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플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법 document_id A220623029220

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문맥 (context)
본 발명은 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 특히 본 발명은 플렉서블 표시장치의 수율 및 제조 공정의 안정성을 향상시킨 플렉서블 표시장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 표시장치 시장은 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신해 경량 박형인 평판 디스플레이(Flat Panel Display:이하 "FPD"라 함) 위주로 급속히 변화해 왔다. FPD에는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plasma Display Panel), 유기 발광 표시장치(OLED:Organic Electro Luminescence Display)등이 있다. 이러한 FPD의 제조 공정은 고온 공정이 대부분이므로 내열성이 우수한 유리 기판을 모기판으로 이용한다. 이러한 유리 기판은 유연성이 없고 잘 깨지므로 표시장치를 더욱 경량 박형화시키는데 제한요소가 된다. 따라서 최근 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱등과 같이 유연성 있는 재료를 모기판으로 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시성능을 그대로 유지할 수 있는 플렉서블(flexible) 표시장치가 대두되고 있다. 플렉서블 표시장치는 기존 디스플레이에 비해 현저히 얇고 가벼우며 유연하므로 기존 광고시장의 전단지나, 식당에서 이용하는 메뉴 및 간판 등 다양한 용도로 이용될 수 있어 향 후 전망이 밝다. 이에 따라 플렉서블 표시장치의 시장이 대형화될 것으로 예상된다. 플렉서블 표시장치의 대형화에 부응하여 최근 플렉서블 표시장치의 제조 및 구현에 대한 개발이 활발히 이루어지고 있다. 일반적으로 플렉서블 표시장치의 기판으로 플라스틱 기판 및 금속호일(Metal foil) 기판을 포함하는 플렉서블 기판이 이용된다. 이러한 플라스틱 기판 및 금속 호일 기판은 내열성이 유리 기판보다 떨어진다. 유리 기판보다 내열성이 떨어지는 플라스틱 기판 및 금속 호일 기판은 표시 소자 제조 공정 중 공정열에 의해 변형될 수 있으며, 이러한 기판 변형은 표시 소자의 특성을 저하시킨다. 이에 따라 플라스틱 기판 또는 금속 호일 기판 상부에 표시소자를 직접 제조하는데 어려움이 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 최근에는 유리 기판 상부에 표시소자를 형성한 후, 표시 소자 상부에 플라스틱 기판 또는 금속 호일 기판을 부착하고, 이 후 유리 기판을 제거하여 플렉서블 표시장치를 완성하는 기판 전사법이 이용된다. 도 1a 내지 도 1d는 기판 전사법을 이용한 종래 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 나타낸 도면이다. 이하, 도 1a 내지 도 1d를 참조하여 기판 전사법을 이용한 플렉서블 표시장치의 제조 방법을 단계적으로 설명한다. 기판 전사법을 이용한 종래 플렉서블 표시장치의 제조 방법은 절연보호층(3)을 형성하는 단계, 표시소자(5)를 형성하는 단계, 플렉서블 기판(7)을 부착하는 단계, 유리 기판(1) 및 절연보호층(3)을 제거하는 단계를 순차적으로 포함한다. 절연보호층(3)을 형성하는 단계는 도 1a에 도시된 바와 같이 후속 공정인 표시소자(5) 형성 공정의 공정열에 충분한 내열성을 가지도록 소정 두께로 형성된 유리 기판(1) 상에 절연 보호층(3)을 증착함으로써 이루어진다. 이러한 절연 보호층(3)은 실리콘 산화막(SiOx) 또는 실리콘 질화막(SiNx) 중 어느 하나를 포함한다. 표시소자(5)를 형성하는 단계는 도 1b에 도시된 바와 절연 보호층(3) 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 표시 소자를 구성하는 각종 배선을 형성함으로써 이루어진다. 상기 표시소자(5)를 형성하는 단계는 다수의 포토리쏘그래피 공정 및 식각 공정을 포함한다. 플렉서블 기판(7)을 부착하는 단계는 도 1c에 도시된 바와 같이 접착제를 통해 표시소자(5) 상에 플렉서블 기판(7)을 부착함으로써 이루어진다. 플렉서블 기판(7)은 최종적으로 표시소자(5)를 지지하면서 플렉서블 표시장치에 유연성을 부여하는 표시장치의 실제 기판이 된다. 유리 기판(1) 및 절연보호층(3)을 제거하는 단계는 도 1d에 도시된 바와 같이 불산(HF)을 포함한 식각액 등을 이용하여 유리 기판(1) 및 절연보호층(3)을 제거하는 단계이다. 플렉서블 표시장치는 유리 기판(1)이 제거되고, 플렉서블 기판(7)만이 최종 기판 역할을 하여 유연성을 가질 수 있다. 이 때, 절연 보호층(3)이 제거된 부분은 표시소자(5)가 노출되므로 불산액 등의 식각 물질이 표시소자(5)에 침투하여 표시소자(5)를 손상시킬 수 있다. 식각물질에 의해 표시소자(5)가 손상되는 현상은 플렉서블 표시장치의 제조 수율을 저하시키고 플렉서블 표시장치 제조 공정의 안정성을 저하시키는 원인이 된다.
지시문 (instruction)
주어진 원문을 읽고 필요한 정보를 파악하여, 원문에 근거해 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 전사법을 이용한 종래 플렉서블 표시장치 제조 공정에서 식각 물질이 표시소자에 침투할 경우 발생하는 부정적인 효과는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    식각 물질의 표시소자 침투가 가져오는 기술적 부정적 효과를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    식각 물질(불산액 등)이 표시소자에 침투하는 상황과 그 결과에 대한 문맥을 확인한다.

    • 식각 물질이 표시소자(5)에 침투하여 표시소자(5)를 손상시킬 수 있다.
  3. 3근거 선택evidence_selection

    손상으로 인해 발생하는 구체적인 결과(효과)를 추출한다.

    • 식각물질에 의해 표시소자(5)가 손상되는 현상은 플렉서블 표시장치의 제조 수율을 저하시키고 플렉서블 표시장치 제조 공정의 안정성을 저하시키는 원인이 된다.
  4. 4논리 통합logical_integration

    식각 물질 침투 -> 표시소자 손상 -> 수율 및 안정성 저하의 인과관계를 연결한다.

    • 식각물질에 의해 표시소자(5)가 손상되는 현상은 플렉서블 표시장치의 제조 수율을 저하시키고 플렉서블 표시장치 제조 공정의 안정성을 저하시키는 원인이 된다.
  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    질문에 대한 직접적인 답변을 구성한다.

    • 제조 수율을 저하시키고 플렉서블 표시장치 제조 공정의 안정성을 저하
  6. 6답변 생성answer_generation

    문맥에 근거하여 최종 답변을 작성한다.

    • 플렉서블 표시장치의 제조 수율을 저하시키고 플렉서블 표시장치 제조 공정의 안정성을 저하시키는 원인이 된다.
최종 답변 (final_answer)
플렉서블 표시장치의 제조 수율을 저하시키고, 제조 공정의 안정성을 저하시키는 원인이 된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 전사법을 이용한 종래 플렉서블 표시장치 제조 공정에서 식각 물질이 표시소자에 침투하는 현상은 플렉서블 표시장치의 제조 수율을 저하시키고 제조 공정의 안정성을 저하시키는 원인이 된다.