평탄도 유지 장치

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 절개부는,원형태형성된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 절개부는,사각 형태로 형성되되,상기 삽입부가 삽입된 상기 상부 홀더의 절개부에는 y축 방향의 유격 공간이 형성되고 상기 삽입부가 삽입된 상기 하부 홀더의 절개부에는 x축방향의유격공간형성된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 상측 및 하측걸림부의 외주면은, 일정한 곡률을 갖도록 형성되고 상기 상부 및 하부 홀더의 내측면과의 사이에는 각각 일정한유격공간형성된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,상기 상부 홀더 하부면의 상측면 및 하부 홀더 상부면의 하측면에 구슬 형태의 볼이 복수개 설치되고,상기 상측 걸림부의 하측면 및 상기 하측 걸림부의 상측면는 상기 볼이 설치된 위치와 상응하는 위치에반구 형태의홈형성된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 볼은,상기 상부 홀더 및 하부 홀더에 형성된 절개부 주변에 배치되되,바람직하게는상기절개부의4모서리또는4면의중앙부주변설치된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 볼은,상기 상부 홀더 하부면의 상측면 및 하부 홀더 상부면의 하측면에 삽입 설치된 스프링에결합고정된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,상기 중심축, 상부 및 하부 홀더를 감싸는 하우징을 더 포함하되,상기 하우징의 상부면과 상기 상부 홀더의 상부면은 체결구에 의해연결된것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 체결구는체결볼트인것을특징으로 하는평탄도 유지 장치. [청구항 10] 제 8 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,상기 체결구 주변에 상기 하우징의 상부면과 상기 상부 홀더의 상부면을 연결하는 스토퍼(stopper)가 복수개 설치됨으로써, 상기 본딩 장비의 본딩 공정 전 상기 피본딩물에 대한 상기 본딩 헤드의 초기 평탄도를 조절할 수있는것을특징으로 하는평탄도 유지 장치.