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반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프 및 반도체 웨이퍼의 가공 방법

uuid
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출원번호
1020177018707
출원연도
2016
IPC
C09J 133/00
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1 항에 있어서,상기 점착제층의 택력이, 100 ~ 350 kpa인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. 제 1 항에 있어서,상기 점착제층의 택력이, 100 ~ 350 kpa인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. [청구항3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 점착제층에 있어서의 (메타)아크릴계 폴리머의 산가가, 20 ~ 50(mgkoh/g), 수산기가가 0 ~ 20(mgkoh/g)으로서, 상기 점착제층이, 상기 (메타)아크릴계 폴리머 100 질량부에 대해서 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유하는점착제조성물이루어지는것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(메타)아크릴계 폴리머의 수산기가가 0 ~ 1.9(mgkoh/g)으로서, 상기 점착제층이, 상기 (메타)아크릴계 폴리머 100 질량부에 대해서 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유하는점착제조성물이루어지는것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. [청구항4] 제 3 항에 있어서,상기 경화제가, 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. 제 3 항에 있어서,상기 경화제가, 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. [청구항5] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 점착제층이,감압형점착제층인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 점착제층이,감압형점착제층인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. [청구항6] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(메타)아크릴계 폴리머가 용액 중합법에 의한폴리머인것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. [청구항7] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기(메타)아크릴계 폴리머를 구성하는 모노머 성분이, (메타)아크릴산 에스테르, 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 메사콘산, 시트라콘산, 푸말산, 말레산, 아크릴산-2-하이드록시에틸, 메타크릴산-2-하이드록시에틸, 아크릴아미드 및 메타크릴아미드로부터 선택되는모노머성분이루어지는것을특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프. [청구항8] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프가, 표면의 단차가 30 ~ 50 μm인 반도체 웨이퍼에 사용되는 것인 것특징으로 하는반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 웨이퍼 표면 보호용 점착 테이프의 점착제층을 구성하는 (메타)아크릴계 폴리머의 산가 및 수산기가 범위와, 점착제조성물 내 경화제의 함량 및 경화제의 종류는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    점착제층의 (메타)아크릴계 폴리머 특성(산가, 수산기가)과 경화제의 함량 및 종류를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 폴리머의 산가, 수산기가, 경화제 함량을 추출하고, 청구항 4에서 경화제의 종류를 추출한다.

    • 산가가, 20 ~ 50(mgkoh/g)
    • 수산기가가 0 ~ 20(mgkoh/g)
    • 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유
    • 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 산가, 수산기가, 경화제 함량, 경화제 종류에 해당하는 구체적 수치와 명칭을 선택한다.

    • 산가가, 20 ~ 50(mgkoh/g)
    • 수산기가가 0 ~ 20(mgkoh/g)
    • 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유
    • 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 정보를 결합하여 폴리머의 화학적 성질과 조성물의 구성 비율 및 성분 종류를 정리한다.

    • 산가가, 20 ~ 50(mgkoh/g)
    • 수산기가가 0 ~ 20(mgkoh/g)
    • 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유
    • 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    산가는 20~50 mgkoh/g, 수산기가는 0~20 mgkoh/g이며, 경화제는 폴리머 100 질량부 대비 0.2~5 질량부 함유되고, 그 종류는 글리시딜아미노 구조를 가지는 에폭시 경화제이다.

    • 산가가, 20 ~ 50(mgkoh/g)
    • 수산기가가 0 ~ 20(mgkoh/g)
    • 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유
    • 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제
  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 답변하기 위해 구조화된 형식으로 최종 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 산가가, 20 ~ 50(mgkoh/g)
  • 수산기가가 0 ~ 20(mgkoh/g)
  • 경화제를 0.2 ~ 5 질량부 함유
  • 글리시딜아미노 구조를 가지는에폭시 경화제
최종 답변 (final_answer)
- (메타)아크릴계 폴리머의 산가: 20 ~ 50(mgkoh/g) - (메타)아크릴계 폴리머의 수산기가: 0 ~ 20(mgkoh/g) - 경화제 함량: (메타)아크릴계 폴리머 100 질량부 대비 0.2 ~ 5 질량부 - 경화제의 종류: 글리시딜아미노 구조를 가지는 에폭시 경화제
핵심 해석 (core_interpretation)
점착제층의 화학적 조성인 (메타)아크릴계 폴리머의 산가/수산기가 범위와 경화제의 함량 및 구체적 화학 구조를 정의함.