교류-여기된 마이크로공동 방전 장치 및 제작 방법

[청구항 1] 마이크로방전 장치에 있어서, 도체, 또는 반도체나 도전층으로 코팅된 유전체 중 하나로 이루어지는 기판(210, 1020)으로서, 상기 기판의 제1 면으로 향하는 적어도 하나의 마이크로공동 개구를 포함하는 상기 기판 상기 기판의 제1 면 및 상기 마이크로공동의 내부 표면을 실질적으로 피복하는 유전체 층(1020, 220) 제1 전극을 형성하는 상기 기판의 제2 면에 접속된 전기 접점(225, 1010); 및 유전체 층 말단부에 배치되어, 제1 전극 및 제2 전극 양단에 시간에 따라-변하는 포텐셜 을 인가하기 위한 제2 전극 을 포함하는 마이크로방전 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 유전체 층은 제1 유전체로 구성된 층 및 제2 유전체로 구성된 층포함하는 것인,마이크로방전 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 마이크로공동은 상기 기판의 제2 면연장되는 것인,마이크로방전 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 기판은반도체인 것인,마이크로방전 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 기판은 금속과 폴리머 중하나인 것인,마이크로방전 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 제2 전극nan은유전체코팅된스크린인 것인,마이크로방전 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 제2 전극은 제2 유전체 층피복되는 것인,마이크로방전 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 마이크로공동은 단면이 사다리꼴 모양, 직사각형 모양, 및 원통형 모양 중하나인 것인,마이크로방전 장치. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 기판은 유전체 기판을 포함하고, 상기 기판에는 제1 면 및 제2 면이 있으며, 상기 기판은 상기 각각의 면이 도전층으로 코팅되어 제1 및 제2 전극들을 형성하고,상기 장치는, 제1 전극 및 제2 전극 양단에 시간에 따라-변하는 포텐셜을 인가할 때 마이크로방전이 생성되도록, 마이크로공동 내에 포함된 방전 가스나 증기, 또는 가스와 증기의 혼합물더 포함하는 것인,마이크로방전 장치. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 유전체 층은 상기 제1 면 상의 도전층 및 마이크로공동을 실질적코팅하는 것인,마이크로방전 장치. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 마이크로공동은 상기 기판의 제2 면 상의 도전층연장되는 것인,마이크로방전 장치. [청구항 12] 제9항에 있어서,상기 장치는 가요성인 것인,마이크로방전 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 기판은,제1 면 및 제2 면을 갖는 가요성 유전체 기판으로서, 상기 제1 면은 전도성 있게 코팅되어 제1 전극을 형성하고, 상기 제2면은 상기 제1 면에 실질적으로 평행하며, 상기 제 2면으로 향하는 마이크로공동 개구를 갖는, 상기 유전체 기판;상기 제2 면 위에 배치되는 제2 전극으로서, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 양단에 시간에 따라-변하는 전기적 포텐셜의 인가를 위한 상기 제2 전극; 및상기 포텐셜의 인가시에 마이크로방전을 지원하기 위해 상기 마이크로공동 내에 포함된 방전 가스나 증기, 또는 가스와 증기의 혼합물포함하는 것인,마이크로방전 장치.