기상 성막 장치

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 재료 가스의 도입부에 원판 형상의 인젝터를 구비하고, 상기 인젝터에 상기 대향면의 요철 형상과 대응되는요철형상형성하는것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,성막 방식이화학 기상 성장인것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,성막 방식이화학 기상 성장인것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 재료 가스가화합물 반도체또는산화물의재료가스인것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 6] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 재료 가스의 일부에유기금속포함하는것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 재료 가스의 일부에유기금속포함하는것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 8] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 대향면 및 상기인젝터를 구성하는 부재의 재질이 스테인레스, 몰리브덴 등의 금속재료, 카본, 탄화규소, 탄화탄탈 등의 탄화물, 질화붕소, 질화규소, 질화알루미늄 등의 질화물, 및 석영, 알루미나 등의 산화물계 재료 중 어느 하나,또는그들조합인것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 9] 제5항에 있어서,상기 대향면 및 상기인젝터를 구성하는 부재의 재질이 스테인레스, 몰리브덴 등의 금속재료, 카본, 탄화규소, 탄화탄탈 등의 탄화물, 질화붕소, 질화규소, 질화알루미늄 등의 질화물, 및 석영, 알루미나 등의 산화물계 재료 중 어느 하나,또는그들조합인것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 대향면 및 상기인젝터를 구성하는 부재의 재질이 스테인레스, 몰리브덴 등의 금속재료, 카본, 탄화규소, 탄화탄탈 등의 탄화물, 질화붕소, 질화규소, 질화알루미늄 등의 질화물, 및 석영, 알루미나 등의 산화물계 재료 중 어느 하나,또는그들조합인것을특징으로 하는기상 성막 장치. [청구항 11] 제7항에 있어서,상기 대향면 및 상기인젝터를 구성하는 부재의 재질이 스테인레스, 몰리브덴 등의 금속재료, 카본, 탄화규소, 탄화탄탈 등의 탄화물, 질화붕소, 질화규소, 질화알루미늄 등의 질화물, 및 석영, 알루미나 등의 산화물계 재료 중 어느 하나,또는그들조합인것을특징으로 하는기상 성막 장치.