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화학기상 증착장치

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fc185936-5096-5af0-b991-e554f3e940af
출원번호
1020100131881
출원연도
2010
IPC
C23C
분류
화학(C섹션)
문맥 (context)
[청구항2] 제 1항에 있어서,상기 차폐막nan은산화알루미늄이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 차폐막nan은산화알루미늄이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항3] 제 1항에 있어서,셉터와 상기 고주파코일의 사이에 배치되어 상기 서셉터로부터 방출되는 열을 차폐시키는차폐판더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 차폐막과 상기 고주파코일의 사이에 배치되어 상기 서셉터로부터 방출되는 열이 상기 고주파코일로 전도되는 것을 방지하는차폐판더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항4] 제 3항에 있어서,상기 차폐판은석영으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 차폐판은석영으로이루어지는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항5] 제 3항에 있어서,상기 차폐판nan은복수개마련되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 3항에 있어서,상기 차폐판nan은복수개마련되는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. [청구항6] 제 1항에 있어서,상기 고주파코일은 관 형태로 마련되며, 상기 고주파코일의 내부로 냉매를 공급하는냉매순환펌프더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치. 제 1항에 있어서,상기 고주파코일은 관 형태로 마련되며, 상기 고주파코일의 내부로 냉매를 공급하는냉매순환펌프더포함하는것을특징으로 하는화학기상 증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
화학기상 증착장치에서 차폐판은 어디에 배치되며, 어떠한 역할을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    차폐판의 배치 위치와 기능을 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 3에서 차폐판의 위치와 기능에 관한 정보를 추출한다.

    • 셉터와 상기 고주파코일의 사이에 배치되어
    • 상기 서셉터로부터 방출되는 열이 상기 고주파코일로 전도되는 것을 방지하는
  3. 3근거 선택evidence_selection

    위치 정보와 기능 정보를 나타내는 문구를 선택한다.

    • 셉터와 상기 고주파코일의 사이에 배치
    • 상기 서셉터로부터 방출되는 열이 상기 고주파코일로 전도되는 것을 방지
  4. 4논리 통합logical_integration

    차폐판이 서셉터와 고주파코일 사이에 위치함으로써 열 전도를 막는다는 논리를 구성한다.

    • 셉터와 상기 고주파코일의 사이에 배치되어
    • 상기 서셉터로부터 방출되는 열이 상기 고주파코일로 전도되는 것을 방지
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    차폐판은 서셉터와 고주파코일 사이에 배치되어 열 전도를 방지하는 역할을 한다고 결론짓는다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 적합한 형태로 답변을 작성한다.

근거 (evidence)
  • 셉터와 상기 고주파코일의 사이에 배치되어
  • 상기 서셉터로부터 방출되는 열이 상기 고주파코일로 전도되는 것을 방지하는
  • 셉터와 상기 고주파코일의 사이에 배치
  • 상기 서셉터로부터 방출되는 열이 상기 고주파코일로 전도되는 것을 방지
최종 답변 (final_answer)
차폐판은 서셉터와 고주파코일 사이에 배치되며, 서셉터로부터 방출되는 열이 고주파코일로 전도되는 것을 방지하는 역할을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
차폐판의 물리적 위치(서셉터-고주파코일 사이)와 열 차단 기능(열 전도 방지)을 정의함