조명 시스템

[청구항 2] 제 1항에 있어서,상기 호모게나이저 및 상기 코히어런스 제거기 사이에 위치된 광학 요소를 더 포함하고, 상기 광학 요소는 상기 호모게나이저로부터의 다수의 방사선 출력 빔들을 상기 코히어런스 제거기의 각 채널들 내에 연결(couple)시키도록배치되는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 코히어런스 제거기는 다수의 투과 광학 요소들을 포함하고, 상기 광학 요소들은, 초기에 상기 코히어런스 제거기에 들어갈 때 서로 코히어런트한 상기 다수의 방사선 빔들의 각 빔들이, 상기 코히어런스 제거기를 빠져나올 때 서로 더 이상 코히어런트하지 않도록, 상이한통로길이들갖는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 투과 광학 요소들nan은계단모양일련배치되는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 5] 제 3항에 있어서,상기 투과 광학 요소들nan은2차원어레이배치되는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 방사선 빔들이 서로 결합하여 단일 방사선 빔을 형성하도록, 상기 방사선 빔들을 포커스하기 위해 배치된볼록렌즈들더포함하는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 7] 제 6항에 있어서,상기 광학 장치는 리소그래피 장치의 일부를 형성하고;상기 리소그래피 장치는 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이를 포함하는 패터닝 어레이를 포함하고;상기 단일 빔 또는 상기 단일 빔으로부터 생성된 다수의 빔들은상기패터닝어레이지향되는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 광학 장치는 리소그래피 장치의 일부를 형성하고; 상기 리소그래피 장치는 개별적으로 제어가능한 요소들의 어레이를 포함하는패터닝어레이포함하는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 9] 제 1항에 있어서,상기 호모게나이저는 하나 이상의 호모게나이저플레이트포함하는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 10] 제 1항에 있어서,상기 호모게나이저는 한 쌍의 평행한 호모게나이저플레이트들포함하는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 11] 제 1항에 있어서,상기 호모게나이저는 서로에 대해 각을 이룬 한 쌍의 호모게나이저플레이트들포함하는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 12] 제 11항에 있어서,상기 호모게나이저 플레이트들은, 상기 호모게나이저 플레이트들의 각도 방위가 조정가능하도록, 회전가능하게장착되는것을특징으로 하는광학 장치. [청구항 15] 제 14항에 있어서,상기 조명 시스템은 다수의 빔들을 형성하고, 상기 코히어런스 제거기는 상기 다수의 빔들의 각 빔들을 수용하도록 구성된다수의채널들포함하는것을하는리소그래피 장치. [청구항 16] 제 14항에 있어서,상기 코히어런스 제거기는,상이한 광학 통로 길이들을 갖는다수의투과광학요소들포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 17] 제 16항에 있어서,상기 투과 광학 요소들nan은계단모양일련배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 18] 제 16항에 있어서,상기 투과 광학 요소들nan은2차원어레이배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 19] 제 15항에 있어서,상기 리소그래피 장치는, 상기 방사선 빔을 다수의 방사선 빔들로 전환시키는 호모게나이저를 더 포함하고,상기 코히어런스 제거기는 상기 다수의 방사선 빔들의 각 빔들을 통과시키는다수의채널들포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 20] 제 14항에 있어서,상기 리소그래피 장치는 호모게나이저더포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 21] 제 20항에 있어서,상기 코히어런스 제거기는, 다수의 방사선 빔들의 각 개별 빔들이 상기 호모게나이저를 통과하도록, 상기 방사선 빔을 상기 다수의 방사선 빔들로 전환시키도록구성되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 22] 제 20항에 있어서,상기 호모게나이저는 하나 이상의 호모게나이저플레이트포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 23] 제 20항에 있어서,상기 호모게나이저는 한 쌍의 평행한 호모게나이저플레이트들포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 24] 제 20항에 있어서,상기 호모게나이저는 서로에 대해 각을 이룬 한 쌍의 호모게나이저플레이트들포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 25] 제 24항에 있어서,상기 호모게나이저 플레이트들은, 호모게나이저 플레이트들의 각도 방위가 조정가능하도록, 회전가능하게장착되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 26] 제 14항에 있어서,상기 투영시스템은,개별 방사선 빔들을 상기 기판 상으로 지향하도록 배치된렌즈들의어레이포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 코히어런스 제거기는 상이한 광학 통로 길이들을 갖는다수의투과광학요소들포함하는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 29] 제 28항에 있어서,상기 투과 광학 요소들nan은계단모양일련배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 30] 제 28항에 있어서,상기 투과 광학 요소들nan은2차원어레이배치되는것을특징으로 하는리소그래피 장치. [청구항 32] 제 31항에 있어서,상기 호모게나이저 플레이트들은, 상기 호모게나이저 플레이트들의 각도 방위가 조정가능하도록, 회전가능하게장착되는것을특징으로 하는호모게나이저.