문맥 (context)
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 반도체 소자가 mosfet를 포함하며, 상기 금속 함유 물질 영역과 상기 기판영역이 상기 mosfet의소스나드레인형성하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 15]
제13항에 있어서,상기 반도체 소자가 mesfet를 포함하며, 상기 금속 함유 물질 영역과 상기 기판영역이 상기 mesfet의소스나드레인형성하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 16]
제13항에 있어서,상기 금속 함유 물질 영역이기초금속포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 기초 금속이텅스텐포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 18]
제13항에 있어서,상기 금속 함유 물질 영역이금속함유혼합물포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 금속 함유 혼합물이금속실리사이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 20]
제19항에 있어서,상기 금속 실리사이드가코발트실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 21]
제19항에 있어서,상기 금속 실리사이드가티타늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 22]
제19항에 있어서,상기 금속 실리사이드가텅스텐실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 23]
제19항에 있어서,상기 금속 실리사이드가 몰리브데늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 24]
제19항에 있어서,상기 금속 실리사이드가티타늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 25]
제19항에 있어서,상기 금속 실리사이드가 플라티늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자.
[청구항 26]
제13항에 있어서,상기 반도체 물질이실리콘포함하는것을특징으로 하는반도체 소자.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제13항의 반도체 소자가 금속 함유 혼합물을 포함하고, 해당 혼합물이 금속 실리사이드인 경우, 선택 가능한 금속 실리사이드의 종류를 모두 나열하시오.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제13항의 반도체 소자가 금속 실리사이드를 포함할 경우, 선택 가능한 금속 실리사이드의 종류를 모두 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 19항을 통해 금속 함유 혼합물이 금속 실리사이드임을 확인하고, 이후 항들에서 구체적인 종류를 추출한다.
- 상기 금속 함유 혼합물이금속실리사이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가코발트실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가티타늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가텅스텐실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가 몰리브데늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가 플라티늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
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3근거 선택
evidence_selection청구항 20항부터 25항까지 금속 실리사이드의 종류를 명시한 구절들을 선택한다.
- 상기 금속 실리사이드가코발트실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가티타늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가텅스텐실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가 몰리브데늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가 플라티늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
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4논리 통합
logical_integration청구항 19항을 인용하는 하위 청구항들(20, 21, 22, 23, 24, 25항)에 나열된 금속 실리사이드 성분들을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 금속 실리사이드 종류들을 중복을 제거하여 목록화한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 선택 가능한 금속 실리사이드의 종류를 나열하여 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 금속 함유 혼합물이금속실리사이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가코발트실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가티타늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가텅스텐실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가 몰리브데늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
- 상기 금속 실리사이드가 플라티늄실라이드인것을특징으로 하는반도체 소자
최종 답변 (final_answer)
코발트실라이드, 티타늄실라이드, 텅스텐실라이드, 몰리브데늄실라이드, 플라티늄실라이드
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 반도체 소자의 금속 함유 물질 영역으로서 사용될 수 있는 다양한 금속 실리사이드의 종류를 구체적으로 정의하고 있다.