문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 자석부가 직사각형 형상형성되어 있는,플라즈마 소스 기구.
제 1 항에 있어서,상기 안테나부및 상기 자석부가 직사각형 형상형성되어 있는,플라즈마 소스 기구.
[청구항3]
제 1 항에 있어서,상기 안테나부의 각 안테나 코일이, 1 턴구성되어 있는,플라즈마 소스 기구.
제 1 항에 있어서,상기 안테나부의 각 안테나 코일이, 1 턴구성되어 있는,플라즈마 소스 기구.
[청구항4]
진공조와,
상기 진공조의 내부에 형성된 성막원을 구비하고,
상기 진공조의 외부에 유전체부를 개재하여 배치되며, 고주파 전력을 인가할 수 있는, 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부와, 상기 진공조의 외측에 상기 유전체부를 개재하여 상기 안테나부의 근방에 배치되며, 상기 안테나부와 대응하는 형상을 갖는 자석부를 갖고, 상기 안테나부가, 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고, 또한 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는 플라즈마 소스 기구가 형성되어 있는, 성막 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
성막 장치에 구비된 안테나부의 형상적 특징과 안테나 코일들의 구성 및 연결 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation성막 장치의 안테나부 형상과 코일의 구성 및 연결 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 안테나부의 형상, 구성 요소, 코일의 배치 및 연결 정보를 추출한다.
- 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고
- 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
-
3근거 선택
evidence_selection안테나부의 형상(직사각형 고리), 구성(장변/단변 본체부), 코일 특징(복수, 인접 배치, 병렬 접속)에 관한 문구를 선택한다.
- 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고, 또한 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
-
4논리 통합
logical_integration안테나부는 장변과 단변 본체부로 구성된 직사각형 고리 형태이며, 그 내부에는 인접하게 배치된 복수의 안테나 코일이 병렬로 연결되어 있음을 종합한다.
- 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고, 또한 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
-
5결론 도출
conclusion_formulation안테나부는 직사각형 고리 형상이며, 복수의 안테나 코일이 인접 배치되어 병렬로 접속된 구조를 가진다.
- 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고, 또한 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 안테나부의 형상과 코일의 연결 방식을 명확히 기술한다.
- 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고, 또한 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
근거 (evidence)
- 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어지는 직사각형 고리 형상의 안테나부
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고
- 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
- 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접 배치되고, 또한 상기 각 안테나 코일이 병렬로 접속되어 있는
최종 답변 (final_answer)
안테나부는 직선 형상의 장변 본체부 및 단변 본체부로 이루어진 직사각형 고리 형상을 가진다. 또한, 안테나부에는 복수의 안테나 코일이 인접하여 근접하게 배치되어 있으며, 각 안테나 코일은 병렬로 접속되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
성막 장치의 안테나부는 장변과 단변 본체부로 구성된 직사각형 고리 형태이며, 인접 배치된 복수의 코일이 병렬로 연결된 구조이다.