문맥 (context)
[청구항2]
제 1 항에 있어서,상기 유전체 윈도우 위에 변환기 커플링된 플라즈마 (tcp) 코일이 배치되고, 상기 tcp 코일은 내측 코일 및 외측 코일을 포함하며, 상기 외측 코일은, 상기 외측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 외측 구역 위에 실질적으로 존재하고 상기 내측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 중간 구역 위에 실질적으로 존재하도록, 상기 유전체 윈도우 위배치되는,플라즈마 프로세싱 챔버.
[청구항3]
제 2 항에 있어서,상기 내측 코일 및 상기 외측 코일은 튜닝 회로에 접속되며,상기 튜닝 회로는, 상기 패러데이 쉴드의 상기 외측 구역 및 상기 중간 구역 중 어느 하나 또는 모두를 통해 전해진자기플럭스조정하도록구성되는,플라즈마 프로세싱 챔버.
[청구항4]
제 1 항에 있어서,상기 패러데이 쉴드는 전기적접지되는,플라즈마 프로세싱 챔버.
[청구항5]
제 4 항에 있어서,상기 슬롯들a, b, 및 c 의 각각의 슬롯은 셰브론 (chevron) 형상 홈정의되는,플라즈마 프로세싱 챔버.
[청구항6]
제 5 항에 있어서,상기 셰브론 형상 홈은 상기 패러데이 쉴드의 각각의 측면들 사이에 가시선 (line of sight) 을포함하지 않는,플라즈마 프로세싱 챔버.
[청구항8]
제 7 항에 있어서,상기 셰브론 형상 홈은 상기 패러데이 쉴드의 각각의 측면들 사이에 가시선포함하지 않는,패러데이 쉴드.
[청구항9]
제 7 항에 있어서,상기 원형 플레이트 구조는, 스테인리스 스틸, 하스텔로이 (hastalloy), 또는 티타늄정의되는,패러데이 쉴드.
[청구항10]
제 7 항에 있어서,상기 원형 플레이트 구조는, y2o3, ceo2, 또는 tin 중 하나를 이용하여패시베이트코팅될수있는,패러데이 쉴드.
[청구항11]
제 7 항에 있어서,상기 셰브론 홈들은, 폭이 0.1mm과 10mm 사이에 있을 수 있고,깊이사이에있을수있는,패러데이 쉴드.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
TCP 코일을 구성하는 내측 코일과 외측 코일은 패러데이 쉴드의 어느 구역에 각각 배치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretationTCP 코일의 구성 요소인 내측 및 외측 코일과 패러데이 쉴드 구역 간의 위치 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 TCP 코일의 구성과 배치 위치에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 tcp 코일은 내측 코일 및 외측 코일을 포함하며
- 상기 외측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 외측 구역 위에 실질적으로 존재하고
- 상기 내측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 중간 구역 위에 실질적으로 존재하도록
-
3근거 선택
evidence_selection외측 코일의 위치와 내측 코일의 위치를 명시한 문구를 선택한다.
- 상기 외측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 외측 구역 위에 실질적으로 존재하고
- 상기 내측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 중간 구역 위에 실질적으로 존재하도록
-
4논리 통합
logical_integration외측 코일은 외측 구역에, 내측 코일은 중간 구역에 배치된다는 대응 관계를 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation외측 코일은 패러데이 쉴드의 외측 구역에, 내측 코일은 중간 구역에 배치된다는 결론을 내린다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 적합한 형태로 최종 답변을 작성한다.
근거 (evidence)
- 상기 tcp 코일은 내측 코일 및 외측 코일을 포함하며
- 상기 외측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 외측 구역 위에 실질적으로 존재하고
- 상기 내측 코일이 상기 패러데이 쉴드의 상기 중간 구역 위에 실질적으로 존재하도록
최종 답변 (final_answer)
외측 코일은 패러데이 쉴드의 외측 구역 위에 실질적으로 존재하고, 내측 코일은 패러데이 쉴드의 중간 구역 위에 실질적으로 존재한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
TCP 코일의 내측 및 외측 코일은 패러데이 쉴드의 중간 구역과 외측 구역에 각각 대응하여 배치된다.