박막 증착 장치 document_id A220623017661

본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것이다. 최근 들어 방대한 데이터를 단시간 내에 처리하는 것이 가능한 정보처리장치의 기술 개발에 따라 정보처리장치에서 처리된 데이터를 영상으로 표시하기 위한 표시장치의 기술 개발 또한 급속히 이루어지고 있다. 표시장치는 액정표시장치, 유기 광 발생 장치 및 플라즈마 표시 패널 등이 대표적이다. 이들 중 유기 광 발생 장치는 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 박형 등으로 구성할 수 있는 장점을 갖기 때문에 최근에 널리 사용되고 있다. 또한, 유기 광 발생 장치는 좁은 광 시야각, 느린 응답 속도 등 액정표시장치의 문제점을 크게 해결할 수 있는 장점을 갖는다. 또한, 유기 광 발생 장치는 액정표시장치 또는 플라즈마 표시 패널등 유사 표시장치 등과 유사한 품질의 영상을 표시할 수 있을 뿐만 아니라, 제조 공정이 단순화한 장점을 갖는다. 종래 유기 발 발생 장치는 투명기판상에 배치된 투명전극, 투명전극 상에 배치된 유기박막층 및 유기박막층 상에 배치된 금속 전극을 포함한다. 이들 중 유기박막층은 여러 유기 물질로 이루어진 다층 구조를 갖는다. 예를 들어, 유기박막층은 홀 주입/수송층(HIL,HTL), 발광층(EML) 및 전자 주입/수송층(EIL, ETL) 등과 같은 다층 유기막을 포함한다. 상술된 다층 유기막을 형성하기 위해서는 진공증착법이 널리 이용되고 있다. 다층 유기막을 형성하기 위한 종래 진공 증착 장치는 원통 형상을 갖는 진공 챔버, 진공 챔버의 내부에 배치되며 다층 유기막을 이루는 유기물이 수납된 유기물 포트(pot)를 포함한다. 유기물 포트의 상부에는 유기물이 증착되는 기판이 배치된다. 기판과 마주보는 곳에는 복수개의 개구가 형성된 쉐도우 마스크가 배치되고, 유기물 포트에서 승화된 유기물은 쉐도우 마스크를 통과하여 기판의 지정된 위치에 증착된다. 도 1은 종래 기술에 의한 챔버 및 쉐도우 마스크의 관계를 도시한 평면도이다. 도 1을 참조하면, 종래 진공 증착 장치는 대부분 원통 형상의 챔버(1)를 사용하는 반면, 챔버(1) 내부에 배치된 쉐도우 마스크(2)는, 평면상에서 보았을 때, 사각 플레이트 형상을 갖는다. 평면상에서 보았을 때, 사각 플레이트 형상을 갖는 쉐도우 마스크는 이외에도 한국 공개공보 2006-0052117호 "쉐도우 마스크", 한국 공개공보 2005-0004961호 "쉐도우 마스크 제작 방법" 및 한국 공개공보 2004-0090167호 "쉐도우 마스크 및 이를 이용한 유기 EL 표시소자의 제조 방법" 등에 다수가 개시된 바 있다. 그러나, 평면상에서 보았을 때, 사각 플레이트 형상을 갖는 쉐도우 마스크(2)를 원통 형상을 갖는 챔버(1)내에 배치할 경우, 유기물 포트에 수납된 유기물이 승화되어 기판에 부착될 때, 쉐도우 마스크(2)의 개구(3) 뿐만 아니라 챔버(1) 및 쉐도우 마스크(2)의 측면 사이의 공간을 통해 승화된 유기물이 챔버(1)의 상부 및 기판의 임의의 위치에 증착되며, 증착된 유기물이 챔버(1)로부터 분리되어 기판에 부착되는 등의 문제점을 발생시킨다. 더욱이 유기물에 의하여 챔버(1)가 심하게 오염되기 때문에 챔버(1)의 클리닝 주기를 급속히 단축시켜 진공 증착 장치의 가동률을 크게 감소 시키는 문제점도 갖는다.