패턴화 기판의 제조 방법

[청구항13] 제 1 항에 있어서,블록 공중합체는, 하기 화학식 1로 표시되는 블록을 포함하는 패턴화 기판의 제조 방법:[화학식 1]화학식 1에서 r은 수소 또는 알킬기이고, x는 단일 결합, 산소 원자, 황 원자, -s(=o)2-, 카보닐기, 알킬렌기, 알케닐렌기, 알키닐렌기, -c(=o)-x1- 또는 -x1-c(=o)-이며, 상기에서 x1은 산소 원자, 황 원자, -s(=o)2-, 알킬렌기, 알케닐렌기 또는 알키닐렌기이고, y는 사슬 형성 원자를 가지는 사슬이 연결된 고리 구조포함하는1가 치환기이다. [청구항14] 제 13 항에 있어서,화학식1의 y는, 하기 화학식 2로 표시되는 패턴화 기판의 제조 방법:[화학식 2]화학식 2에서 p는 아릴렌기 또는 사이클로알킬렌기이고, q는 단일 결합, 산소 원자 또는 -nr3-이고, 상기에서 r3는, 수소, 알킬기, 알케닐기, 알키닐기, 알콕시기 또는 아릴기이고, z는 p가 아릴렌기인 경우에 3개 이상의 사슬 형성 원자를 가지는 상기 사슬이고, p가 사이클로알킬렌기인 경우에는 8개 이상의 사슬 형성 원자가지는상기 사슬이다. [청구항16] 제 1 항에 있어서,블록 공중합체는 하기 화학식 3으로 표시되는 블록을 포함하는 패턴화 기판의 제조 방법:[화학식 3]화학식 3에서 r은 수소 또는 탄소수 1 내지 4의 알킬기이고, x는 단일 결합, 산소 원자, -c(=o)-o- 또는 -o-c(=o)-이고, p는 아릴렌기이고, q는 산소 원자 또는 -nr3-이고, 상기에서 r3는, 수소, 알킬기, 알케닐기, 알키닐기, 알콕시기 또는 아릴기이고, z는 사슬 형성 원자가 8개이상인직쇄 사슬이다. [청구항17] 제 1 항에 있어서,블록 공중합체는 하기 화학식 5로 표시되는 블록을 포함하는 패턴화 기판의 제조 방법:[화학식 5]화학식 5에서 b는 하나 이상의 할로겐 원자를 포함하는 방향족 구조가지는1가 치환기이다.