증착공정용모니터링시스템

[청구항2] 제1항에 있어서,상기 헤드위치 감지부는, 상기 각 헤드의 번호를 감지하는 위치 센서들, 상기 각 헤드 중 증착이 시작되는 헤드의 번호를 감지하는 스타트 센서, 및 상기 위치 센서들과 스타트 센서의 출력 신호를 디지탈 신호로 변환시키는 아날로그/디지탈변환기포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. 제1항에 있어서,상기 헤드위치 감지부는, 상기 각 헤드의 번호를 감지하는 위치 센서들; 상기 각 헤드 중 증착이 시작되는 헤드의 번호를 감지하는 스타트 센서; 및 상기 위치 센서들과 스타트 센서의 출력 신호를 디지탈 신호로 변환시키는 아날로그/디지탈 변환기;를포함한것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항3] 제2항에 있어서,상기 디지탈 신호신호인것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. 제1항에 있어서,상기 진공도 측정부와 증폭부 사이에는 광송신부 및 광수신부가 더 구비되고, 상기 광송신부는, 상기 진공도 측정부의 출력 신호를 소정의 증폭도로 증폭하는 증폭기, 상기 증폭기에 의해 증폭된 전압 신호를 주파수 신호로 변환시키는 전압/주파수 변환기 및 상기 주파수 신호를 광신호로 변환시키는 전압/주파수 변환기 및 상기 주파수 신호를 광신호로 변환시키는 광전송기를 포함하고, 상기기 광수신부는, 상기 광신호를 전기적 주파수 신호로 변환시키는 광검출기, 상기 주파수 신호를 전압 신호로 변환시키는 주파수/전압 변환기, 및 상기 변환된 전압을 상기 증폭도의 역수 배로 감쇄시키는감쇄기포함한것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항4] 제1항에 있어서,상기 진공도 측정부의 출력 신호는, 소정의 광통신으로써상기증폭부입력되는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항5] 제4항에 있어서,상기 진공도 측정부와 증폭부 사이에는,소정의광송신부및광수신부더구비된것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항6] 제5항에 있어서,상기 광송신부는, 상기 진공도 측정부의 출력 신호를 소정의 증폭도로 증폭하는 증폭기; 상기 증폭기에 의해 증폭된 전압 신호를 주파수 신호로 변환시키는 전압/주파수 변환기(voltage/frequency converter); 및 상기 주파수 신호를 광신호로 변환시키는 광전공기;를포함하고있는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항7] 제6항에 있어서,상기 광전송기는, 소정 파장의 적외선을 발생시키는발광 다이오드인것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항8] 제5항 또는 제6항에 있어서,상기 장수신부는, 상기 광신호를 전기적 주파수 신호로 변환시키는 광검출기; 상기 주파수 신호를 전압 신호로 변환시키는 주파수/전압 변환기(frequency/voltage converter) , 및 상기 변환된 전압을 상기 증폭도의 역수 배로 감쇄시키는 감쇄기;를포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항9] 제1항에 있어서,상기 신호 제어부는, 상기 증폭부의 출력 신호를 소정의 디지탈 신호로 변환시키는 아날로그/디지탈 변환기; 상기 변환된 디지탈 신호에 따른 데이터를 필요시 저장하는 데이터 메모리; 상기 헤드위치 감지부의 디지탈 출력 신호를 제어하는 디지탈 신호 제어기; 상기 pc부와 신이 가능하도록 상기 디지탈 신호 제어기의 출력 신호를 인터페이싱하는 입출력 인터페이스 카드; 및 상기 pc부와 통신이 가능하도록 상기 변환된 디지탈 신호에 따른 데이터를 인터페이싱하는 데이터 인터페이스 카드;를포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항10] 제1항에 있어서,상기 신호 제어부는, pcb(printed circuit board)의 형태로서 상기 pc부 내의 한랙장착되는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항11] 제1항에 있어서,상기 신호 제어부와 pc부는, rs-232c통신방식에 따라데이터통신수행하는것을특징으로 하는증착 공정용 모너터링 시스템. [청구항12] 제11항에 있어서,상기pc부는, 상기 신호 제어부로부터 상기 막두께 및 진공도에 따른 데이터를 수신한 후, ‘수신 성공’ 또는 ‘체크섬에러응답하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항13] 제12항에 있어서,상기 신호 제어부는, 상기 ‘수신 성공’ 응답을 받을 때까지 송신했던 데이터를 상기 pc부계속재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항14] 제7항 또는 제13항에 있어서,상기 데이터 메모리는, 상기 pc부로부터 상기 ‘수신 성공’ 응답을 받지 못할 경우에, 입력되는데이터를소정의시간동안순차적보관하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항15] 제14항에 있어서,상기 데이터 메모리는, 상기 시간동안 ‘수신 성공’ 응답을 받지 못할 경우에, 가장 오래된 데이터를 삭제함으로써 새로운데이터저장되게하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항16] 제12항에 있어서,상기 신호 제어부가 송신한 데이터를 상기 pc부가 수신하지 못한 경우에는, 상기 신호 제어부가 상기 pc부로부터의 응답을 수신하지 못함에 따라, ‘수신대기 타임아웃(time out) 에러’로 처리하여 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항17] 제12항에 있어서,상기 신호 제어부가 송신한 데이터가 노이즈(noise)로 인하여 변형된 경우에는, 상기 pc부가 ‘체크섬 에러(check-sum error)’로써 응답하고, 이에 따라 상기 신호 제어부가 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항18] 제12항에 있어서,상기pc부로부터 전송된 ‘수신 성공’ 응답을 상기 신호 제어부가 수신하지 못한 경우에는, 상기 신호 제어부는 ‘수신대기 타임아웃(time out) 에러’로 처리하여 송신했던 데이터를 재송신하고, pc부는 ‘수신 공정’응답재전송하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항19] 제18항에 있어서,상기pc부는, 재수신된 데이터의 체크섬이 정상일지라도 전단계에 수신했던 데이터와 그 증착기 번호, 헤드 번호 및 날짜가 동일하면 상기 재수신된데이터제거하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항20] 제12항에 있어서,상기pc부로부터 전송된 ‘수신 성공’ 응답 신호가 노이즈로 인하여 변형된 경우에는, 상기 ‘수신 성공’ 응답 신호에 대한 체크성이 틀리게 됨에 따라, 상기 신호 제어부는 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항21] 제20항에 있어서,상기pc부는, 재수신된 데이터의 체크성이 정상일지라도 전단계에 수신했던 데이터와 그 증착기 번호, 헤드 번호 및 날짜가 동일하면 상기 재수신된데이터제거하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항22] 제12항에 있어서,상기pc부로부터의 ‘체크섬 에러’ 응답을 상기 신호 제어부가 수신하지 못한 경우에는, 상기 신호 제어부는 상기 pc부로부터의 응답을 수신하지 못함에 따라, ‘수신대기 타임아웃(time out)에러’로 처리하여 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항23] 제12항에 있어서,상기pc부로부터의 ‘체크섬 에러’ 응답이 노이즈로 인하여 변형된 경우에는, 상기 '체크섬 에러 응답 신호에 대한 체크섬이 틀리게 됨에 따라, 상기 신호 제어부는 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항24] 제12항에 있어서,상기pc부는, 일정 시간 동안 통신이 한번도 정상적으로 수행되지 않은 경우, 모니터 상에 소정의 에러 메시지를 출력함으로써, 사용자에게 통신 상태가비정상알리는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항25] 제1항에 있어서,상기pc부는, pc, 자동 전압 조정기,및출력장치포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항26] 제25항에 있어서,상기 출력장치프린터인것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항28] 제27항에 있어서,상기 제1헤드위치 감지부 및 제2헤드위치 감지부는, 상기 각 헤드의 번호를 감지하는 위치 센서들; 상기 각 헤드 중 증착이 시작되는 헤드의 번호를 감지하는 스타트 센서; 및 상기 위치 센서들과 스타트 센서의 출력 신호를 디지탈 신호로 변환시키는 아날로그/디지탈 변환기;를포함한것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항29] 제28항에 있어서,상기 디지탈 신호신호인것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항30] 제27항에 있어서 상기 제2진공도 측정부의 출력 신호를 소정의 광통신으로써상기제2증폭부입력되는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항31] 제30항에 있어서,상기 제2진공도 측정부와 제2증폭부 사이에는,소정의광송신부및광수신부더구비된것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항32] 제31항에 있어서,상기 광송신부는, 상기 제2진공도 측정부의 출력 신호를 소정의 증폭도로 증폭하는 증폭기; 상기 증폭기에 의해 증폭된 전압 신호를 주파수 신호로 변환시키는 전압/주파수 변환기(voltage/frequency converter); 및 상기 주파수 신호를 광신호로 변환시키는 광전송기;를포함하고있는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항33] 제32항에 있어서,상기 광전송기는, 소정 파장의 적외선을 발생시키는발광 다이오드인것을특징으로 하는증착 공정응 모니터링 시스템. [청구항34] 제31항 또는 제32항에 있어서,상기 광수신부는, 상기 광신호를 전기적 주파수 신호로 변환시키는 광검출기 상기 주파수 신호를 전압 신호로 변환시키는 주파수/전압 변환기(rrequency/voltage converter) , 및 상기 변환된 전압을 상기 증폭도의 역수 배로 감쇄시키는 감쇄기;를포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항35] 제27항에 있어서,상기 신호 제어부는, 상기 제1증폭부 및 제2증폭부의 출력 신호를 소정의 디지탈 신호로 변환시키는 아날로그/디지탈 변환기; 상기 변환된 디지탈 신호에 따른 데이터를 필요시 저장하는 데이터 메모리; 상기 제1헤드위치 감지부 및 제2헤드위치 감지부의 디지탈 출력 신호를 제어하는 디지탈 신호 제어기; 상기 pc부와 통신이 가능하도록 상기 디지탈 신호 제어기의 출력 신호를 인터페이싱하는 입출력 인터페이스 카드; 및 상기 pc부와 통신이 가능하도록 상기 변환된 디지탈 신호에 따른 데이터를 인터페이싱하는데이터인터페이스 카드포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항36] 제27항에 있어서,상기 신호 제어부는, pcb(printed circuit board)의 형태로서 상기 pc부 내의 한랙장착되는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항37] 제27항에 있어서,상기 신호 제어부와 pc부는, rs-232c 통신방식에 따라데이터통신수행하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항38] 제37항에 있어서,상기pc부는, 상기 신호 제어부로부터 상기 막두께 및 진공도에 따른 데이터를 수신한 후, ‘수신 성공’ 또는 ‘체크섬에러응답하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항39] 제38항에 있어서,상기 신호 제어부는, 상기 ‘수신 성공’ 응답을 받을 때까지 송신했던 데이터를 상기 pc부계속재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항40] 제35항 또는 제39항에 있어서,상기 데이터 메모리는, 상기 pc부로부터 상기 ‘수신 성공’ 응답을 받지 못할 경우에, 입력되는데이터를소정의시간동안순차적보관하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항41] 제40항에 있어서,상기 데이터 메모리는, 상기 시간동안 상기 ‘수신 성공’ 응답을 받지 못할 경우에, 가장 오래된 데이터를 삭제함으로써 새로운데이터저장되게하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스 템. [청구항42] 제38항에 있어서,상기 신호 제어부가 송신한 데이터를 상기 pc부가 수신하지 못한 경우에는, 상기 신호 제어부가 상기 pc부로부터의 응답을 수신하지 못함에 따라, ‘수신대기 타임아웃(time out) 에러’로 처리하여 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항43] 제38항에 있어서,상기 신호 제어부가 송신한 데이터가 노이즈(noise)로 인하여 변형된 경우에는, 상기 pc부가 ‘체크섬 에러(check-sum error)’로써 응답하고, 이에 따라 상기 신호 제어부가 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항44] 제38항에 있어서,상기pc부로부터 전송된 ‘수신 성공’ 응답을 상기 신호 제어부가 수신하지 못한 경우에는, 상기 신호 제어부는 ‘수신대기 타임아웃(time out) 에러’로 처리하여 송신했던 데이터를 재송신하고, pc부는 ‘수신 성공’응답재전송하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항45] 제44항에 있어서,상기pc부는, 재수신된 데이터의 체크섬이 정상일지라도 전단계에 수신했던 데이터와 그 증착기 번호, 헤드 번호 및 날짜가 동일하면 상기 재수신된데이터제거하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항46] 제38항에 있어서,상기pc부로부터 전송된 ‘수신 성공’ 응답 신호가 노이즈로 인하여 변형된 경우에는, 상기 ‘수신 성공’ 응답 신호에 대한 체크성이 틀리게 됨에 따라, 상기 신호 제어부는 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항47] 제46항에 있어서,상기pc부는, 재수신된 데이터의 체크섬이 정상일지라도 전단계에 수신했던 데이터와 그 증착기 번호, 헤드 번호 및 날짜가 동일하면 상기 재수신된데이터제거하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항48] 제38항에 있어서,상기pc부로부터의 ‘체크섬 에러’ 응답을 상기 신호 제어부가 수신하지 못한 경우에는, 상기 신호 제어부는 상기 pc부로부터의 응답을 수신하지 못함에 따라, ‘수신대기 타임아웃(time out)에러’로 처리하여 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항49] 제38항에 있어서,상기pc부로부터의 ‘체크섬 에러’ 응답이 노이즈로 인하여 변형된 경우에는, 상기 ‘체크섬 에러’ 응답 신호에 대한 체크성이 틀리게 됨에 따라, 상기 신호 제어부는 송신했던데이터재송신하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항50] 제38항에 있어서,상기pc부는, 일정 시간 동안 통신이 한번도 정상적으로 수행되지 않은 경우, 모니터 상에 소정의 에러 메시지를 출력함으로써, 사용자에게 통신 상태가비정상알리는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항51] 제27항에 있어서 상기 pc부는, pc, 자동 전압 조정기,및출력장치포함하는것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템. [청구항52] 제51항에 있어서,상기 출력장치프린터인것을특징으로 하는증착 공정용 모니터링 시스템.