.
[청구항8]
제7항에 있어서,상기 안착홈은 상기 몸체를 둘러싸도록 n개(n은 3 이상의 자연수)로 제공되고,상기 노즐은 n개제공되는것을특징으로 하는기판지지부재.
[청구항9]
제8항에 있어서,상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어상기몸체하향경사지는것을특징으로 하는기판지지부재.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판지지부재에서 몸체의 측벽과 노즐은 어떠한 구조적 관계를 가지며, 노즐은 어떤 형태로 설치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판지지부재의 몸체, 측벽, 노즐 간의 구조적 관계와 노즐의 설치 형태를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3과 9에서 몸체의 측벽 개수, 노즐의 설치 위치 및 경사 형태에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여
- 상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어
- 상기몸체하향경사지는것을
-
3근거 선택
evidence_selection몸체의 측벽 구성과 노즐이 설치되는 구체적인 위치 및 경사 특징을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여 상기 측벽들 각각에상기노즐제공되는것을
- 상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어상기몸체하향경사지는것을
-
4논리 통합
logical_integration몸체는 n개의 측벽을 가지고 있으며, 각 측벽에는 n개의 노즐이 설치되고, 이 노즐은 몸체가 하향 경사지는 방향으로 설치된다는 점을 연결한다.
- 상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여
- 상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어
-
5결론 도출
conclusion_formulation몸체는 n개의 측벽을 구비하며, 노즐은 각 측벽에 설치되어 몸체의 하향 경사 방향을 따른다는 결론을 도출한다.
- 상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여
- 상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어상기몸체하향경사지는것을
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 완성한다.
근거 (evidence)
- 상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여
- 상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어
- 상기몸체하향경사지는것을
- 상기 몸체는 n개의 측벽들을 구비하여 상기 측벽들 각각에상기노즐제공되는것을
- 상기 노즐은 n개로 제공된 상기 몸체의 측벽 각각에 설치되어상기몸체하향경사지는것을
최종 답변 (final_answer)
기판지지부재의 몸체는 n개의 측벽을 구비하고 있으며, 노즐은 n개로 제공된 각 측벽에 설치된다. 이때 노즐은 몸체가 하향 경사지는 방향으로 설치되는 구조를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
몸체의 측벽 수와 노즐의 설치 위치(각 측벽) 및 설치 방향(몸체 하향 경사) 사이의 상관관계를 설명함.