기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치 document_id A220623006469

본 발명은 기재를 진공실내로 유입하는 로드-락 장치에 관한 것으로, 이 로드-락 장치는, 기재를 입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역에서부터 로드-락 챔버 안에 위치한 내부 공간안으로 유입시키는 1 이상의 입구측 개구부 및 로드-락 챔버의 내부 공간을 밸브를 통하여 진공실의 내부 공간에 연결시키는 1 이상의 출구측 개구부를 구비하는 로드-락 챔버와, 1 이상의 캐리어 로드를 통하여 구동 장치와 연결되어 있고 구동 장치에 의해 입구측 개구부가 개방된 위치와 입구측 개구부가 밀폐되는 위치 사이에서 조절가능한 밀폐 부재를 포함하며 각각의 입구측 개구부에 연결된 1 이상의 진공 도어를 포함하고, 상기 밀폐 부재는 로드-락 챔버의 접촉면과 접촉한다. 전술한 유형의 로드-락 장치는 공지되어 있다. 특히, 이러한 유형의 로드-락 장치는 반도체를 제조하는 생산 공장에서 사용된다. 이러한 로드-락 장치는 기재 (가공물) 를 대기로부터 설비의 진공 영역으로 유입시키는데 사용된다. 반도체 기술에 있어서, 이러한 기재는 특히 웨이퍼, 예를 들어 실리콘 웨이퍼이다. 상이한 유형의 종래의 슬라이드 밸브와 플레이트 밸브는 로드-락 챔버의 출구측 개구부와 진공실 사이에 배열된다. 로드-락 챔버는 이 로드-락 챔버의 입구측 개구부를 밀폐하기 위한 진공 도어를 구비한다. 이러한 유형의 진공 도어는, 예를 들어 US 6,056,266 A 호 또는 DE 196 33 798 A1 호에 개시되어 있다. 전자에 언급한 문헌에 개시된 장치에는, 2 개의 피스톤-실린더 유닛이 있고, 이 피스톤-실린더 유닛에 의해 밸브 플레이트가 L 형으로 연속적으로 이동된다. 후자에 언급한 문헌에 개시된 장치에 있어서, 하우징은 개구부가 배열된 벽부 대하여 회전가능하도록 지지된다. 하우징내에는 제 1 원통형 보어 구멍이 형성되고, 공기압 피스톤의 피스톤 로드는 내장된 밸브 플레이트를 이동가능하게 지지한다. 밸브 플레이트는 상기 피스톤에 의해 개구부가 열리는 개방 위치와 개구부가 덮여져서 벽부로부터 떨어져 있는 위치 사이에서 움직인다. 또한, 하우징에는 제 2 원통형 보어 구멍이 형성되고, 하우징을 회전시키는데 사용되는 공기압 피스톤은 이 제 2 원통형 보어 구멍내에서 변위가능하게 지지된다. 상기 공기압 피스톤을 작동시킴으로써, 하우징이 회전될 수 있고, 따라서 밸브 플레이트는 벽부에 대하여 가압되며 개구부는 진공 기밀되도록 밀폐된다. 미국특허 제 6, 427,973 B1 호에서는, 벽부내의 1 이상의 개구부를 진공 밀폐하는 다른 밀폐 장치를 개시하였다. 또한, 이러한 밀폐 장치는 특히 다수의 슬롯형 개구부를 개폐하는데 적절하다. 밀폐 플레이트는 개방 위치와 밀폐 위치 사이에서 L 형으로 이동한다. 예를 들어, 반도체 기술에 있어서, 기재가 진공실안으로 유입될 때 되도록이면 적은 미립자가 부착될 것이 요구된다. 이를 위해, 입구측 개구부의 전방의 대기 영역은 되도록이면 미립자가 없어야 한다. 이를 위해, 진공 설치물은 클린룸에 위치될 수 있다. 또한, 입구측 개구부의 축선에 수직하게 유동하는 여과된 공기 유동이 입구측 개구부의 전방에 위치한 대기 영역을 통하여 종종 안내된다. 종래의 로드-락 장치에 있어서, 입구측 개구부의 전방 영역에 배열된 진공 도어의 구성품들은, 특히 기재의 표면을 깨끗하게 유지하면서 공기 유동의 효율을 감소시키는 차단 및/또는 소용돌이를 형성함으로써, 상기 영역을 통하여 안내되는 공기 유동의 층류를 비교적 심하게 방해하는 단점이 있다. 또한, 진공 도어의 구동 장치의 부품을 상기 영역에서 서로 대하여 이동시킴으로써 (두 부분간의 마찰에 의해) 미립자가 발생하게 되고, 이 미립자는 기재에 쌓일 수 있다. 진공 도어의 구동 장치는, 일반적으로 공기압 피스톤-실린더 유닛을 구비한다. 이는 다소 값비쌀 수 있고, 따라서 미립자가 포함된 공기가 빠져나와 기재상에 불리한 미립자가 부착될 수 있다.