가공장치 document_id A220623014040

본 발명은 가공공구로서 얇은 고리모양의 절삭 블레이드를 구비한 절삭장치와 같은 가공장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 회전구동되는 장착부재, 이 장착부재에 장착되는 공구지지부재, 및 장착부재에 고정되고 공구지지부재를 장착부재에 고정시키는 고정부재를 구비한 가공장치에 관한 것이다. 회전구동되는 가공공구를 구비한 정밀가공장치의 전형적인 예로서, 반도체 웨이퍼의 절삭에 적용되는 다이서라고도 불리는 절삭장치를 들 수 있다. 이러한 절삭장치는 일본특허공개 2002-219648호 공보 및 일본특허공개 2003-165036호 공보에 개시되어 있는 바와 같이, 회전자유롭게 장착된 회전축, 및 이 회전축에 탈착가능하게 고정된 장착부재를 구비하고 있다. 장착부재에는 공구지지부재가 장착되며, 또한 공구지지부재를 장착부재에 고정시키기 위한 고정부재가 고정된다. 더욱 구체적으로 설명하면, 장착부재는 원통형상의 장착외주면을 가지고, 한편 공구지지부재에는 원통형상의 관통장착구멍이 형성되어 있으며, 관통장착구멍을 장착외주면에 끼움으로써 공구지지부재가 장착부재에 장착된다. 고정부재에는 암나사선이 형성되어 있는 관통구멍이 형성되어 있으며, 한편 장착부재에는 장착외주면의 앞쪽에 위치하는 숫나사선이 형성되어 있어, 숫나사선에 암나사선을 나사결합함으로써 고정부재가 장착부재에 고정된다. 장착부재에는 장착외주면의 뒷쪽에 위치하는 고리모양의 플랜지(flange)면도 형성되어 있어, 장착부재에 고정부재가 고정되면, 장착부재의 고리모양의 플랜지면과 고정부재의 뒷면 사이에 공구지지부재가 끼워져, 이에 의해 공구지지부재가 장착부재에 견고히 고정된다. 얇은 고리모양의 절삭 블레이드는 공구지지부재에 고정되거나, 혹은 공구지지부재와 장착부재의 사이에 끼워진다. 상술한 바와 같은 절삭장치에 있어서 정밀한 절삭을 위해서는 회전축에 대한 절삭 블레이드의 편심(偏心), 즉 장착부재에 대한 공구지지부재의 편심을 가급적 피하는 것이 중요하다. 이를 위해, 장착부재의 장착외주면의 외경(外徑)(D1)과 공구지지부재의 장착구멍의 내경(內徑)(D4)의 차이(D4-D1)를 5 내지 20㎛ 정도의 충분히 작은 값으로 설정하고 있다. 본 발명자 등의 경험에 따르면, 상술한 바와 같은 종래의 절삭장치는 다음과 같은 문제를 가진다. 장착부재의 장착외주면에 공구지지부재의 장착구멍을 끼울 때, 장착외주면의 중심축선과 장착구멍의 중심축선을 완전히 합치시켜 장착부재에 대하여 공구지지부재를 중심축선방향으로 이동시키는 것은 실질적으로 불가능하며, 장착외주면의 중심축선에 대하여 장착구멍의 중심축선을 어느 정도 경사지게 한 상태에서 장착부재에 대하여 공구지지부재를 이동시켜 버린다. 그리고, 장착구멍의 끝가장자리를 장착외주면에 밀어붙여 이동시켜버려, 즉 소위 끌림(drag)을 발생시켜 버리는 경향이 있다. 끌림이 발생하면, 장착외주면에 대한 장착구멍의 원활한 끼움이 저해되며, 또한 장착외주면 및/또는 장착구멍의 끝가장자리를 손상시켜 버린다.