압력 평형 기판 컨테이너

[청구항 1] 입자에 민감한 기판을 수납하기 위한, 포드의 외부와 내부 환경 사이의 압력 평형화를 제공하기 위한, 그리고 입자에 민감한 기판 주위의 내부의 가스상 유체 유동을 최소화시키기 위한 포드이며, 베이스와 커버를 포함하는 주 포드와, 커버 내에 위치된 다이어프램과, 주 포드 내에 배치된 제2 포드를 포함하며, 커버는 외측면에 대향하는 오목한 내측면을 갖도록 구성되며, 오목한 내측면과 베이스 사이에 제1 체적을 갖는 제1 수납부를 형성하도록 베이스에 제거가능하게 결합되도록 구성되며, 개구를 갖고, 다이어프램은 정상 비편의 위치를 가지며, 포드의 외부와 연통하는 제2 체적과 포드의 외부와 유체 연통되지 않는 제3 체적 사이에서 제1 체적을 나누며, 정상 비편의 위치로부터 편의가능하고, 제2 포드는 하부와 상부를 포함하며, 상부는 입자에 민감한 기판을 수납하기 위한 제2 수납부 체적을 특징으로 하는 제2 수납부를 형성하도록 하부와 결부되도록 구성되며, 하부는 입자에 민감한 기판을 제거가능하게 그 위에 보유하기 위한 지지 구조를 포함하고, 상부는 상부가 하부와 결합될 때 입자에 민감한 기판을 보유하기 위한 보유 구조물을 포함하는 포드 [청구항 2] 제1항에 있어서,다이어프램은 내부의 입자에 민감한 기판에 대해 대체로 동심으로 위치설정되는포드. [청구항 3] 제2항에 있어서,다이어프램은 정상 비편의 위치로부터 편의 위치로 이동가능한작동부를포함하는포드. [청구항 4] 제3항에 있어서,작동부는 제1 부분과 제2 부분을 포함하며, 상기 제1 부분은 가스상 유체 불투과성이며 상기 제2 부분은 가스상 유체투과성인포드. [청구항 5] 제1항에 있어서,포드에 부착되어 포드의 외부와 포드의 내부 사이의 가스상 유체 연통을 제공하는 필터더 포함하는포드. [청구항 6] 제1항에 있어서,다이어프램은 작동부를 가지며, 작동부의 적어도 일부는 동심인 리지들의 구조물구비하는포드. [청구항 7] 제6항에 있어서,다이어프램은 탄성 중합체 재료형성되는포드. [청구항 8] 제7항에 있어서,커버는 다이어프램의 크기에 근접하도록 크기가 정해진 개구를 구비하는 제1 쉘부와, 제1 쉘부의 상기 개구를 덮는 제2 쉘부로 이루어지며, 상기 제2 쉘부와 다이어프램은 제2 체적형성하는포드. [청구항 9] 제8항에 있어서,제2 쉘부는 돔식 벽을 포함하며, 상기 제2 쉘부는 돔식 벽으로부터 수평방향에서 측방향 외측으로 연장되는 한 쌍의 돌출부포함하는포드. [청구항 10] 제1항에 있어서,주 포드, 제2 포드, 다이어프램은 모두 동심으로 위치설정되는포드. [청구항 11] 제1항에 있어서,제2 포드는 공기 갭을 갖는 제한부에 의해 입자 유입에 대한 장벽제공하는포드. [청구항 12] 제1항에 있어서,베이스는 상향 지향 표면을 가지며, 제2 포드의 상부는 하향 지향 주연방향 립을 갖고, 상기 주연방향 립은 기저부와 접촉하지 않는 상태로 기저부와 대면하여 상기 립과 베이스의 상향 지향 표면과의 사이에서 연장되는 갭형성하는포드. [청구항 13] 적어도 하나의 입자에 민감한 기판을 포함하기 위한 그리고 포드의 외부와 내부 환경 사이의 압력 평형화를 제공하기 위한 그리고 입자에 민감한 기판 주위의 내부의 가스상 유체 유동을 최소화시키기 위한 포드이며, 도어 프레임을 형성하는 개구를 구비하는 쉘부와, 상기 도어 프레임 내에 수용되도록 크기설정된 도어로서, 도어를 상기 도어 프레임 내에 고정하기 위해 도어 프레임과 결합하는 인입식 래칭부를 구비하는 래칭 기구를 포함하며, 도어가 내부에 고정된 쉘은 제1 체적을 형성하게 되는 도어와, 적어도 하나의 입자에 민감한 기판을 통제된 밀봉된 내부 공간에 제거가능하게 보유하기 위해 포드 내에 배치된 기판 지지부와, 포드에 부착되며 통제된 밀봉된 내부 공간을 외부 환경으로부터 분리하도록 위치설정되고, 포드의 내부와 포드의 외부와의 사이의 압력 차를 보상하도록 편의가능한 다이어프램을 포함하는 포드 [청구항 14] 제13항에 있어서,기판은 직경이 적어도 300mm인 반도체 웨이퍼이며, 쉘부는 바닥측과, 좌측과, 우측과, 전방측을 가지며, 상기 도어 프레임은 상기 전방측 상에 위치설정되고, 기판 지지부는 포드의 내부의 좌측과 우측에 종렬로 배열된 복수의 웨이퍼 선반을 포함하며, 바닥측은 상부에 운동학적 커플링갖는포드. [청구항 15] 제14항에 있어서,다이어프램은 쉘에 부착된 탄성 중합체다이어프램인포드. [청구항 16] 제14항에 있어서,다이어프램은 도어 내에 위치설정되는포드. [청구항 17] 제13항에 있어서,포드는 추가적인 압력 평형화를 제공하는 가스상 유체 투과성 필터더 포함하는포드. [청구항 18] 제13항에 있어서,도어 및 쉘 내에 위치설정된 제2 포드를 더 포함하며, 제2 포드는 상부와 하부를 가지며, 하부는 도어에 부착되고, 상부는 하부에 제거가능하게 위치될 수 있으며, 상부는 쉘이 도어와 결합될 때 쉘결합되는포드. [청구항 19] 복수의 웨이퍼를 보유하기 위한 웨이퍼 포드이며, 도어와, 도어를 수용하기 위한 쉘부를 포함하고, 포드의 외부와 유체 연통하는 일측과 포드의 내부와 유체 연통하는 대향측을 구비하는 가요성의 이동가능한 다이어프램과, 포드의 외부와 유체 연통하는 일측과 포드의 내부와 유체 연통하는 대향측을 구비하는 필터를 더 포함하며, 다이어프램과 필터는 외부에 대한 포드의 내부의 압력 평형화를 제공하는 웨이퍼 포드