문맥 (context)
[청구항2]
제1항에 있어서,상기 히터는 중공형상으로 이루어져, 상기 웨이퍼 지지면이상기히터의내부배치되는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항3]
제2항에 있어서,상기 히터는, 중공형상으로 형성되며, 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어진 본체; 및 상기 본체의 일측과 타측 사이에 형성되는 전류의 통전 경로가 연장되도록 상기 본체의 외측면에 형성된 슬릿;을 구비하며, 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열하는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항4]
제1항에 있어서,상기 히터는, 상기 웨이퍼의 둘레를 따라 서로 이격되게 배치되며 전원 인가시 열을 방출하는복수의가열소자구비하는것을특징으로 하는박막증착장치.
[청구항5]
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 히터는 상기 서셉터결합된것을특징으로 하는박막증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 3에 기재된 히터의 세부 구성 요소는 무엇이며, 해당 히터가 발열하는 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 3을 참조하여 히터의 구성 요소와 발열 조건을 추출해야 함을 파악한다.
- 제2항에 있어서,상기 히터는, 중공형상으로 형성되며, 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어진 본체; 및 상기 본체의 일측과 타측 사이에 형성되는 전류의 통전 경로가 연장되도록 상기 본체의 외측면에 형성된 슬릿;을 구비하며, 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열하는것을특징으로 하는박막증착장치.
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2정보 추출
information_extraction히터의 구성 요소인 '본체'와 '슬릿'을 추출하고, 본체의 재질과 슬릿의 위치를 확인한다.
- 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어진 본체
- 상기 본체의 외측면에 형성된 슬릿
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3근거 선택
evidence_selection발열 조건과 관련된 문구인 '본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시'를 선택한다.
- 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열하는것
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4논리 통합
logical_integration구성 요소(본체, 슬릿)와 작동 조건(전원 인가)을 결합하여 답변 구조를 설계한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation히터는 탄화규소 소재의 본체와 외측면의 슬릿으로 구성되며, 본체의 일측 및 타측에 전원을 인가할 때 발열한다는 결론을 도출한다.
- 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어진 본체
- 상기 본체의 외측면에 형성된 슬릿
- 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 구조화된 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 제2항에 있어서,상기 히터는, 중공형상으로 형성되며, 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어진 본체; 및 상기 본체의 일측과 타측 사이에 형성되는 전류의 통전 경로가 연장되도록 상기 본체의 외측면에 형성된 슬릿;을 구비하며, 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열하는것을특징으로 하는박막증착장치.
- 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어진 본체
- 상기 본체의 외측면에 형성된 슬릿
- 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열하는것
- 상기 본체의 일측 및 타측 사이에 전원 인가시,상기본체발열
최종 답변 (final_answer)
히터의 구성 요소와 발열 조건은 다음과 같다.
1. 구성 요소:
- 본체: 탄화규소를 포함하는 소재로 이루어지며 중공형상으로 형성됨
- 슬릿: 본체의 외측면에 형성되며, 본체의 일측과 타측 사이의 전류 통전 경로가 연장되도록 함
2. 발열 조건: 본체의 일측 및 타측 사이에 전원을 인가할 때 발열함
핵심 해석 (core_interpretation)
청구항 3에 명시된 히터의 물리적 구성(탄화규소 본체, 외측 슬릿)과 전기적 작동 조건(본체 양단 전원 인가)을 정의함