문맥 (context)
[청구항1]
반도전성 칼코겐화물 막(semiconducting chalcogenide film)들을 퇴적하는 스퍼터 타깃 구조로서,
적어도 대략 2n7의 칼코겐화물 합금 순도를 갖는 적어도 하나의 칼코겐화물 합금, 개별적으로 산소(o), 질소(n) 및 수소(h)에 대해 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들, 및 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물을 포함하는 타깃 본체를 포함하되, 상기 적어도 하나의 칼코겐화물 합금의 칼코겐들은 상기 타깃 본체 조성의 적어도 20 원자%를 구성하고, 상기 적어도 하나의 칼코겐화물 합금은 상기 칼코겐화물 합금의 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도를 갖는 스퍼터 타깃 구조체
[청구항2]
제1항에 있어서,적어도 하나의 칼코겐화물 합금의 칼코겐들은 s, se 또는 te 중 하나 이상포함하는스퍼터 타깃 구조체.
[청구항3]
제1항에 있어서,적어도 하나의 칼코겐화물 합금은, 수은 텔루르화물(hgte), 납 황화물(pbs), 납 셀레나이드(pbse), 납 텔루르화물(pbte), 카드뮴 황화물(cds), 카드뮴 셀레나이드(cdse), 카드뮴 텔루르(cdte), 아연 황화물(zns), 아연 셀레나이드(znse), 아연 텔루르화물(znte), 주석 텔루르화물(snte), 구리 황화물[cus, cu2s 또는 cu1-xsx(여기서, x는 0에서 1까지 변함)], 구리 셀레나이드[cuse, cu2se, cuse2 또는 cu2-xse1+x(여기서, x는 0에서 1까지 변함)], 구리 인듐 이황화물(cuins2), 구리 갈륨 이황화물(cugas2), 구리 인듐 갈륨 이황화물[cu(in1-xgax)s2(여기서, x는 0에서 1까지 변함)], 구리 인듐 디셀레나이드(cuinse2), 구리 갈륨 디셀레나이드(cugase2), 구리 인듐 갈륨 디셀레나이드[cu(in1-xgax)se2(여기서, x는 0에서 1까지 변함)], 구리 은 인듐 갈륨 이황화물[(cu1-xagx)(in1-ygay)s2(여기서, x는 0에서 1까지 변하고 y도 0에서 1까지 변함)], 구리 은 인듐 갈륨 디셀레나이드([cu1-xagx)(in1-ygay)se2(여기서, x는 0에서 1까지 변하고 y도 0에서 1까지 변함)], 인듐 황화물(in2s3), (in2s3)x(ga2s3)1-x(여기서, x는 0.2, 0.35, 0.5, 0.75 또는 0.8), 인듐 셀레나이드(in2se3), (in2se3)x(ga2se3)1-x(여기서, x는 0.2, 0.35, 0.5, 0.75 또는 0.8), 비스무트 황화물(bi2s3), 안티몬 황화물(sb2s3), 은 황화물(ag2s), 텅스텐 황화물(ws2), 텅스텐 셀레나이드(wse2), 몰리브덴 황화물(mos2), 몰리브덴 셀레나이드(mose2), 주석 황화물[snsx(여기서, x는 1에서 2까지 변함)], 주석 셀레나이드[snsex(여기서, x는 1에서 2까지 변함)], 또는 구리 주석 황화물(cu4sns4) 중 하나 이상포함하는스퍼터 타깃 구조체.
[청구항4]
제1항에 있어서,적어도 하나의 칼코겐화물 합금은 혼합형 칼코겐화물 합금포함하는스퍼터 타깃 구조체.
[청구항5]
제1항에 있어서,상기 타깃 본체는 하나 이상의 도핑 원소더 포함하는스퍼터 타깃 구조체.
[청구항6]
제1항에 있어서,상기 타깃 본체는 대략 3.5 미만의 종횡비(aspect ratio)들을 갖는 주로 등축정 과립나타내는스퍼터 타깃 구조체.
[청구항7]
제1항에 있어서,상기 타깃 본체는 대략 1000 미크론 미만의 가장 큰 미세조직 피처(feature)의 평균 피처 크기포함하는스퍼터 타깃 구조체.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스퍼터 타깃 본체에 포함되는 기상 불순물 및 탄소 불순물의 허용 한도와 칼코겐화물 합금이 갖추어야 하는 밀도 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation스퍼터 타깃 본체의 불순물 함량 기준과 칼코겐화물 합금의 밀도 조건을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 불순물 관련 수치와 밀도 관련 수치를 확인한다.
- 개별적으로 산소(o), 질소(n) 및 수소(h)에 대해 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물
- 상기 적어도 하나의 칼코겐화물 합금은 상기 칼코겐화물 합금의 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도를 갖는
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 불순물 한도와 밀도 조건을 뒷받침하는 문구를 선택한다.
- 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물
- 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도
-
4논리 통합
logical_integration기상 불순물(o, n, h)과 탄소 불순물은 모두 500 ppm 미만이어야 하며, 합금의 밀도는 이론적 밀도의 95% 이상이어야 함을 통합한다.
- 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물
- 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도
-
5결론 도출
conclusion_formulation불순물은 500 ppm 미만, 밀도는 이론적 밀도의 적어도 95%라는 결론을 도출한다.
- 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물
- 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물
- 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도
근거 (evidence)
- 개별적으로 산소(o), 질소(n) 및 수소(h)에 대해 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 500 ppm 미만의 탄소(c) 불순물
- 상기 적어도 하나의 칼코겐화물 합금은 상기 칼코겐화물 합금의 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도를 갖는
- 500 ppm(parts-per-million) 미만의 기상 불순물(gaseous impurity)들
- 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도
최종 답변 (final_answer)
기상 불순물(산소, 질소, 수소)은 각각 500 ppm 미만이어야 하고, 탄소(c) 불순물 또한 500 ppm 미만이어야 한다. 또한, 칼코겐화물 합금은 해당 합금의 이론적 밀도의 적어도 95%의 밀도를 가져야 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스퍼터 타깃 본체의 순도 유지를 위한 불순물(기상 및 탄소)의 최대 허용치와 합금의 물리적 밀도 기준을 정의함.