플라즈마 화학 기상 증착 장치

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 쉐도우 링의 변부들은,제1 길이를 가지며 서로 마주하는 제1 변부들; 및제2 길이를 가지며 서로 마주하는 제2 변부들을 포함하며,각각의 모서리부는 각각의 제1 및 제2 변부들이 교차하는 부위이며,상기 모서리부에서, 상기 제1 변부와 접하는 부위는 제1 폭을 가지며, 상기 제2 변부와 접하는 부위는 제2 폭을 가지며,상기 제1 변부는 상기 제1 폭보다 작은 제3 폭을 가지며, 상기 제2 변부는 상기 제2 폭보다 작은 제4 폭갖는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 제3 폭은 상기 제1 변부의 중앙 부위로 갈수록 작아지는 폭을 가지며,상기 제4 폭은 상기 제2 변부의 중앙 부위로 갈수록 작아지는 폭갖는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항4] 제2항에 있어서,상기 제1 변부는,상기 기판의 중심을 바라보는 제1 면; 및상기 제1 면과 대응되는 제2 면을 포함하되,상기 제2 면은 요면(凹面갖는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 제2 면은곡면인플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항6] 제4항에 있어서,상기 인접한 모서리부들을 연결하는 가상의 면과, 상기 제1 변부의 제2 면 사이에 배치되는 제3 변부를 더 포함하되,상기 제3 변부는 상기 제1 변부에 포함된 물질보다 전기 전도도가 낮은 물질포함하는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항7] 제6항에 있어서,상기 제1 변부는 금속을 포함하며, 상기 제3 변부는 상기 금속의 산화물(metal oxide) 또는 상기 금속을 양극 산화한 물질포함하는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항8] 제2항에 있어서,상기 제2 변부는,상기 기판의 중심을 바라보는 제3 면; 및상기 제3 면과 대응되는 제4 면을 포함하되,상기 제4 면은 요면갖는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항9] 제8항에 있어서,상기 제4 면은곡면인플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항10] 제8항에 있어서,상기 인접한 모서리부들을 연결하는 가상의 면과, 상기 제2 변부의 제4 면 사이에 배치되는 제4 변부를 더 포함하되,상기 제4 변부는 상기 제2 변부에 포함된 물질보다 전기 전도도가 낮은 물질포함하는플라즈마 화학 기상 증착 장치. [청구항11] 제10항에 있어서,상기 제2 변부는 금속을 포함하며, 상기 제4 변부는 상기 금속의 산화물 또는 상기 금속을 양극 산화한 물질포함하는플라즈마 화학 기상 증착 장치.