화학기상 증착장치

[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 유입방지부는상기 공정챔버와 상기 서셉터의 사이에 배치되며 상기 관통홀에 연통되는 연통홀이 형성되는 유입방지판과,상기 유입방지판으로부터 상기 서셉터를 향해 돌출되어 상기 공정챔버 내부의 파티클이 상기 관통홀로 향하는 것을 차단하는유입방지턱포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 유입방지부는상기 공정챔버와 상기 서셉터의 사이에 배치되며 상기 관통홀에 연통되는 연통홀이 형성되는 유입방지판과,상기 유입방지판으로부터 상기 서셉터를 향해 돌출되어 상기 공정챔버 내부의 파티클이 상기 관통홀로 향하는 것을 차단하는유입방지턱포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제 2항에 있어서,셉터는상기 기판이 수용되는 기판수용홈이 형성되어 상기 기판을 지지하는 기판지지판과,상기 기판지지대의 테두리부를 지지하는 측벽과,상기 측벽을 지지하고 상기 지지축에 결합되는 측벽지지판을 포함하며, 상기 지지축은상기측벽지지판체결되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 2항에 있어서,셉터는상기 기판이 수용되는 기판수용홈이 형성되어 상기 기판을 지지하는 기판지지판과,상기 기판지지판의 테두리부를 지지하는 측벽과,상기 측벽을 지지하고 상기 지지축에 결합되는 측벽지지판을 포함하며, 상기 지지축은상기측벽지지판체결되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 측판지지판과 상기 지지축의 사이를 밀봉시키는 자성유체씰(ferroseal)을 더 포함하는 것을특징으로하는특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 측벽지지판과 상기 지지축의 사이를 밀봉시키는 자성유체씰(ferroseal)을 더 포함하는 것을특징으로하는특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제 4항에 있어서,상기 자성유체씰은상기 공정챔버의 외측에 배치되는 고정체와,상기 고정체의 내측에 배치되고 상기 지지축에 밀착되는회전체포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 4항에 있어서,상기 자성유체씰은상기 공정챔버의 외측에 배치되는 고정체와,상기 고정체의 내측에 배치되고 상기 지지축에 밀착되는회전체포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제 3항에 있어서,셉터의 내부에 설치되어 상기 기판지지판을 가열하는 가열기와,상기 가열기로 전원을 공급하는 전원공급선을 더 포함하며,상기 지지축의 내부에는 상기 전원공급선이 관통되는중공형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,셉터의 내부에 설치되어 상기 기판지지판을 가열하는 가열기와,상기 가열기로 전원을 공급하는 전원공급선을 더 포함하며,상기 지지축의 내부에는 상기 전원공급선이 관통되는중공형성되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항7] 제 1항에 있어서,상기 공정챔버의 외부에 배치되어 상기 지지축을 감싸는벨로우즈더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 공정챔버의 외부에 배치되어 상기 지지축을 감싸는벨로우즈더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항8] 제 1항에 있어서,상기 공정챔버의 외부에 배치되어 상기 지지축을 감싸는실링챔버더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.