배치식 기판 지지 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 기판척의 가장자리에는 적어도 하나 이상의 척 연장부가 형성되고,상기 패킹부재는 상기 척 연장부와 척 지지부재가 대면되는 부위에 구비되어조립부위실링하는것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 3] 제 2항에 있어서,상기 척 지지부재와 척 승강봉이 대면되는 부위에는 금속재질의 패킹부재가 더 구비되어조립부위실링하는것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 4] 제 1항에 있어서,상기 각각의 기판척과 이격되어 대향 배치되는 다수의 공간분할 플레이트와;상기 다수의 공간분할 플레이트 가장자리를 일체로 지지하도록 조립되는 다수의 플레이트 지지부재를 더 포함하고,상기 공간분할 플레이트와 플레이트 지지부재의 조립부위에는금속재질의패킹부재구비되는것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 5] 제 4항에 있어서,상기 공간분할 플레이트의 가장자리에는 적어도 하나 이상의 플레이트 연장부가 형성되고,상기 패킹부재는 상기 플레이트 연장부와 플레이트 지지부재가 대면되는 부위에 구비되어조립부위실링하는것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 6] 제 5항에 있어서,상기 플레이트 지지부재에 조립되어 상기 공간분할 플레이트와 플레이트 지지부재를 일체로 지지하면서 승하강시키는 플레이트 승강봉을 더 포함하고,상기 플레이트 지지부재와 플레이트 승강봉이 대면되는 부위에는 금속재질의 패킹부재가 더 구비되어조립부위실링하는것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 7] 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패킹부재는 오링(o-ring)타입, 씨링(c-ring)타입또는오링과씨링의혼합타입중하나인것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 오링과 씰링의 혼합타입 패킹부재는 내부에 오링이 배치되고, 그 둘레에씨링배치되는것을특징으로 하는배치식 기판 지지 장치. [청구항 10] 제 9항에 있어서,상기 기판척의 가장자리에는 적어도 하나 이상의 척 연장부가 형성되어 상기 척 지지부재와 척 연장부가 교번되어 조립되며,상기 척 연장부와 척 지지부재의 조립부위 및 상기 척 지지부재와 척 승강봉의 조립부위에상기패킹부재구비되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제 10항에 있어서,상기 제1전기연결 라인은,상기 척 지지부재 중 상기 척 승강봉과 대면되는 부위에 구비되어 상기 다수의 척 소켓과 보조 연결선을 통해 연결되는 제1커넥터와;상기 척 승강봉의 일단에 구비되어 상기 제1커넥터와 접속되는 제2커넥터와;상기 척 승강봉의 타단에 구비되어 상기 제2커넥터와 연장 연결선을 통해 연결되고, 외부와 전기적으로 접속하기 위한 제3커넥터를 포함하고,상기 척 소켓, 보조 연결선, 제1커넥터 및 제2커넥터의 연결부위는 상기 패킹부재에 의해실링되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제 9항에 있어서,상기 공간분할 플레이트 조립체는,상기 다수의 공간분할 플레이트 가장자리를 일체로 지지하는 다수의 플레이트 지지부재와;일측이 상기 플레이트 지지부재에 연결되고, 타측이 상기 챔버의 외부로 연장되는 플레이트 승강봉을 더 포함하고,상기 공간분할 플레이트의 가장자리에는 적어도 하나 이상의 플레이트 연장부가 형성되어 상기 플레이트 지지부재와 플레이트 연장부가 교번되어 조립되며,상기 플레이트 연장부와 플레이트 지지부재의 조립부위 및 상기 플레이트 지지부재와 플레이트 승강봉의 조립부위에상기패킹부재구비되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 제2전기연결 라인은,상기 플레이트 지지부재에 구비되어 상기 플레이트 지지부재에 대응되는 공간분할 플레이트에 구비되는 연결선에 접속되는 다수의 플레이트 소켓과;상기 플레이트 지지부재 중 상기 플레이트 승강봉과 대면되는 부위에 구비되어 상기 다수의 플레이트 소켓과 보조 연결선을 통해 연결되는 제4커넥터와;상기 플레이트 승강봉의 일단에 구비되어 상기 제4커넥터와 접속되는 제5커넥터와;상기 플레이트 승강봉의 타단에 구비되어 상기 제5커넥터와 연장 연결선을 통해 연결되고, 외부와 전기적으로 접속하기 위한 제6커넥터를 포함하고,상기 플레이트 소켓, 보조 연결선, 제4커넥터 및 제5커넥터는 상기 패킹부재에 의해실링되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 14] 제 9항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패킹부재는 오링(o-ring)타입, 씨링(c-ring)타입또는오링과씨링의혼합타입중하나인것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 오링과 씰링의 혼합타입 패킹부재는 내부에 오링이 배치되고, 그 둘레에씨링배치되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 16] 제 9항에 있어서상기 챔버의 외부에는 상기 기판척 조립체 및 공간분할 플레이트 조립체에 각각 연결되어 승하강시키는구동수단연결되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 17] 제 9항에 있어서,상기 가스공급수단은,상기 챔버 측벽으로 반응가스를 공급하도록 연결되는 가스공급관과;상기 가스공급관에서 분기되어 상기 챔버의 측벽 내측으로 형성되는다수의가스분사공포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치.